JP3900125B2

JP3900125B2 - 有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法

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Publication number: JP3900125B2
Application number: JP2003292321A
Authority: JP
Inventors: 彩映遠藤; 昌宏内田
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2002-11-26
Filing date: 2003-08-12
Publication date: 2007-04-04
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Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法に関するものである。

従来より半導体デバイスの配線パターンなど微細なパターン形成を行う際にフォトリソグラフィー法が多用されているが、近年において液滴吐出法（液状体吐出法）を用いたパターン形成方法が注目され、例えば特許文献１に記載されている。液滴吐出法はパターン形成用材料を溶媒で液状化（インク化）し、液滴吐出装置より液滴（インク滴）を基材に対して吐出することでパターン形成する方法である。液滴吐出法は少量多種生産に対応可能である点などにおいて大変有効である。
特開２０００−１０６２７８号公報

従来の技術において、液状体を含む組成物（インク）の吐出時に、若しくは組成物（インク）の保存時に、該組成物（インク）の物性変化が生じ、例えば組成物（インク）が有機機能材料を主体として構成されるものである場合には、分子量や分子量分布の変化など有機機能材料の特性変化によって溶質の析出や物性の変化等が生じ、組成物（インク）の安定性や、吐出性能に問題が生じる場合がある。また、組成物を所定位置に形成した後にも、駆動及び／又は保存によって素子を構成する有機機能材料が劣化し、該組成物にて構成されるデバイスの信頼性に問題が生じる場合もある。

このような物性変化の問題は、組成物（インク）が有機機能材料にて構成されるものに限らず、特に金属成分を含有する組成物（インク）や、パターン形成した組成物周辺に金属成分が存在する場合には顕著となり、該金属成分の有機機能材料等への拡散、若しくは有機機能材料等に含有される金属成分の変性等により、該組成物を含む素子特性が損なわれる場合もある。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、液状組成物の経時的な物性変化の発生を抑えることを目的とし、特に溶質を含む液状組成物を成膜する際に、溶質の濃度が極限に達した場合にも該溶質に物性変化の生じ難い液状組成物を提供することを目的とする。
また、この組成物を用いて生産性良く膜パターンを形成できる成膜方法及び成膜装置を提供することを第２の目的とする。
更に、この組成物を用いることにより信頼性の高い電気光学装置及び電気光学装置の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス装置及び有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、デバイス及びデバイスの製造方法、これら装置が搭載された電子機器を提供することを第３の目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明の液状組成物は、溶質と溶媒と金属不活性剤とを含有することを特徴とする。
本発明によれば、溶質と溶媒とを含む液状体に金属不活性剤を添加して液状化（インク化）したことにより、液状体に金属成分が含有されていた場合、もしくは液状体に金属成分が混入した場合にも、該金属成分に起因する物性変化や溶質の析出を抑えることができ、液状組成物（インク）の安定性を向上できる。ここで、用いる溶媒は溶質の物性、特に溶解性に応じて有機系溶媒や水系溶媒など任意の溶媒を適宜選択できる。
本発明の液状組成物では、金属不活性剤を含有させた事により、金属及び／又は金属イオンが含有されていた場合、若しくは混入した場合でも、金属不活性剤が金属及び／又は金属イオンに作用して不活性な金属錯化合物を形成し、溶質との酸化劣化触媒作用を抑制する。
ここで、金属不活性剤としては、２，（２’−ヒドロキシ−３，５’−ジ−ｔ−ブチルフェニル）ベンゾトリアゾール、２，（２’−ヒドロキシ−３，５’−ジ−ｔ−アミルフェニル）ベンゾトリアゾール、３−（Ｎ−サリチロイル）アミノ−１，２，４−トリアゾール等のトリアゾール化合物や、２，３−ビス[[３−(３，５−ジ−t−ブチル−４−ヒドロキシフェニル)プロピオニル]]プロピオノヒドラジド、デカン-ジカルボン酸ジ−（Ｎ’−アルキルサリチロイルヒドラジド）等のヒドラジド化合物等を例示することができる。

本発明の液状組成物において、溶質は有機機能材料とすることができ、該有機機能材料は金属成分により物性変化が生じ易いため、上記金属不活性剤による効果が一層顕著となる。
有機機能材料のなかでも例えば発光材料を含むものとすることができる。これによれば、発光材料を液状化して発光素子を製造する際、液状組成物の物性変化や析出の発生を抑えることができ、優れた発光性能を発揮できる。
また、本発明の液状組成物において、前記有機機能材料は高分子材料である構成が採用されてもよいし、有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する材料が採用されもよい。更に、前記有機機能材料が有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する材料である場合、前記金属不活性剤が添加されるのは正孔注入材料（正孔注入層形成用材料）、あるいは有機エレクトロルミネッセンス材料すなわち発光材料（発光層形成用材料）とすることができる。

また、本発明の液状組成物において、前記金属不活性剤は透明あるいは半透明である構成が好ましく、さらには無色である構成が好ましい。これによれば、この液状組成物を発光装置の製造に適用した際、金属不活性剤による着色を抑え、発光装置による発光色の変化や輝度の低下等、発光色に対する金属不活性剤の影響を抑えることができ、所望の発色状態を得ることができる。なお、有機機能材料に対する金属不活性剤の添加量が十分に少ない場合であれば、金属不活性剤が着色していても発光色に対する影響は少ない。

また、前記金属不活性剤は、前記溶質への溶解性ないし分散性が高く、且つ前記溶媒への溶解性ないし分散性が高いものが好ましい。具体的に金属不活性剤の溶解性パラメータは７．０〜１３．０である構成が好ましい。これによれば、金属不活性剤は溶媒に対して十分な溶解性を有し、さらには有機機能材料等の溶質とも相溶するため、十分に分散され、成膜後においても相分離が生じない。そして、有機機能材料が発光材料である場合には、金属不活性剤が十分に分散されることによって発光ムラが生じるのを抑えることができる。

ここで、有機機能材料が有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する材料のうち正孔注入材料（正孔注入層形成用材料）である場合には、溶解パラメータが７．０〜１３．０、好ましくは８．５〜１３．０である金属不活性剤を用いることが望ましい。一方、有機機能材料が有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する材料のうち発光材料（発光層形成用材料）である場合には、溶解パラメータが７．０〜１３．０、好ましくは７．５〜１０．５である金属不活性剤を用いることが望ましい。

本発明の液状組成物において、前記金属不活性剤の前記溶媒に対する溶解度は０．００１％以上である構成が好ましい。これによれば、金属不活性剤は溶媒に対して十分な溶解性を有するので、有機機能材料等の溶質と相溶し、十分に分散され、成膜後においても相分離が生じない。そして、有機機能材料が発光材料である場合には、金属不活性剤が十分に分散されることによって発光ムラが生じるのを抑えることができる。

ここで、有機機能材料が有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する材料のうち正孔注入材料である場合には、溶媒に対する溶解度が０．００１％以上好ましくは５％以上である金属不活性剤を用いることが望ましい。また、有機機能材料が有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する材料のうち発光材料である場合にも、溶媒に対する溶解度が０．００１％以上好ましくは５％以上である金属不活性剤を用いることが望ましい。

