AT640U1 - Greifer für halbleiterwafer und andere scheibenförmige gegenstände - Google Patents

Greifer für halbleiterwafer und andere scheibenförmige gegenstände Download PDF

Info

Publication number
AT640U1
AT640U1 AT0809094U AT809094U AT640U1 AT 640 U1 AT640 U1 AT 640U1 AT 0809094 U AT0809094 U AT 0809094U AT 809094 U AT809094 U AT 809094U AT 640 U1 AT640 U1 AT 640U1
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
gripping claws
guide
gripper according
base body
radially
Prior art date
Application number
AT0809094U
Other languages
English (en)
Inventor
Franz Sumnitsch
Original Assignee
Sez Semiconduct Equip Zubehoer
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sez Semiconduct Equip Zubehoer filed Critical Sez Semiconduct Equip Zubehoer
Priority to AT0809094U priority Critical patent/AT640U1/de
Publication of AT640U1 publication Critical patent/AT640U1/de

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/02—Gripping heads and other end effectors servo-actuated
    • B25J15/0253—Gripping heads and other end effectors servo-actuated comprising parallel grippers
    • B25J15/028—Gripping heads and other end effectors servo-actuated comprising parallel grippers actuated by cams
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/141—Associated with semiconductor wafer handling includes means for gripping wafer

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

AT 000 640 Ul
Die Erfindung betrifft einen Greifer für Halbleiterwafer und andere scheibenförmige Gegenstände mit wenigstens annähernd kreisrundem Außenumfang.
In der Praxis stellt sich häufig das Problem, scheibenförmige Gegenstände so zu erfassen, daß weder die Oberseite noch die Unterseite des scheibenförmigen Gegenstandes berührt wird, daß also der scheibenförmige Gegenstand lediglich an seinem Außenumfang (Außenrand) erfaßt und gehalten wird. Dieses Problem stellt sich beispielsweise bei der Handhabung von Siliziumscheiben (Wafer), deren Flächen nicht berührt werden dürfen, wenn der Wafer von einem Greifer gehalten wird.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Greifer der eingangs genannten Gattung anzugeben, bei dem die oben geschilderten Probleme gelöst sind und der einen einfachen und funktionssicheren Aufbau aufweist.
Gelöst wird diese Aufgabe gemäß der Erfindung mit einem Greifer, der durch einen Grundkörper, durch mehrere im Grundkörper relativ zu diesem radial nach innen und nach außen verschiebbar geführte Greifklauen, durch wenigstens eine Feder, welche die Greifklauen im Sinne einer Verschiebung radial nach innen belastet, und durch eine an den Greif klauen angreifende Spreizeinrichtung zum Bewegen der Greif klauen entgegen der Wirkung der Feder radial nach außen gekennzeichnet ist.
Bei dem erfindungsgemäßen Greifer können die Greifklauen durch Betätigen der Spreizeinrichtung nach außen bewegt werden, so daß die Klauen in einer Bereitschaftsstellung neben dem Außenumfang des zu erfassenden, scheibenförmigen Gegenstandes angeordnet sind. Hierauf wird die Wirkung der Spreizeinrichtung aufgehoben, so daß sich die Klauen radial nach innen bewegen und in Anlage an den Außenumfang des scheibenförmigen Gegenstandes gelangen, da sie von der wenigstens einen Feder radial nach innen bewegt werden. Wenn es sich bei dem scheibenförmigen Gegenstand um einen solchen mit nicht genau kreisrundem Außenumfang handelt, wie dies beispielsweise bei den erwähnten Silizium-Wafer der Fall ist, dann legen sich beim weiteren Aufheben der Wirkung der Spreizeinrichtung die noch nicht am Außenrand anliegenden Klauen unter der Wirkung der Feder(n) ebenfalls an den Außenumfang des Wafer an, so daß dieser ringsherum sicher gehalten wird.
In einer einfachen Konstruktion des erfindungsgemäßen Greifers ist vorgesehen, daß die Greifklauen an Halterungen befestigt 2 AT 000 640 Ul sind, die über Führungsstäbe in Führungsbuchsen, die im Grundkörper eingesetzt sind, verschiebbar geführt sind. So ergibt sich eine exakte Führung der Klauen. Die Bestandteile des Greifers und seines Grundkörpers können im Hinblick auf die von ihnen zu erfüllenden Funktionen optimiert werden.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist vorgesehen, daß die Greifklauen Stifte aufweisen, die an ihren freien Enden einen radial vorspringenden Flansch aufweisen und daß der Flansch eine sich nach oben verjüngende Begrenzungsfläche hat. Der radial vorspringende Flansch mit seiner keilförmigen Querschnittsform bewirkt, daß sich die Klauen mit ihrem Flansch unter den Außenumfang des Gegenstandes schieben und so auch einen flach auf einer Unterlage liegenden scheibenförmigen Gegenstand erfassen können.
Die genaue Führung der Greifklauen des erfindungsgemäßen Greifers wird verbessert, wenn vorgesehen ist, daß an den inneren Enden der Führungsstäbe in Führungsnuten, die im Grundkörper vorgesehen sind, geführte Führungskörper befestigt sind, an welchen die Spreizeinrichtung angreift.
Eine einfache und für das gleichzeitige Bewegen der Greifklauen bezüglich des Grundkörpers radial nach außen vorteilhafte Konstruktion ergibt sich, wenn die Spreizeinrichtung einen im Grundkörper senkrecht zur Bewegungsrichtung der Greifklauen verschiebbaren Spreizkörper mit einer konischen Mantelfläche aufweist, die an den radial inneren Enden der Führungsstäbe oder an den Führungskörpern angreift.
Um die Reibungskräfte des erfindungsgemäßen Greifers auf ein Minimum zu reduzieren, kann vorgesehen sein, daß die konische Mantelfläche des Spreizkörpers an Rollen, die frei drehbar an den radial inneren Enden der Führungsstäbe oder den Führungskörpem gelagert sind, anliegt.
Die maximale Spreizstellung entsprechend der Auslegung des erfindungsgemäßen Greifers kann in einfacher Weise so definiert werden, daß die den maximal nach außen verstellten Greifklauen entsprechende Endstellung des Spreizkörpers durch Anlage seines vorderen, verjüngten Endes am Grundkörper bestimmt ist.
Zum Betätigen des Spreizkörpers der Spreizeinrichtung können verschiedene Antriebe, wie auch Stellmagnete u.dgl. vorgesehen sein. In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist aber vorgesehen, daß der Spreizkörper durch einen in dem Grundkörper integrierten Druckmittelzylinder betätigt wird. Der Druckmittel- 3 AT 000 640 Ul
Zylinder ist vorzugsweise ein Pneumatikzylinder.
Die Erfindung erstreckt sich auch darauf, daß an den an den äußeren Enden der Führungsstäbe vorgesehenen Halterungen für die Stifte der Greifklauen nach innen weisende zungenartige Vorsprünge, die im Abstand über den Flanschen der Stifte vorgesehen sind, angeordnet sind. Die zungenartigen Vorsprünge dienen als Auflage für den von den Greif klauen gehaltenen, scheibenförmigen Gegenstand, wenn der erfindungsgemäße Greifer so ausgerichtet ist, daß die Greif klauen vom Grundkörper nach oben weisen.
In einer einfachen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Greifers ist vorgesehen, daß die die Greifklauen belastenden Federn Schraubendruckfedern sind, die über die Führungsstäbe gesteckt sind und die mit ihrem einen Ende am inneren Ende einer Führungsbuchse und mit ihrem anderen Ende an der nach radial außen weisenden Fläche eines Führungskörpers anliegen. Auf diese Art und Weise werden die Klauen weitestgehend unabhängig voneinander radial nach innen belastet. Anstelle mehrerer Schraubendruckfedem kann ein beispielsweise an den Führungskörpern an den inneren Enden der Führungsstäbe angreifendes, ringförmiges, elastisches Element, wie ein Gummiband oder eine Ringschraubenfeder vorgesehen sein, von dem die Klauen radial nach innen belastet werden.