本発明の液状組成物において、前記金属不活性剤の添加量は前記有機機能材料に対して０．００１〜３０ｗｔ％である構成が好ましく、更には０．１〜１０ｗｔ％である構成が好ましい。これによれば、組成物は物性変化を防止ないし抑制されつつ所望の機能を発揮する。

本発明の液状組成物には、ラジカル連鎖禁止剤や過酸化物分解剤等の酸化防止剤を更に含有させることもできる。この場合、物性変化抑制効果が更に向上し、例えば発光素子等を形成した場合には、該発光素子の特性が向上する。ここで、ラジカル連鎖禁止剤としては、フェノール系金属不活性剤、モノフェノール系、ビスフェノール系、及び高分子型フェノール系金属不活性剤が挙げられる。過酸化物分解剤としては、硫黄系金属不活性剤、リン系金属不活性剤などが挙げられる。さらに、界面活性剤やｐＨ調整剤、紫外線吸収剤、その他の添加剤と併用することが可能である。

次に、本発明の成膜方法は、溶質と溶媒と金属不活性剤とを混合して、上記本発明に係る液状組成物を調整し、前記液状組成物を所定面上に設けることにより膜を形成することを特徴とする。
本発明によれば、膜を形成するための液状組成物に金属不活性剤を添加したので、該液状組成物の物性変化や析出が生じるのを抑えることができる。したがって、均一な膜を生産性良く製造できるとともに、成膜後においても膜の相分離などが生じ難くなる。

本発明の成膜方法において、前記溶質として有機機能材料を採用することができ、有機機能材料は金属成分による特性変化の影響が大きいため、金属不活性剤の含有効果が一層顕著となり得る。また、例えば有機機能材料として発光材料を適用した場合には、良好な発光特性を有する膜を製造することができる。

また、本発明の成膜方法において、前記有機機能材料は、有機エレクトロルミネッセンス素子の構成要素形成用材料であってもよいし、カラーフィルタの構成要素形成用材料であってもよいし、有機薄膜トランジスタ素子の構成要素形成用材料であってもよいし、液晶素子の構成要素形成用材料であってもよい。これら各構成要素形成用材料に金属不活性剤を添加することにより上記各素子は良好に性能を発揮する。

本発明の成膜方法において、金属不活性剤として前記溶質及び溶媒に対して分散性ないし溶解性の高いものを用い、前記組成物を液状体吐出装置で前記所定面上に吐出することにより前記膜を形成するものとすることができる。すなわち、本発明の液状組成物を液状体吐出法（液滴吐出法）により所定面上に吐出し、成膜することができる。この場合、組成物には金属不活性剤が添加されているので物性変化や析出の発生が抑えられている。したがって、液状体吐出装置からの吐出動作は安定し、液滴吐出装置における目詰まり等も生じ難く、所望の膜パターンを形成でき、しかも成膜後においても相分離が生じ難いものとなる。なお、本発明の組成物を用いた成膜方法は、液滴吐出法に限らず、スピンコート法など他のコーティング法（成膜法）を用いてもよい。

本発明の成膜方法は、その異なる態様として、溶質と溶媒とを含む第１組成物を所定面上に配置して第１膜を形成し、前記第１膜上に金属不活性剤を含む第２膜を形成することを特徴とすることを特徴とする。
すなわち、有機機能材料等の溶質を溶媒により液状化（インク化）し、この第１組成物により成膜し、この膜上に金属不活性剤を成膜することもできる。
ここで、前記金属不活性剤を設ける際、前記金属不活性剤と溶媒とを含む第２組成物を調整し、該第２組成物を流路を介して液状体吐出装置に送出し、該液状体吐出装置により前記第１膜上に前記第２組成物を吐出することにより、前記金属不活性剤を前記第１膜上に配置することが望ましい。液状体吐出装置を用いて金属不活性剤を含む第２膜を成膜することにより、金属不活性剤を含む任意の膜パターンを容易に形成できる。ここで、流路は外気と遮断されていることが望ましい。

なお、第１組成物を基材上に設けた後、この基材上の第１組成物（第１膜）に対して熱処理（ベーキング処理）を行って溶媒を除去してから第２組成物を吐出するようにしてもよいし、基材上に第１組成物を設けた後、直ちに、すなわち基材上の第１膜が濡れている状態で第２組成物を吐出するようにしてもよい。基材上の第１組成物が濡れている状態で第２組成物を吐出することにより、基材上において第１組成物と金属不活性剤を含む第２組成物とを混合することができる。また、この場合において、第２組成物は、金属不活性剤と溶媒とからなる溶液でもよいし、金属不活性剤と溶媒とバインダとしての合成樹脂とからなる液状体であってもよい。金属不活性剤と溶媒と合成樹脂とによって第２組成物を生成した場合には、有機機能材料層と金属不活性剤を含む合成樹脂層とが積層された状態となる。もちろん、バインダとしては合成樹脂に限らず、有機機能材料に影響を与えない任意の材料を用いることができる。

次に、本発明の成膜装置は、溶質と溶媒と金属不活性剤とを含む液状組成物を調整する液状組成物調整装置と、前記液状組成物調整装置で調整した液状組成物を含む液状体を所定面に吐出する液状体吐出装置とを備えることを特徴とする。
本発明によれば、金属不活性剤を含む液状組成物を調整する装置と、調整した液状組成物を含む液状体を吐出する液状体吐出装置とを含むため、液状組成物の物性変化や析出の発生を抑えつつ、しかも高い吐出安定性を保ったまま成膜をすることが可能となる。したがって、均一な膜を生産性良く製造できるとともに、形成した膜は相分離しないばかりでなく、薄膜の機能を損なわない。そして、液滴吐出装置を用いて成膜するようにしたので、任意の膜パターンを容易に形成できる。
また、液状組成物調整装置で調整した組成物を調整装置から液状体吐出装置に搬送する際に、例えば、外気に触れさせないなどすれば、より液状組成物の安定性を向上させることができるようになる。

また、本発明の成膜装置は、有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する材料と溶媒と金属不活性剤とを含む液状組成物を調整する液状組成物調整装置と、前記液状組成物調整装置で調整した液状組成物を含む液状体を所定面上に吐出する液状体吐出装置とを備えることを特徴とする。
本発明によれば、有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する材料を含む組成物に金属不活性剤を添加したので、この組成物の物性変化や析出の発生を抑えることができる。したがって、均一な膜を生産性良く製造できるとともに成膜後においても膜は相分離せず、所望の性能を有する有機エレクトロルミネッセンス素子を製造できるようになる。

なお、本発明の成膜装置において、前記所定面を有する基材を支持しつつ移動可能なステージ装置を備える構成を採用することができる。これによれば、基材を移動しながら液状組成物を所定面上に設けることができ、効率良く膜を製造できるようになる。