Weitere Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden Beschreibung eines Ausführungsbeispieles der Erfindung, in der auf die angeschlossene Zeichnung Bezug genommen wird. Es zeigt Fig. 1 einen Greifer im Achsialschnitt, wobei in der linken Hälfte von Fig. 1 die Klaue radial nach innen verschoben ist, wogegen die in Fig. 1 rechts gezeigte Klaue von der Spreizeinrichtung radial nach außen verschoben ist, und Fig. 2 eine Draufsicht auf den erfindungsgemäßen Greifer mit abgenommenem Oberteil.
Der erfindungsgemäße, in der Zeichnung gezeigte Greifer besteht aus einem Grundkörper 1, der im gezeigten Ausführungsbeispiel eine kreisrunde Umrißform hat, und aus im gezeigten Ausführungsbeispiel sechs relativ zum Grundkörper 1 radial nach innen und nach außen verschiebbaren Greif klauen 2.
Der Grundkörper 1 besteht aus einer im wesentlichen zylinderförmigen Wand 3, einem Deckelteil 4 und einer Basisplatte 5. Die genannten Bauteile des Grundkörpers 1 sind durch Schrauben 6 miteinander verbunden. Die Basisplatte 5 kann mit der Wand 3 auch einstückig ausgeführt sein.
In der Wand 3 des Grundkörpers 1 sind Führungsbuchsen 7 ein- 4 AT 000 640 Ul gesetzt, in welchen radial ausgerichtete Führungsstäbe 8 verschiebbar geführt sind. In den äußeren Enden der Führungsstäbe 8 sind Halterungen 9 vorgesehen, an welchen Stifte 10 mit jeweils einem radial vorspringenden Flansch 11 vorgesehen sind. Die Stifte 10 sind die zum Ergreifen eines scheibenförmigen Gegenstandes wirksamen Teile der Greifklauen 2.
An den radial inneren Enden der Führungsstäbe 8 sind Führungskörper 12 befestigt, die in Führungsnuten 13 bezüglich der Achse 14 radial verschiebbar sind. Die Führungsnuten 13 für die Führungskörper 12 werden von je zwei Wänden 15, 16 gebildet, die an der Basisplatte 5 des Grundkörpers 1 nach innen vorstehend angeformt sind.
Um die Greif klauen 2 aus der in Fig. 1 links gezeigten Bereitschafttsstellung, in die sie durch nicht gezeigte Federn (z.B. über die Führungsstifte 8 gesetzte Schraubendruckfedem oder eine ringförmige Schraubenfeder oder ein gummielastisches Band, das um die Außenflächen 17 der Führungskörper 12 gelegt ist) verschoben werden, radial nach außen zu drücken, ist eine Spreizeinrichtung 20 vorgesehen.
Die Spreizeinrichtung 20 besteht im gezeigten Ausführungsbeispiel aus einem Spreizkörper 21 mit konischer Mantelfläche 22, die über an den Führungskörpern 12 frei drehbar gelagerte Rollen 18 auf die Führungskörper 12 und damit auf die Greifklauen 2 einwirkt. Zum Betätigen des Spreizkörpers 21 ist in einem schaftartigen Ansatz des Deckelteils 4 des Grundkörpers 1 ein Pneumatikzylinder 24 aufgenommen, dessen Kolbenstange 25 mit dem Spreizkörper 21 verbunden ist.
An den Halterungen 9 für die Stifte 10 sind radial nach innen weisende, zungenartige Ansätze 30 vorgesehen. Diese Ansätze 30 dienen als Auflage für einen scheibenförmigen Gegenstand, wenn der Grundkörper 1 eine Lage einnimmt, in der die Basisplatte 5 nach oben weist.
Wenn mit dem erfindungsgemäßen Greifer ein auf einer horizontalen Fläche liegender, flacher Gegenstand, z.B. ein Silizium-Wafer aufgenommen werden soll, wird zunächst der Pneumatikzylinder 24 betätigt, um den Spreizkörper 21 nach unten bis in Anlage an die Innenseite der Basisplatte 5 zu drücken, wodurch sich die Greifklauen 2 in ihrer radial äußersten Stellung befinden. Nun wird der Greifer von Hand aus oder über einen Bewegungsautomaten (Roboter) in eine Stellung bewegt, in der sich die Stifte 10 der 5 AT 000 640 Ul
Greifklauen 2 neben den Außenumfang des zu erfassenden Gegenstandes befinden. Sobald dies geschehen ist, wird der Spreizkörper 21 nach oben bewegt, so daß die Stifte 10 in Anlage an den Außenum-fang des scheibenförmigen Gegenstandes gelangen. Das Ergreifen erfolgt auch dann zuverlässig, wenn der Gegenstand auf einer Unterlage flächig aufliegt, da die Flansche 11 an den freien Enden der Stifte 10 sich nach oben verjüngende (konusmantelförmige) äußere Begrenzungsflächen 11’ aufweisen, so daß der scheibenförmige Gegenstand etwas angehoben wird, wenn sich die Greifklauen 2 nach innen bewegen, da er entlang der die Begrenzungsfläche 11' nach oben gleitet, bis die Stifte 10 am Außenumfang des Gegenstandes anliegen.
Wenn es sich bei dem scheibenförmigen Gegenstand, wie dies bei einem Silizium-Wafer der Fall ist, um einen nicht exakt kreisrunden Gegenstand handelt, dann werden einige der Greif klauen 2 nicht gleich am Außenumfang des Gegenstandes anliegen. Wird aber der Spreizkörper 21 weiter angehoben, dann bewegen sich auch die noch nicht anliegenden Greifklauen 2 unter der Wirkung der ihnen zugeordneten Feder radial weiter nach innen, bis sie ebenfalls am Außenumfang des Gegenstandes anliegen. Durch dieses schrittweise Anlegen der Greifklauen 2 wird ein genau zentriertes Halten des scheibenförmigen Gegenstandes gewährleistet.
Zusammenfassend kann die Erfindung beispielsweise wie folgt dargestellt werden:
Um scheibenförmige Gegenstände (Silizium-Wafer) zu erfassen, ist ein Greifer vorgesehen, der relativ zu einem Grundkörper 1 radial nach innen und nach außen verschiebbar geführte Greifklauen 2 auf weist. Die Greif klauen 2 werden durch Federn radial nach innen belastet. Im Grundkörper 1 ist eine Spreizeinrichtung 20 mit einem konischen Spreizkörper 21 vorgesehen, durch die alle Greifklauen 2 gemeinsam entgegen der Wirkung der Federn radial nach außen bewegt werden können. Beim Zurückbewegen der Spreizeinrichtung 20 legt sich zunächst wenigstens ein Teil der Greifklauen 2 an den Außenumfang des scheibenförmigen Gegenstandes an. Beim weiteren Zurückbewegen der Spreizeinrichtung 20 legen sich auch die restlichen Greifklauen 2 unter der Wirkung der ihnen zugeordneten Federn an den Außenumfang des scheibenförmigen Gegenstandes an. Der Spreizkörper 21 der Spreizeinrichtung 20 wirkt über im Inneren des Grundkörpers 1 vorgesehene Führungskörper 12, die mit den Greif klauen 2 über Führungsstäbe 8 verbunden sind, auf die 6
Greifklauen 2 ein.

Claims (10)

  1. AT 000 640 Ul Ansprüche: 1. Greifer für Halbleiterwafer und andere scheibenförmige Gegenstände mit wenigstens annähernd kreisrundem Außenumfang, gekennzeichnet durch einen Grundkörper (1), durch mehrere im Grundkörper (1) relativ zu diesem radial nach innen und nach außen verschiebbar geführte Greifklauen (2), durch wenigstens eine Feder, welche die Greif klauen (2) im Sinne einer Verschiebung radial nach innen belastet, und durch eine an den Greif klauen (2) angreifende Spreizeinrichtung (20) zum Bewegen der Greif klauen (2) entgegen der Wirkung der Feder radial nach außen.
  2. 2. Greifer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Greifklauen (2) an Halterungen (9) befestigt sind, die über Führungsstäbe (8) in Führungsbuchsen (7), die im Grundkörper (1) eingesetzt sind, verschiebbar geführt sind.
  3. 3. Greifer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Greifklauen (2) Stifte (10) aufweisen, die an ihren freien Enden einen radial vorspringenden Flansch (11) aufweisen und daß der Flansch (11) eine sich nach oben verjüngende, äußere Begrenzungsfläche (11*) hat.
  4. 4. Greifer nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß an den inneren Enden der Führungsstäbe (8) in Führungsnuten (13), die im Grundkörper (1) vorgesehen sind, geführte Führungskörper (12) befestigt sind, an welchen die Spreizeinrichtung (20) angreift.
  5. 5. Greifer nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Spreizeinrichtung (20) einen im Grundkörper (1) senkrecht zur Bewegungsrichtung der Greif klauen (2) verschiebbaren Spreizkörper (21) mit einer konischen Mantelfläche (22) aufweist, die an den radial inneren Enden der Führungsstäbe (8) oder an den Führungskörpern (12) angreift.
  6. 6. Greifer nach Ansprüche 5, dadurch gekennzeichnet, daß die konische Mantelfläche (22) des Spreizkörpers (21) an Rollen (18), die frei drehbar an den radial inneren Enden der Führungsstäbe (8) oder den Führungskörpern (12) gelagert sind, anliegt.
  7. 7. Greifer nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die den maximal nach außen verstellten Greif klauen (2) entsprechende Endstellung des Spreizkörpers (21) durch Anlage seines vorderen, verjüngten Endes am Grundkörper (1, 5) bestimmt ist.
  8. 8. Greifer nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Spreizkörper (21) durch einen in dem Grundkörper 8 AT 000 640 Ul (1) integrierten Druckmittelmotor (24) betätigt wird.
  9. 9. Greifer nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß an den an den äußeren Enden der Führungsstäbe (8) vorgesehenen Halterungen (9) für die Stifte (10) der Greifklauen (2) nach innen weisende zungenartige Vorsprünge (30), die im Abstand über den Flanschen (11) der Stifte (10) vorgesehen sind, angeordnet sind.
  10. 10. Greifer nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die die Greifklauen (2) belastenden Federn Schraubendruckfedern sind, die über die Führungsstäbe (8) gesteckt sind und die mit ihrem einen Ende am inneren Ende einer Führungsbuchse (7) und mit ihrem anderen Ende an der radial nach außen weisenden Fläche (17) eines Führungskörpers (12) anliegen. 9
AT0809094U 1993-10-22 1994-09-19 Greifer für halbleiterwafer und andere scheibenförmige gegenstände AT640U1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AT0809094U AT640U1 (de) 1993-10-22 1994-09-19 Greifer für halbleiterwafer und andere scheibenförmige gegenstände

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AT214493 1993-10-22
AT0809094U AT640U1 (de) 1993-10-22 1994-09-19 Greifer für halbleiterwafer und andere scheibenförmige gegenstände

Publications (1)

Publication Number Publication Date
AT640U1 true AT640U1 (de) 1996-02-26

Family

ID=3528717

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT0809094U AT640U1 (de) 1993-10-22 1994-09-19 Greifer für halbleiterwafer und andere scheibenförmige gegenstände
AT94929407T ATE176963T1 (de) 1993-10-22 1994-10-20 Greifer für scheibenförmige gegenstände

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT94929407T ATE176963T1 (de) 1993-10-22 1994-10-20 Greifer für scheibenförmige gegenstände