次に、本発明の電気光学装置は、機能素子を有する電気光学装置において、前記機能素子に金属不活性剤が含有されていることを特徴とする。
本発明によれば、機能素子に金属不活性剤が含有されていることにより、素子製造時において機能素子中の材料の物性変化や析出の発生を抑えることができ、また、当該装置の機能素子内においての経時的な特性変化や劣化等も抑えられ、信頼性の高い電気光学装置を提供することが可能となる。

本発明の電気光学装置は、機能素子を有する電気光学装置において、前記機能素子に金属不活性剤を含有した金属不活性層が積層してなることを特徴とする。
すなわち、金属不活性剤は、機能素子に含有されている構成の他に、機能素子とは別の金属不活性層あるいは膜として設けることができ、この場合も上記と同様に、当該装置の機能素子内においての経時的な特性変化や劣化等が抑えられ、特に金属層と機能素子層との間に該金属不活性層を配設することで、一層の特性変化ないし劣化の抑制機能を発現することが可能となり、一層信頼性の高い電気光学装置を提供することが可能となる。

本発明の電気光学装置において、前記機能素子は発光素子とすることができる。すなわち、機能素子は発光可能な材料層により構成されていてもよい。これにより、良好な発光性能を有する電気光学装置が提供される。また、本発明の電気光学装置において、前記機能素子は有機エレクトロルミネッセンス素子である構成とすることもできる。

次に、本発明の電気光学装置の製造方法は、機能素子を有する電気光学装置の製造方法において、前記機能素子形成用材料と溶媒とを含有する溶液に金属不活性剤を添加して液状組成物を調整する工程と、前記液状組成物を基材上に形成し、前記機能素子の構成要素となる膜を成膜する工程とを有することを特徴とする。
本発明によれば、機能素子形成用材料と溶媒と金属不活性剤とにより液状組成物を生成するので、液状組成物製造時や保存時において材料の物性変化や析出の発生を抑えることができる。そして、この液状組成物を用いて成膜するようにしたので形成された膜は相分離などを生じず、該膜内部において機能素子の物性変化等も生じ難くなる。

また、本発明の電気光学装置の製造方法において、前記液状組成物を含む液状体を液状体吐出装置で前記基材上に吐出することにより前記膜を形成するものとすることができる。これにより、所望の膜パターンを容易に形成することが可能となる。

さらに、本発明の電気光学装置の製造方法は、その異なる態様として、機能素子を有する電気光学装置の製造方法において、前記機能素子形成用材料と溶媒とを含む第１組成物を基材上に形成し、前記機能素子の構成要素となる第１膜を形成する工程と、前記第１膜上に金属不活性剤を含む第２膜を形成する工程とを有することを特徴とする。
すなわち、基材上に機能素子の構成要素となる第１膜を形成した後、この第１膜上に金属不活性剤を含む第２膜を設けることで、上記同様、膜内部において機能素子の物性変化等も生じ難くなる。

そして、前記金属不活性剤を含む第２膜を形成する工程において、該金属不活性剤と溶媒とを含む第２組成物を調整し、該第２組成物を含む液状体を液状体吐出装置で前記第１膜上に吐出するものとすることができる。この場合においても、金属不活性剤と溶媒とを含む第２組成物にバインダとしての合成樹脂を加え、合成樹脂を含む第２の組成物を吐出するようにしてもよい。そして、前記機能素子は有機エレクトロルミネッセンス素子である構成とすることができる。

次に、本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置は、複数の材料層を有する有機エレクトロルミネッセンス装置において、前記複数の材料層のうち少なくとも１つの材料層に金属不活性剤が含有されていることを特徴とする。
本発明によれば、有機エレクトロルミネッセンス装置を構成する材料層に金属不活性剤を含有したことにより、経時的あるいは駆動することによる有機エレクトロルミネッセンス装置の材料層の特性変化若しくは劣化等を防止でき、信頼性の高い有機エレクトロルミネッセンス装置を提供できる。

この場合において、有機エレクトロルミネッセンス装置を構成する前記材料層のうち発光層に金属不活性剤が含有されているものが好ましい。これにより、発光層の経時的な物性変化ないし劣化が抑えられ、良好な発光特性を有する有機エレクトロルミネッセンス装置が提供される。また、前記材料層のうち正孔注入層に金属不活性剤が含有されている構成としても、同様に正孔注入層の経時的な物性変化ないし劣化が抑制される。

本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置は、複数の材料層を有する有機エレクトロルミネッセンス装置において、前記複数の材料層のうち所定の材料層どうしの間に金属不活性剤を含む酸化防止層が形成されていることを特徴とする。
すなわち、有機エレクトロルミネッセンス装置を構成する材料層自体に金属不活性剤を含有させる構成の他に、材料層どうしの間に金属不活性剤からなる層（金属不活性層）を介在させることも可能である。この場合、材料層と金属不活性層を介して配設される金属成分を含む金属層がある場合にも、該金属層に起因する材料層の物性変化や劣化等が生じ難くなり、信頼性の高い有機エレクトロルミネッセンス装置を提供することが可能となる。

次に、本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法は、複数の材料層を有する有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法において、前記材料層形成用材料と溶媒とを含有する溶液に金属不活性剤を添加して液状組成物を調整し、該液状組成物を用いて前記材料層を形成することを特徴とする。
本発明によれば、有機エレクトロルミネッセンス装置を製造するための液状組成物を製造する際、材料層形成用材料に金属不活性剤を添加するようにしたので、該液状組成物の製造時や保存時において、その組成物の物性変化や溶質の析出の発生を抑えることができる。そして、この組成物を用いて材料層を形成することにより相分離などの不具合の発生を抑えることができる。したがって、信頼性の高い有機エレクトロルミネッセンス装置を製造することができる。

本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法において、前記液状組成物を含む液状体を液状体吐出装置で吐出することにより前記材料層を形成する構成を採用することができる。この場合、液状体吐出法（液滴吐出法）を用いて材料層を形成するため、簡易な構成で作業性良く材料層を形成できる。

また、本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法は、その異なる態様として、複数の材料層を有する有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法において、前記材料層形成用材料と溶媒とを含む第１組成物を用いて第１材料層を形成し、前記第１材料層上に金属不活性剤を含む第２材料層を設けることを特徴とする。
すなわち、この場合においても、発光層や正孔注入層等の材料層を含む第１材料層に隣接して、具体的には第１材料層上に金属不活性剤を含む第２材料層を形成するものとしたため、例えば金属成分を含む金属層があったとしても、第１材料層上に第２材料層を介して該金属層を形成すればよいため、隣接する金属層の影響で第１材料層中の発光層や正孔注入層等において、物性変化や劣化等が生じ難くなる。
なお、前記金属不活性剤を設ける際、該金属不活性剤と溶媒とで第２組成物を生成し、該第２組成物を含む液状体を液状体吐出装置で前記材料層に吐出する構成が可能である。この場合、液状体吐出法（液滴吐出法）を用いて第２材料層を形成するため、簡易な構成で作業性良く材料層を形成できる。