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5762391A (de)
EP (1) EP0724774B1 (de)
JP (1) JP3418955B2 (de)
AT (2) AT640U1 (de)
DE (1) DE59407850D1 (de)
WO (1) WO1995011518A1 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19755694A1 (de) * 1997-12-16 1999-06-24 Sez Semiconduct Equip Zubehoer Vorrichtung zum Transport dünner, scheibenförmiger Gegenstände
AT405701B (de) * 1997-06-18 1999-11-25 Sez Semiconduct Equip Zubehoer Greifer für halbleiterwafer und andere scheibenförmige gegenstände
US6316367B1 (en) 1997-06-18 2001-11-13 Sez Semiconductor-Equipment Zubehor Process and device for handling disk-like objects, especially silicon wafers

Families Citing this family (91)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19604649C2 (de) * 1996-02-09 1998-10-15 Schunk Fritz Gmbh Greifvorrichtung bzw. Spannvorrichtung
US5778554A (en) * 1996-07-15 1998-07-14 Oliver Design, Inc. Wafer spin dryer and method of drying a wafer
US6048166A (en) * 1997-03-07 2000-04-11 Stingel, Jr.; Frederick J. Gantry depalletizer
JP3760429B2 (ja) * 1997-10-03 2006-03-29 Ｓｍｃ株式会社 ２駆動系流体圧チャック
US5947802A (en) * 1997-11-05 1999-09-07 Aplex, Inc. Wafer shuttle system
EP0914905A3 (de) * 1997-11-05 2002-07-24 Aplex, Inc. Verfahren und Vorrichtung zum Polieren von Halbleiterscheiben
US5957764A (en) * 1997-11-05 1999-09-28 Aplex, Inc. Modular wafer polishing apparatus and method
US6062961A (en) * 1997-11-05 2000-05-16 Aplex, Inc. Wafer polishing head drive
KR100283432B1 (ko) * 1999-02-06 2001-02-15 정문술 표면실장기용 그립퍼
DK1263554T3 (da) * 2000-03-15 2006-04-18 Schunk Gmbh & Co Kg Parallelgriber
KR100371226B1 (ko) * 2000-12-13 2003-02-06 미래산업 주식회사 표면실장기에 적용된 이형부품 그립퍼
KR100371227B1 (ko) * 2000-12-13 2003-02-06 미래산업 주식회사 표면실장기에 적용된 이형부품 그립퍼의 그립팁
US6600556B2 (en) * 2001-01-10 2003-07-29 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. System and method for detecting manufacturing marks on sputtered disks
US6543988B2 (en) * 2001-07-18 2003-04-08 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Apparatus for clamping and transporting a semiconductor wafer
US6689418B2 (en) 2001-08-03 2004-02-10 Applied Materials Inc. Apparatus for wafer rinse and clean and edge etching
US6708701B2 (en) 2001-10-16 2004-03-23 Applied Materials Inc. Capillary ring
US6786996B2 (en) * 2001-10-16 2004-09-07 Applied Materials Inc. Apparatus and method for edge bead removal
US7104578B2 (en) * 2002-03-15 2006-09-12 Asm International N.V. Two level end effector
JP2003297901A (ja) * 2002-04-05 2003-10-17 Supurauto:Kk 基板処理システムおよびその処理方法
JP2003303876A (ja) * 2002-04-10 2003-10-24 Seiko Instruments Inc 試料ステージにおける半導体ウエハ保持機構
US7458762B2 (en) * 2003-02-13 2008-12-02 Samsung Electronics Co., Ltd. Apparatus and method for positioning semiconductor substrate
US7181132B2 (en) 2003-08-20 2007-02-20 Asm International N.V. Method and system for loading substrate supports into a substrate holder
US20050112279A1 (en) * 2003-11-24 2005-05-26 International Business Machines Corporation Dynamic release wafer grip and method of use
US7562923B2 (en) * 2004-02-09 2009-07-21 Mirae Corporation Tray transferring apparatus with gripper mechanism
US20070000527A1 (en) * 2005-06-30 2007-01-04 Aegerter Brian K Workpiece support for use in a process vessel and system for treating microelectronic workpieces
US20060040111A1 (en) * 2004-08-20 2006-02-23 Dolechek Kert L Process chamber and system for thinning a semiconductor workpiece
US7193295B2 (en) * 2004-08-20 2007-03-20 Semitool, Inc. Process and apparatus for thinning a semiconductor workpiece
US20060046499A1 (en) * 2004-08-20 2006-03-02 Dolechek Kert L Apparatus for use in thinning a semiconductor workpiece
US7354649B2 (en) 2004-08-20 2008-04-08 Semitool, Inc. Semiconductor workpiece
US7288489B2 (en) * 2004-08-20 2007-10-30 Semitool, Inc. Process for thinning a semiconductor workpiece
KR101505700B1 (ko) * 2007-11-23 2015-03-24 램 리서치 아게 웨이퍼형 물품의 주변 영역을 습윤 처리하기 위한 디바이스 및 프로세스
EP2067582B1 (de) 2007-12-04 2011-08-17 Schunk GmbH & Co. KG Spann- und Greiftechnik Greifvorrichtung für scheibenförmige Gegenstände
IT1392938B1 (it) * 2008-07-14 2012-04-02 Manitou Costr Ind S R L Organo di presa per veicoli per la movimentazione di carichi.
US8596623B2 (en) * 2009-12-18 2013-12-03 Lam Research Ag Device and process for liquid treatment of a wafer shaped article
IT1402475B1 (it) * 2010-11-05 2013-09-13 Gimatic Spa Pinza di presa pneumatica parallela