次に、本発明のデバイスは、上記記載の液状組成物を用いて製造されたことを特徴とする。また、本発明のデバイスの製造方法は、上記記載の液状組成物を用いることを特徴とする。また、本発明のデバイスの製造方法において、前記液状組成物からなる液状体を液状体吐出装置で吐出する工程を有するものとすることができる。これにより、信頼性の高いデバイスを提供できる。

本発明の電子機器は、上記記載の電気光学装置が搭載されたことを特徴とする。また、本発明の電子機器は、上記記載の有機エレクトロルミネッセンス装置が搭載されたことを特徴とする。これにより優れた特性を有する電子機器が提供される。

ここで、本発明における液状体吐出装置（液滴吐出装置）はインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）を備えたインクジェット装置を含む。インクジェット装置のインクジェットヘッドは、インクジェット法により液状体組成物を定量的に吐出可能であり、例えば１ドットあたり１〜３００ナノグラムの液状体組成物を定量的に断続して滴下可能な装置である。なお、液滴吐出装置としてはディスペンサー装置であってもよい。

液滴吐出装置の液滴吐出方式としては、圧電体素子の体積変化により液状体組成物を吐出させるピエゾジェット方式であっても、熱の印加により急激に蒸気が発生することにより液状体組成物を吐出させる方式であってもよい。

液状体を含む組成物（液状組成物）とは、液滴吐出装置の吐出ヘッドのノズルから吐出可能（滴下可能）な粘度を備えた媒体をいう。水性であると油性であるとを問わない。ノズル等から吐出可能な流動性（粘度）を備えていれば十分で、固体物質が混入していても全体として流動体であればよい。また、液状組成物に含まれる材料は融点以上に加熱されて溶解されたものでも、溶媒中に微粒子として攪拌されたものでもよく、溶媒の他に染料や顔料その他の機能性材料を添加したものであってもよい。また、基材はフラット基板を指す他、曲面状の基板であってもよい。さらにパターン形成面の硬度が硬い必要はなく、ガラスやプラスチック、金属以外に、フィルム、紙、ゴム等可撓性を有するものの表面であってもよい。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
（成膜装置及び成膜方法）
図１は本発明の成膜装置の一実施形態としての液滴吐出装置を示す概略斜視図である。また、図２及び図３は液滴吐出装置に設けられた液滴吐出ヘッドを示す図である。
図１において、液滴吐出装置ＩＪは、基板（基材）Ｐの表面（所定面）に液状体組成物を設置可能な成膜装置であって、ベース１２と、ベース１２上に設けられ、基板Ｐを支持するステージ（ステージ装置）ＳＴと、ベース１２とステージＳＴとの間に介在し、ステージＳＴを移動可能に支持する第１移動装置１４と、ステージＳＴに支持されている基板Ｐに対して有機機能材料を含む液状体組成物を定量的に吐出（滴下）可能な液滴吐出ヘッド２０と、液滴吐出ヘッド２０を移動可能に支持する第２移動装置１６とを備えている。液滴吐出ヘッド２０の液状体組成物の吐出動作や、第１移動装置１４及び第２移動装置１６の移動動作を含む液滴吐出装置ＩＪの動作は、制御装置ＣＯＮＴにより制御される。

第１移動装置１４はベース１２の上に設置されており、Ｙ軸方向に沿って位置決めされている。第２移動装置１６は、支柱１６Ａ，１６Ａを用いてベース１２に対して立てて取り付けられており、ベース１２の後部１２Ａにおいて取り付けられている。第２移動装置１６のＸ軸方向は、第１移動装置１４のＹ軸方向と直交する方向である。ここで、Ｙ軸方向はベース１２の前部１２Ｂと後部１２Ａ方向に沿った方向である。これに対してＸ軸方向はベース１２の左右方向に沿った方向であり、各々水平である。また、Ｚ軸方向はＸ軸方向及びＹ軸方向に垂直な方向である。

第１移動装置１４は、例えばリニアモータによって構成され、ガイドレール４０、４０と、このガイドレール４０に沿って移動可能に設けられているスライダー４２とを備えている。このリニアモータ形式の第１移動装置１４のスライダー４２は、ガイドレール４０に沿ってＹ軸方向に移動して位置決め可能である。

また、スライダー４２はＺ軸回り（θｚ）用のモータ４４を備えている。このモータ４４は、例えばダイレクトドライブモータであり、モータ４４のロータはステージＳＴに固定されている。これにより、モータ４４に通電することでロータとステージＳＴとは、θｚ方向に沿って回転してステージＳＴをインデックス（回転割り出し）することができる。すなわち、第１移動装置１４は、ステージＳＴをＹ軸方向及びθｚ方向に移動可能である。

ステージＳＴは基板Ｐを保持し、所定の位置に位置決めするものである。また、ステージＳＴは吸着保持装置５０を有しており、吸着保持装置５０が作動することにより、ステージＳＴの穴４６Ａを通して基板ＰをステージＳＴの上に吸着して保持する。

第２移動装置１６はリニアモータによって構成され、支柱１６Ａ，１６Ａに固定されたコラム１６Ｂと、このコラム１６Ｂに支持されているガイドレール６２Ａと、ガイドレール６２Ａに沿ってＸ軸方向に移動可能に支持されているスライダー６０とを備えている。スライダー６０はガイドレール６２Ａに沿ってＸ軸方向に移動して位置決め可能であり、液滴吐出ヘッド２０はスライダー６０に取り付けられている。

液滴吐出ヘッド２０は、揺動位置決め装置としてのモータ６２，６４，６６，６８を有している。モータ６２を作動すれば、液滴吐出ヘッド２０は、Ｚ軸に沿って上下動して位置決め可能である。このＺ軸はＸ軸とＹ軸に対して各々直交する方向（上下方向）である。モータ６４を作動すると、液滴吐出ヘッド２０は、Ｙ軸回りのβ方向に沿って揺動して位置決め可能である。モータ６６を作動すると、液滴吐出ヘッド２０は、Ｘ軸回りのγ方向に揺動して位置決め可能である。モータ６８を作動すると、液滴吐出ヘッド２０は、Ｚ軸回りのα方向に揺動して位置決め可能である。すなわち、第２移動装置１６は、液滴吐出ヘッド２０をＸ軸方向及びＺ軸方向に移動可能に支持するとともに、この液滴吐出ヘッド２０をθｘ方向、θｙ方向、θｚ方向に移動可能に支持する。

このように、図１の液滴吐出ヘッド２０は、スライダー６０において、Ｚ軸方向に直線移動して位置決め可能で、α、β、γに沿って揺動して位置決め可能であり、液滴吐出ヘッド２０の吐出面２０Ｐは、ステージＳＴ側の基板Ｐに対して正確に位置あるいは姿勢をコントロールすることができる。なお、液滴吐出ヘッド２０の吐出面２０Ｐには液状体組成物を吐出する複数のノズルが設けられている。