CN102485442B (zh) * 2010-12-04 2014-08-20 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 柔性抓取装置
DE102011005306A1 (de) * 2011-03-09 2012-09-13 Krones Aktiengesellschaft Verschließwerkzeug
CN102248483B (zh) * 2011-07-14 2013-01-02 淮安优联工业自动化装备有限公司 工业机器人自动砂光夹具
CN102935942B (zh) * 2011-08-16 2015-03-04 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 电控操作器
US9028502B2 (en) * 2011-09-23 2015-05-12 Greatbatch Medical S.A. Ceramic implant holder
US8322766B1 (en) * 2011-11-02 2012-12-04 Gintech Energy Corporation Wafer gripper
US9136155B2 (en) * 2011-11-17 2015-09-15 Lam Research Ag Method and device for processing wafer shaped articles
US9038262B2 (en) * 2012-02-23 2015-05-26 Beijing Sevenstar Electronics Co., Ltd. Device for holding disk-shaped articles and method thereof
US9373534B2 (en) 2012-09-05 2016-06-21 Industrial Technology Research Institute Rotary positioning apparatus with dome carrier, automatic pick-and-place system, and operating method thereof
US9748120B2 (en) 2013-07-01 2017-08-29 Lam Research Ag Apparatus for liquid treatment of disc-shaped articles and heating system for use in such apparatus
CN103507073B (zh) * 2012-11-23 2015-11-11 北京理工大学 一种应用于光盘库的机械手
DE102012221453A1 (de) * 2012-11-23 2014-05-28 Wobben Properties Gmbh Greifeinrichtung zum Handhaben von Bewehrungskörben für Turmsegmente einer Windenergieanlage
CN104526715A (zh) * 2014-11-29 2015-04-22 芜湖银星汽车零部件有限公司 一种零部件抓取用机械臂
CN104493819B (zh) * 2014-11-29 2017-01-04 芜湖银星汽车零部件有限公司 一种叠放零部件抓取分离工作台
CN104555469B (zh) * 2014-11-29 2017-01-04 芜湖银星汽车零部件有限公司 一种叠放零部件自动分离放置系统
CN105195389A (zh) * 2015-09-30 2015-12-30 江苏比微曼智能科技有限公司 软质散热胶贴附装置
CN105253615A (zh) * 2015-09-30 2016-01-20 江苏比微曼智能科技有限公司 一种软质散热胶贴附装置的集成载具
CN105208767B (zh) * 2015-09-30 2018-06-22 江苏比微曼智能科技有限公司 Pcb板贴硅胶片机
CN105208779B (zh) * 2015-09-30 2018-06-22 江苏比微曼智能科技有限公司 一种用于pcb板贴硅胶片机的双保压装置
CN105345833A (zh) * 2015-11-24 2016-02-24 苏州市顺仪五金有限公司 一种活动调节板材卡爪
CN105329666A (zh) * 2015-11-24 2016-02-17 苏州市顺仪五金有限公司 一种可调节板材卡爪
CN105345835A (zh) * 2015-11-24 2016-02-24 苏州市顺仪五金有限公司 一种带导向的板材卡爪
CN105345834A (zh) * 2015-11-24 2016-02-24 苏州市顺仪五金有限公司 一种带导向的可调节板材卡爪
CN105328708A (zh) * 2015-11-24 2016-02-17 苏州市顺仪五金有限公司 一种板材卡爪
CN105328707A (zh) * 2015-11-24 2016-02-17 苏州市顺仪五金有限公司 一种带导向的活动调节板材卡爪
CN105328499A (zh) * 2015-11-24 2016-02-17 苏州市顺仪五金有限公司 一种固定调节板材卡爪
CN105345584A (zh) * 2015-11-24 2016-02-24 苏州市顺仪五金有限公司 一种带导向的固定调节板材卡爪
CN105619405B (zh) * 2016-03-25 2017-12-08 陕西科技大学 一种桶状工件抓取装置
CN106241360B (zh) * 2016-08-31 2018-05-08 三门三友科技股份有限公司 一种阴极锌板抓取的机械爪
CN106393163B (zh) * 2016-11-22 2018-12-11 绍兴市华锐汽车零部件有限公司 膜片盘簧上料机的膜片盘簧上料机械手
KR101898633B1 (ko) * 2016-11-25 2018-09-13 비전세미콘(주) 반도체 웨이퍼 이송장치의 그리퍼
CN106953203A (zh) * 2017-01-18 2017-07-14 桐乡市远邦传感器有限公司 一种稳定式供电装置
CN107081547A (zh) * 2017-01-18 2017-08-22 朱晓凤 一种焊接用的卡紧设备
CN107081548A (zh) * 2017-01-18 2017-08-22 朱晓凤 一种用于焊接的卡紧装置
CN106514115B (zh) * 2017-01-18 2017-11-07 泰州市华丰科技设备有限公司 一种焊接用卡紧装置
CN106514362B (zh) * 2017-01-18 2018-07-13 徐萍 一种板材加工装置
CN107335700A (zh) * 2017-01-18 2017-11-10 朱云仙 一种弯曲管件的夹固设备
CN106953204A (zh) * 2017-01-18 2017-07-14 桐乡市远邦传感器有限公司 一种设备用供电装置
CN108237318A (zh) * 2017-05-27 2018-07-03 佛山腾谱工业设计有限公司 一种便捷的焊接设备
CN107127489A (zh) * 2017-05-27 2017-09-05 何冠阅 一种安全的焊接设备
CN107030424A (zh) * 2017-05-27 2017-08-11 何冠阅 一种焊接设备
CN107186402A (zh) * 2017-05-29 2017-09-22 陈柯 一种焊接设备
CN107030425A (zh) * 2017-05-29 2017-08-11 陈柯 一种新型焊接设备
CN108127304A (zh) * 2017-05-29 2018-06-08 南宁市益诚安防设备有限公司 一种改进型焊接设备
CN107685464A (zh) * 2017-05-31 2018-02-13 广西南宁东能科技有限责任公司 一种实用的垃圾处理装置
CN107685465A (zh) * 2017-05-31 2018-02-13 广西南宁东能科技有限责任公司 一种新型垃圾处理装置
US10099384B1 (en) 2017-09-30 2018-10-16 Quartet Medtronics Inc Industrial wedge-type gripper mechanism
CN107856047A (zh) * 2017-10-27 2018-03-30 天津腾达集团有限公司 一种用于制鞋设备的抓手装置
CN108789465A (zh) * 2018-06-15 2018-11-13 芜湖易迅生产力促进中心有限责任公司 一种机器人机械手夹取机构
CN109365850B (zh) * 2018-12-07 2024-01-26 福建工程学院 一种送纱管自动装夹装置
CN109648592A (zh) * 2019-02-28 2019-04-19 苏州明志科技有限公司 一种抓取机构
CN109986591B (zh) * 2019-04-22 2024-05-14 宜昌长机科技有限责任公司 一种可快速调整卡爪位置的抓取机构及使用方法
CN109878976B (zh) * 2019-04-25 2021-12-14 深圳市沃特邦检测仪器设备有限公司 一种器件检测用具有夹持固定结构的输送装置
CN110328681B (zh) * 2019-07-29 2020-04-14 南京涵铭置智能科技有限公司 一种工业机器人用夹持装置及夹持方法
EP3928931A1 (de) * 2020-03-31 2021-12-29 ATS Automation Tooling Systems Inc. Systeme und verfahren zum greifen zylindrischer gegenstände in einer fertigungsumgebung
CN112209230A (zh) * 2020-09-18 2021-01-12 扬州市众达气弹簧有限公司 钟形钳