図２は液滴吐出ヘッド２０を示す分解斜視図である。液滴吐出ヘッド２０は、ノズル８１を有するノズルプレート８０と、振動板８５を有する圧力室基板９０と、これらノズルプレート８０と振動板８５とを嵌め込んで支持する筐体８８とを備えている。液滴吐出ヘッド２０の主要部構造は、図３の斜視図一部断面図に示すように、圧力室基板９０をノズルプレート８０と振動板８５とで挟み込んだ構造を備える。ノズルプレート８０には、圧力室基板９０と貼り合わせられたときにキャビティ（圧力室）８１に対応することとなる位置にノズル８１が形成されている。圧力室基板９０には、シリコン単結晶基板等をエッチングすることにより、各々が圧力室として機能可能にキャビティ８１が複数設けられている。キャビティ８１どうしの間は側壁９２で分離されている。各キャビティ８１は供給口９４を介して共通の流路であるリザーバ９３に繋がっている。振動板８５は、例えば熱酸化膜等により構成される。振動板８５にはタンク口８６が設けられ、後述する液状体組成物調整装置Ｓとしてのタンク３０からパイプ（流路）３１を通して任意の液状体組成物を供給可能に構成されている。振動板８５上のキャビティ８１に相当する位置には圧電体素子８７が形成されている。圧電体素子８７はＰＺＴ素子等の圧電性セラミックスの結晶を上部電極および下部電極（図示せず）で挟んだ構造を備える。圧電体素子８７は制御装置ＣＯＮＴから供給される吐出信号に対応して体積変化を発生可能に構成されている。

液滴吐出ヘッド２０から液状体組成物を吐出するには、まず、制御装置ＣＯＮＴが液状体組成物を吐出させるための吐出信号を液滴吐出ヘッド２０に供給する。液状体組成物は液滴吐出ヘッド２０のキャビティ８１に流入しており、吐出信号が供給された液滴吐出ヘッド２０では、その圧電体素子８７がその上部電極と下部電極との間に加えられた電圧により体積変化を生ずる。この体積変化は振動板８５を変形させ、キャビティ８１の体積を変化させる。この結果、そのキャビティ８１のノズル穴２１１から液状体組成物の液滴が吐出される。液状体組成物が吐出されたキャビティ８１には吐出によって減った液状体組成物が新たに後述するタンク３０から供給される。

なお、上記液滴吐出ヘッドは圧電体素子に体積変化を生じさせて液状体組成物を吐出させる構成であったが、発熱体により液体材料に熱を加えその膨張によって液滴を吐出させるようなヘッド構成であってもよい。

図１に戻って、基板Ｐ上に設けられる液状体組成物（液状組成物）は、液状体組成物調整装置Ｓにより生成される。液状体組成物調整装置Ｓは、液状体組成物を収容可能なタンク３０と、タンク３０に取り付けられ、このタンク３０に収容されている液状体組成物の温度を調整する温度調整装置３２と、タンク３０に収容されている液状体組成物を攪拌する撹拌装置３３とを備えている。温度調整装置３２はヒータにより構成されており、タンク３０内の液状体組成物を任意の温度に調整する。

本実施形態において、液状体組成物調整装置Ｓは、有機機能材料（溶質）と溶媒とを含有する溶液に金属不活性剤を添加することにより液状体組成物を生成する。タンク３０には、このタンク３０に対して有機機能材料を供給する有機機能材料供給装置（図示せず）と、タンク３０に対して所定の溶媒を供給する溶媒供給装置（図示せず）と、金属不活性剤を供給する金属不活性剤供給装置（図示せず）とが接続されている。そして、これら供給装置のそれぞれからタンク３０に供給された有機機能材料、溶媒、及び金属不活性剤が攪拌装置３３により攪拌されることによりこれら有機機能材料、溶媒、及び金属不活性剤を含む液状体組成物が生成される。攪拌装置３３に攪拌されることにより液状体組成物に含まれる材料は均一に分散する。ここで、温度調整装置３２は制御装置ＣＯＮＴにより制御され、タンク３０内の液状体組成物は温度調整装置３２により温度調整されることで所望の粘度に調整される。

この場合に用いる金属不活性剤は、液状体組成物に金属成分が含有されていた場合、若しくは混入した場合でも、金属不活性剤が金属成分を例えば包接することにより、該金属成分の活性化を抑制し、有機機能材料との化学反応ないし相互作用を抑制するものを用いている。ここでは、例えば表１に示すようなトリアゾール化合物やヒドラジド化合物を用いることができ、具体的にはチバガイギー社製のチバスペシャルティーＩＲＧＡＮＯＸＭＤ１０２４を好適に用いることができる。

なお、タンク３０はパイプ（流路）３１を介して液滴吐出ヘッド２０に接続しており、液滴吐出ヘッド２０から吐出される液状体組成物はタンク３０からパイプ３１を介して供給される。また、パイプ３１を流れる液状体組成物は図示しないパイプ温度調整装置によって所定の温度に制御され、粘度を調整される。更に、液滴吐出ヘッド２０から吐出される液状体組成物の温度は、液滴吐出ヘッド２０に設けられた不図示の温度調整装置により制御され、所望の粘度に調整されるようになっている。

また、図１には液滴吐出ヘッド２０及び組成物調整装置Ｓのそれぞれが１つだけ図示されているが、液滴吐出装置ＩＪには複数の液滴吐出ヘッド２０及び組成物調整装置Ｓが設けられており、これら複数の液滴吐出ヘッド２０のそれぞれから異種または同種の液状体組成物が吐出されるようになっている。そして、基板Ｐに対してこれら複数の液滴吐出ヘッド２０のうち、第１の液滴吐出ヘッドから第１の液状体組成物を吐出した後、これを焼成又は乾燥し、次いで第２の液滴吐出ヘッドから第２の液状体組成物を基板Ｐに対して吐出した後これを焼成又は乾燥し、以下、複数の液滴吐出ヘッドを用いて同様の処理を行うことにより、基板Ｐ上に複数の材料層が積層され、多層パターンが形成される。

（電気光学装置及び電気光学装置の製造方法）
次に、組成物調整装置Ｓにより生成された液状体組成物を用いて基板Ｐ上に膜パターンを形成する方法について説明する。以下、一例として有機エレクトロルミネッセンス装置（以下、「有機ＥＬ装置」と称する）を構成する膜を製造する場合について説明する。
本発明は有機機能材料と溶媒とを含有する溶液に金属不活性剤を添加した液状体組成物を生成し、この液状体組成物を用いて膜を製造することを特徴とするものである。以下、一例として、有機ＥＬ装置のうち正孔注入層と発光層とのそれぞれに金属不活性剤を添加する場合について説明する。すなわち、上記組成物調整装置Ｓを用いて、有機機能材料としての正孔注入層形成用材料（正孔注入材料）と発光層形成用材料（発光材料）とのそれぞれに金属不活性剤を添加する場合について説明する。なお、以下に示す手順や液状体組成物の材料構成は一例であってこれに限定されるものではない。

まず、有機ＥＬ素子を機能素子とした電気光学装置として、有機ＥＬ装置の概略構成を説明する。
図４は、電気光学装置としての有機ＥＬパネルの一例の平面構造を説明するための図であり、図４中符号１７０は有機ＥＬパネルである。この有機ＥＬパネル１７０は、ガラス等からなる基体１０２と、マトリックス状に配置された画素１７１を形成する多数の有機ＥＬ素子と、封止基板（図示せず）とを具備して構成されたものである。
基体１０２は、例えばガラス等の透明基板からなるもので、基体１０２の中央に位置する表示領域１０２ａと、基体１０２の周辺部に位置して表示領域１０２ａの外側に配置された非表示領域１０２ｂとに区画されている。表示領域１０２ａは、マトリックス状に配置された有機ＥＬ素子によって形成された領域であり、有効表示領域とも言われるものである。

有機ＥＬ素子及び隔壁（図示せず）からなる有機ＥＬ素子部（図示せず）と基板との間には、回路素子部（図示せず）が設けられており、この回路素子部には、走査線、信号線、保持容量や、スイッチング素子となる薄膜トランジスタ等が設けられている。
非表示領域１０２ｂである基体１０２の周辺部には、前記画素１７１を形成する有機ＥＬ素子の陰極（対向電極）に連続した陰極線用配線１１２が配設されており、この陰極線用配線１１２は、その端部がフレキシブル基板１０５上の配線１０５ａに接続されている。この配線１０５ａは、フレキシブル基板１０５上に設けられた駆動ＩＣ１０６（駆動回路）に接続されている。

また、非表示領域１０２ｂの回路素子部には、電源線１０３（１０３Ｒ、１０３Ｇ、１０３Ｂ）が配線されている。
表示領域１０２ａを挟んでその両側には、走査側駆動回路１７３が配置されている。これら走査側駆動回路１７３は、前記の回路素子部内に設けられたものとなっている。回路素子部内には、走査側駆動回路１７３に接続される駆動回路用制御信号配線１７３ａと駆動回路用電源配線１７３ｂとが設けられている。
また、表示領域１０２ａの一方の側には、検査回路１７４が配置されている。この検査回路１７４により、製造途中や出荷時の表示装置の品質、欠陥の検査を行うことができるようになっている。
なお、このような有機ＥＬ素子部の上には、これを覆って封止部（図示せず）が設けられている。この封止部は、基体２に塗布された封止樹脂と、缶封止基板（封止基板）とから構成されたものである。

このような有機ＥＬパネルの構成要素となる有機ＥＬ素子の形成方法を、以下に説明する。
なお、図６〜図１０では一画素のみを示しているが、図５に示すようにこれらの画素は７０．５μｍピッチで配置されている。すなわち、図５に示すように、ＩＴＯ１１１がパターンニングされたガラス基板１１０上にフォトリソグラフィーによりＳｉＯ_２膜１１２およびポリイミド膜１１３の積層構造が形成されている。当該積層構造の開口部径（ＳｉＯ_２層の開口径）は２８μｍ、高さが２μｍである。ポリイミド層最上部での開口は３２μｍである。

まず、正孔注入／輸送材料組成物を塗布する前に、大気圧プラズマ処理によりポリイミドバンクを撥インク処理した。大気圧プラズマ処理条件は、大気圧下で、パワー３００Ｗ、電極−基板間距離１ｍｍ、酸素プラズマ処理では酸素ガス流量８０ｃｃｍ、ヘリウムガス流量１０ＳＬＭ、テーブル搬送速度５ｍｍ／ｓで行い、続けてＣＦ４プラズマ処理では、ＣＦ４ガス流量１００ｃｃｍ、ヘリウムガス流量１０ＳＬＭ、テーブル搬送速度３ｍｍ／ｓで行った。

基板の表面処理後、不活性ガス雰囲気下、例えばグローブボックス（窒素ガス１．１ａｔｍ、水分濃度ならびに酸素濃度１ｐｐｍ以下）内で、表２に示した処方の正孔注入／輸送材料組成物（溶液）Ａを調整した。その後、表２に示した正孔注入／輸送材料組成物（溶液）Ａと表１に示した金属不活性剤とを混合して液状体組成物を調整し、図６〜８に示すように、液状体組成物１１５をインクジェットプリント装置ヘッド２０（図１参照）から１５ｐｌ吐出し、パターン塗布した。吐出条件は、水分濃度１％以下、酸素濃度１ｐｐｍ以下の窒素ガス雰囲気下にて行った。そして、真空中（１ｔｏｒｒ）室温２０分という条件で溶媒を除去し、その後大気中２００℃（ホットプレート上）１０分の熱処理により正孔注入／輸送層１１６を形成した。

次に、図９〜１０に示すように、表３に示した組成物Ｇと金属不活性剤とを混入した緑色発光層用組成物（液状体組成物）１１７をインクジェットプリント装置のヘッド２０（図１参照）から２０ｐｌ吐出し、基板上にパターン塗布した。更に、基板をホットプレート上で６０℃に加熱して溶媒を除去し、緑色発光層１１８を形成した。以下、同様に表３に示した組成物Ｂ，Ｒについても金属不活性剤を混入した各組成物をインクジェット装置を用いて吐出し、青色発光層及び赤色発光層を形成し、さらに蒸着により陰極１１９を形成し、最後にエポキシ樹脂にて構成される封止層１２０による封止を行い、有機ＥＬ素子を作製した。

なお、表３中の化合物１〜４の化学式については、以下、化１〜４に示す。また、表３中、化合物Ａは表１に示した金属不活性剤のいすれかである。

なお、液状体組成物１１５，１１７には、金属不活性剤の他に、ラジカル連鎖禁止剤（一次金属不活性剤）、あるいは過酸化物分解剤（二次金属不活性剤）を添加することもできる。ここで、ラジカル連鎖禁止剤は連鎖成長反応の禁止を目的とするものであり、過酸化物分解剤は過酸化物の分解を目的とするものであり、例えば硫黄系、及びリン系の分解剤がある。

また、本実施形態の液状体組成物１１５，１１７に含有させた金属不活性剤の溶解パラメータは、ほぼ７．０〜１３．０である。溶解パラメータが７．０〜１３．０の金属不活性剤は、溶媒に対して高い溶解性・分散性を有するので、有機機能材料としての正孔注入層形成用材料、或いは発光層形成材料と相溶し、十分に分散され、成膜後においても相分離が生じない。ここで、正孔注入層、或いは発光層に金属不活性剤を含有する場合には、溶解パラメータが８．５〜１３である金属不活性剤を用いることが望ましい。また、溶媒に対する溶解度が０．００１％以上好ましくは５％以上である金属不活性剤を用いることが望ましい。これにより、金属不活性剤は溶媒に溶解し、成膜後においても相分離が生じない。

金属不活性剤の添加量は、正孔注入層形成用材料、若しくは発光層形成用材料に対して０．００１〜３０ｗｔ％好ましくは０．１〜１０ｗｔ％以下であることが望ましい。添加量を上記範囲に設定することにより、所望の金属不活性化機構を得ることができるとともに、正孔注入層若しくは発光層自体の機能も損なうことがない。