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3170322A (en) * 1962-06-05 1965-02-23 Instron Corp Grip
BE759098A (fr) * 1969-11-19 1971-04-30 Demag Ag Dispositif pour saisir des plaques d'anodes
BE795685A (fr) * 1972-03-01 1973-06-18 Siempelkamp Gmbh & Co Dispositif de manipulation de feuilles de placage
DE2317679A1 (de) * 1973-04-07 1974-10-24 Universal S P A Vorrichtung zur stapelung von fliesen, kacheln und dergleichen auf eine abstellflaeche
JPS5170576A (ja) * 1974-12-16 1976-06-18 Hitachi Ltd Kenshutsukiko
US4227851A (en) * 1978-08-18 1980-10-14 Stelron Cam Company Device for picking up and placing articles on movable conveyors and assembly lines and to an endless conveyor construction and to an article pickup and deposit device therefor
JPS5790956A (en) * 1980-11-28 1982-06-05 Hitachi Ltd Gripper for wafer
US4676541A (en) * 1982-11-27 1987-06-30 Cleveland-Guest (Engineering) Limited Robot hand
DE3322142A1 (de) * 1983-06-20 1984-12-20 Mantec Gesellschaft für Automatisierungs- und Handhabungssysteme mbH, 8510 Fürth Greifer fuer einen industrieroboter
US4707013A (en) * 1986-05-30 1987-11-17 The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce Split rail parallel gripper
US4705313A (en) * 1986-06-30 1987-11-10 Universal Instruments Corporation Selective gripping of inside and outside of articles
DE3624307C1 (de) * 1986-07-18 1987-11-12 Agfa Gevaert Ag Vorrichtung zum Aufnehmen und Absetzen von Spulen
DE3915038A1 (de) * 1989-05-08 1990-11-22 Balzers Hochvakuum Halte- und transportvorrichtung fuer eine scheibe
DE4033587A1 (de) * 1990-10-22 1992-04-23 Focke & Co Vorrichtung zum handhaben von gegenstaenden, wie kartons
JPH081922B2 (ja) * 1991-01-25 1996-01-10 株式会社東芝 ウェハ−保持装置
JPH04256625A (ja) * 1991-02-06 1992-09-11 Inax Corp 衛生陶器未焼成品の移載装置
US5125708A (en) * 1991-05-20 1992-06-30 Nicky Borcea Wedge gripper
DE9204457U1 (de) * 1992-04-01 1992-05-27 Sommer Automatic GmbH, 7541 Straubenhardt Pneumatisch betätigter Greifer