また、金属不活性剤としては、透明あるいは半透明であることが好ましい。これにより、金属不活性剤による正孔注入層若しくは発光層の着色を防止し、有機ＥＬ装置の発光色の変化や輝度の低下等、発光色に対する金属不活性剤の影響を抑えることができ、所望の発色状態を得ることができる。なお、正孔注入層若しくは発光層に対する金属不活性剤の添加量が十分に少ない場合であれば、金属不活性剤が着色していても発光色に対する影響は少ない。

このような有機ＥＬ素子の製造方法において、正孔注入層や発光層といった有機ＥＬ素子の構成要素となる薄膜は図１に示した成膜装置（液滴吐出装置）ＩＪにより製造されるので、正孔注入層や発光層の形成用材料となる液状体組成物のロスは少なく、正孔注入層や発光層は比較的安価にしかも安定して形成される。

なお、上記実施形態では、液状体組成物に予め金属不活性剤を添加する構成であるが、例えば図１１に示すように、金属不活性剤が添加されていない液状体組成物（すなわち発光層形成材料を含む第１組成物）を吐出して第１組成膜１０８を成膜した後、この第１組成膜１０８に対して上記金属不活性剤を吐出し、該金属不活性剤を含有する第２組成膜１０９を上層に塗布するようにしてもよい。
この場合、発光層形成用材料を含む第１組成膜１０８を乾燥処理（熱処理）する前に、すなわち第１組成膜１０８が濡れている状態で金属不活性剤を含む第２組成物を塗布することもできる。こうすることにより、基板Ｐ上において発光層形成用材料と金属不活性剤とを混合できる。もちろん、発光層形成用材料を含む第１組成膜１０８を乾燥処理して溶媒を除いた後、この第１組成膜１０８に対して金属不活性剤を塗布するようにしてもよい。この場合、第１組成膜（発光層）１０８に隣接して、詳しくは第１組成膜（発光層）１０８上に金属不活性層１０９が形成されることになる。なお、金属不活性剤を塗布する際には、金属不活性剤と溶媒とからなる液状体組成物、及び金属不活性剤と溶媒とバインダ樹脂とからなる液状体組成物のいずれかの形態のものを塗布することができる。

更に、上記実施形態では、液滴吐出装置ＩＪを用いた液滴吐出法により有機機能材料を成膜するように説明したが、液滴吐出法に限らず、例えばスピンコート法など他の塗布方法を用いることもできる。また、上記第２の液状体組成物を塗布する際にも、スピンコート法など他の塗布方法を用いることができる。

以下、スピンコート法を用いた場合の一実施例を示す。
まず、図６と同様に、ガラス基板１１０上にパターン化ＩＴＯ１１１と、ＳｉＯ_２膜１１２及び有機物（ポリイミド）膜１１３を形成する。
その後、大気中で表４に示した正孔注入／輸送材料組成物Ｂを調整後、クリーンルーム（室温２５℃、湿度３５〜４５％）内で、正孔注入／輸送材料組成物Ｂと表１に示した金属不活性剤のいずれかとを有機溶媒（例えばイソプロピルアルコール）に溶解する。得られた液状組成物を用い、同じくクリーンルーム（室温２５℃、湿度３５〜４５％）内でスピンコート法により、図６に示した有機物（ポリイミド）膜１１３にて形成される隔壁内部に正孔注入／輸送層を成膜する。

さらに、発光層についても同様の方法により、大気中で表５に示した緑色発光用の組成物Ｇを調整後、クリーンルーム（室温２５℃、湿度３５〜４５％）内で、組成物Ｇと表１に示した金属不活性剤のいずれかとを有機溶媒（例えばイソプロピルアルコール）に溶解する。得られた液状組成物を用い、同じくクリーンルーム（室温２５℃、湿度３５〜４５％）内でスピンコート法により、上記のように成膜した正孔注入／輸送層上に発光層を成膜する。なお、赤色発光用、青色発光用の組成物Ｒ，Ｂについても同様にスピンコート法により各発光層を成膜し、陰極１１９（図１０参照）を形成した後に、封止材１２０にて封止をして有機ＥＬ素子を作成する。

なお、液状体組成物の生成工程や成膜工程は大気環境下で行ってもよいし、窒素ガス等の不活性ガス雰囲気下で行ってもよい。なお、組成物調整装置Ｓによる液状体組成物の生成工程や液滴吐出装置ＩＪによる成膜工程は、クリーンルーム内でパーティクル及びケミカル的にクリーン度を維持された環境下で行うのが望ましい。液状体組成物を大気環境下で生成する際には、例えば常温常湿（一例として温度２５℃、湿度３５〜４５％）環境下において、有機機能材料及び金属不活性剤を溶媒に溶解することにより液状体組成物を生成してもよいし、有機機能材料を溶媒に溶解後、この溶液中に金属不活性剤を添加するようにしてもよい。

上記実施形態では、正孔注入層及び発光層のそれぞれに金属不活性剤を添加した構成であるが、正孔注入層又は発光層のうちいずれか一方のみに金属不活性剤が添加された構成でもよい。あるいは、有機ＥＬ素子を構成する複数の層のうち、正孔注入層及び発光層以外の他の層に金属不活性剤を添加してもよい。

（実施例）
以下、液状体組成物の材料組成、液状体組成物生成工程及び成膜工程の例を示す。
（実施例１）
＜正孔注入層形成用液状組成物Ｐ１＞
・バイトロンＰ：８８．５ｗｔ％
・ポリスチレンスルフォン酸：１１．５ｗｔ％
＜発光層形成用液状体組成物Ｅ１＞
・Ｇ（緑）：化合物１（０．７６ｇ）、化合物２（０．２０ｇ）、化合物３（０．０４ｇ）
・Ｂ（青）：化合物１（１．００ｇ）
・Ｒ（赤）：化合物４（１．００ｇ）
上記ＲＧＢのそれぞれに溶媒としてキシレン１００ｍｌ、及び表１に示した金属不活性剤（例えば２，（２’−ヒドロキシ−３，５’−ジ−ｔ−ブチルフェニル）ベンゾトリアゾール）１ｍｇを加えた。なお、上記化合物１〜化合物４は上述の通りである。

（実施例２）
＜正孔注入層形成用液状体組成物Ｐ２＞
・バイトロンＰ：１１．０８ｗｔ％
・ポリスチレンスルフォン酸：１．４５ｗｔ％
・イソプロピルアルコール：１０ｗｔ％
・Ｎ−メチルピロリドン：２７．４７ｗｔ％
・１，３−ジメチル−イミダゾリノン：５０ｗｔ％
＜発光層形成用液状体組成物Ｅ２＞
・Ｇ（緑）：化合物１（０．７６ｇ）、化合物２（０．２０ｇ）、化合物３（０．０４ｇ）
・Ｂ（青）：化合物１（１．００ｇ）
・Ｒ（赤）：化合物４（１．００ｇ）
上記ＲＧＢのそれぞれに溶媒としてシクロヘキシルベンゼン４０ｍｌ、及び２，３−ジヒドロベンゾフラン６０ｍｌを加え、表１に示した金属不活性剤（例えば２，（２’−ヒドロキシ−３，５’−ジ−ｔ−ブチルフェニル）ベンゾトリアゾール）１ｍｇを加えた。