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT405701B (de) * 1997-06-18 1999-11-25 Sez Semiconduct Equip Zubehoer Greifer für halbleiterwafer und andere scheibenförmige gegenstände
US6316367B1 (en) 1997-06-18 2001-11-13 Sez Semiconductor-Equipment Zubehor Process and device for handling disk-like objects, especially silicon wafers
AT411304B (de) * 1997-06-18 2003-11-25 Sez Ag Träger für scheibenförmige gegenstände, insbesondere silizium-wafer
DE19755694A1 (de) * 1997-12-16 1999-06-24 Sez Semiconduct Equip Zubehoer Vorrichtung zum Transport dünner, scheibenförmiger Gegenstände
DE19755694C2 (de) * 1997-12-16 2000-05-31 Sez Semiconduct Equip Zubehoer Handhabungsvorrichtung für dünne, scheibenförmige Gegenstände
EP0924148B1 (de) * 1997-12-16 2001-01-10 SEZ Semiconductor-Equipment Zubehör für die Halbleiterfertigung AG Vorrichtung zum Transport dünner, scheibenförmiger Gegenstände

Also Published As

Publication number Publication date
JPH09506828A (ja) 1997-07-08
US5762391A (en) 1998-06-09
WO1995011518A1 (de) 1995-04-27
DE59407850D1 (de) 1999-04-01
EP0724774B1 (de) 1999-02-24
JP3418955B2 (ja) 2003-06-23
ATE176963T1 (de) 1999-03-15
EP0724774A1 (de) 1996-08-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AT640U1 (de) Greifer für halbleiterwafer und andere scheibenförmige gegenstände
AT405701B (de) Greifer für halbleiterwafer und andere scheibenförmige gegenstände
EP0085169B1 (de) Schwenkspanner
DE102014204531B4 (de) Kugelarretierungs-kompensator zum einsatz mit einem roboter-werkzeug
DE68903905T2 (de) Spannzange, adaptierbar an ein werkzeugmaschinenfutter.
EP1595641A1 (de) Spanneinrichtung mit einem Spannfutter und einer lösbar daran fixierbaren Palette
DE102014204550A1 (de) Kugelarretierungs-kompensator zum einsatz mit einem roboter-werkzeug
DE102004030583A1 (de) Zweiteilige Schieb- bzw. Gleithalterung
DE3208989A1 (de) Anschlagvorrichtung, insbesondere fuer stanzmaschinen
DE102016116281A1 (de) Beweglicher Haltemechanismus
DE2511988A1 (de) Halter fuer rohrfoermige koerper
EP0320499A2 (de) Greiferkonstruktion für einen Industrieroboter
DE3504100C2 (de) Druckmittelbetätigter Lochgreifer
DE69101026T2 (de) Vorrichtung zum Zuführen von Ringen zu einer automatischen Maschine zum Setzen von Ringen auf Verbrennungsmotorkolben.
DE8901174U1 (de) Montagevorrichtung zum automatischen Einsetzen von Ventilkeilen zwischen Federteller und Ventilschaft
DE102019000379A1 (de) Sicherungsvorrichtung
DE69105028T2 (de) Steckschlüsselhalter.
DE102011052976B4 (de) Greifkopf zum Beschicken einer Schleifmaschine
DE19750784C2 (de) Lastaufnahmemittel
DE68902352T2 (de) Vorrichtung zum ansetzen von befestigungselementen.
DE4214845C2 (de) Vorrichtung zum Aufbringen weitungsfähiger elastischer Ringe
AT383301B (de) Greiferkonstruktion fuer einen industrieroboter
EP0734815A1 (de) Abziehwerkzeug für Lagerringe
EP2995825A2 (de) Pendelauflage
DE4331255C2 (de) Vorrichtung zur Halterung von Werkstücken mittels einer Spannzange

Legal Events

Date Code Title Description
MN9K Cancelled due to lapse of time