＜液状体組成物生成工程１＞
（工程例１）
クリーンルーム大気環境下（室温２５℃、湿度３５〜４５％）において発光層形成用材料及び金属不活性剤を溶媒に溶解し、上記組成物Ｅ１、Ｅ２を生成した。
（工程例２）
クリームルーム大気環境下（室温２５℃、湿度３５〜４５％）において発光層形成用材料を溶媒に溶解後、この溶液中に金属不活性剤を添加して上記組成物Ｅ１、Ｅ２を生成した。

＜成膜工程１＞
（工程例１）
クリームルーム大気環境下（室温２５℃、湿度３５〜４５％）において、まず、上記組成物Ｐ１をスピンコート法により成膜した。次いで、組成物Ｐ１により形成された膜を、大気環境下で、２００℃１０分間焼成処理を行った。次いで、形成された正孔注入層上に上記組成物Ｅ１を大気環境下、室温においてスピンコート法により成膜した。
（工程例２）
クリームルーム大気環境下（室温２５℃、湿度３５〜４５％）において、液滴吐出法により上記組成物Ｐ２を基板上に吐出した。次いで、クリーンルーム内の圧力を１Ｔｏｒｒ（１３３．３２２Ｐａ以下）の真空状態とし、室温で２０分間乾燥処理し成膜した。次いで、この膜を、大気環境下で、２００℃１０分間焼成処理を行った。次いで、形成された正孔注入層上に上記組成物Ｅ２を液滴吐出法により吐出した。次いで、組成物Ｅ２からなる膜を大気環境下で４５℃２０分間乾燥処理し成膜した。

＜液状体組成物の生成工程２＞
（工程例１）
グローブボックス窒素ガス雰囲気下（室温、水分濃度及び酸素濃度１ｐｐｍ以下）において発光層形成用材料及び金属不活性剤を溶媒に溶解し、上記組成物Ｅ１、Ｅ２を生成した。
（工程例２）
グローブボックス窒素ガス雰囲気下（室温、水分濃度及び酸素濃度１ｐｐｍ以下）において発光層形成用材料を溶媒に溶解後、この溶液中に金属不活性剤を添加して上記組成物Ｅ１、Ｅ２を生成した。

＜成膜工程２＞
（工程例１）
水分濃度及び酸素濃度１ｐｐｍ以下の窒素ガス雰囲気下において、スピンコート法により上記組成物Ｐ１を成膜した。次いで、組成物Ｐ１により形成された膜を、窒素ガス雰囲気下で、２００℃１０分間焼成処理を行った。次いで、形成された正孔注入層上に上記組成物Ｅ１を窒素ガス雰囲気下、室温においてスピンコート法により成膜した。
（工程例２）
水分濃度及び酸素濃度１ｐｐｍ以下の窒素ガス雰囲気下において、液滴吐出法により上記組成物Ｐ２を基板上に吐出した。次いで、１Ｔｏｒｒ（１３３．３２２Ｐａ以下）の真空条件下、室温で２０分間乾燥処理し成膜した。次いで、この膜を、窒素ガス雰囲気下で、２００℃１０分間焼成処理を行った。次いで、形成された正孔注入層上に上記組成物Ｅ２を液滴吐出法により吐出し、窒素ガス雰囲気下、４５℃２０分間乾燥処理した。

図１２〜図１５に、発光層に金属不活性剤を添加した場合と添加しない場合とのそれぞれにおける有機ＥＬ素子の特性試験結果を示す。図中、「Ａ」が本発明に係る金属不活性剤を添加した場合の試験結果、「Ｂ」が金属不活性剤を添加しない場合の試験結果である。
図１２は印加電圧と電流密度との関係を示すグラフであり、図１３は印加電圧と輝度との関係を示すグラフである。また、図１４は印加電圧と発光効率との関係を示すグラフであり、図１５は駆動時間と輝度との関係を示すグラフである。

図１２及び図１３に示すように、金属不活性剤が添加されている有機ＥＬ素子と添加されていない有機ＥＬ素子との素子特性はほぼ同じであり、発光層に金属不活性剤が添加されても素子機能は損なわれないことが分かる。また、図１４及び図１５に示すように、発光効率及び輝度半減寿命は金属不活性剤が添加されたことにより向上しており、金属不活性剤を添加することにより素子機能が向上することが分かる。

本発明の液滴吐出装置ＩＪは、カラーフィルタの構成要素となる膜の形成にも用いることができる。図１６は基板Ｐ上に形成されるカラーフィルタを示す図であり、図１７はカラーフィルタの製造手順を示す図である。
図１６に示すように、本例では長方形形状の基板Ｐ上に、生産性を向上させる観点から複数個のカラーフィルタ領域３５１をマトリクス状に形成する。これらカラーフィルタ領域３５１は、後で基板Ｐを切断することにより、液晶表示装置に適合するカラーフィルタとして用いることができる。

カラーフィルタ領域３５１は、Ｒ（赤）の液状体組成物、Ｇ（緑）の液状体組成物、及びＢ（青）の液状体組成物をそれぞれ所定のパターン、本例では従来公知のストライプ型で形成される。なお、この形成パターンとしては、ストライプ型の他に、モザイク型、デルタ型、あるいはスクウェア型などでもよい。そして、ＲＧＢそれぞれの液状体組成物には上述した金属不活性剤が添加されている。

このようなカラーフィルタ領域３５１を形成するには、まず図１７（ａ）に示すように透明の基板Ｐの一方の面に対し、ブラックマトリクス３５２が形成される。このブラックマトリクス３５２の形成方法としては、光透過性のない樹脂（好ましくは黒色）を、スピンコート法などの方法で所定の厚さ（例えば２μｍ程度）に塗布することで行う。このブラックマトリクス３５２の格子で囲まれる最小の表示要素、すなわちフィルタエレメント３５３については、例えばＸ軸方向の幅を３０μｍ、Ｙ軸方向の長さを１００μｍ程度とする。

次に、図１７（ｂ）に示すように、前記液滴吐出ヘッド２０から液状体組成物の液滴３５４が吐出され、フィルタエレメント３５３に着弾する。吐出する液滴３５４の量については、加熱工程における液状体組成物の体積減少を考慮した十分な量とする。
このようにして基板Ｐ上の全てのフィルタエレメント３５３に液滴３５４を充填したら、ヒータを用いて基板Ｐが所定の温度（例えば７０℃程度）となるように加熱処理される。この加熱処理により、液状体組成物の溶媒が蒸発して液状体組成物の体積が減少する。この体積現状の激しい場合には、カラーフィルタとして十分な膜厚が得られるまで、液滴吐出工程と加熱工程とを繰り返す。この処理により、液状体組成物に含まれる溶媒が蒸発して、最終的に液状体組成物に含まれる固形分のみが残留して膜化し、図１７（ｃ）に示すようなカラーフィルタ３５５となる。

次いで、基板Ｐを平坦化し、且つカラーフィルタ３５５を保護するために、図１７（ｄ）に示すようにカラーフィルタ３５５やブラックマトリクス３５２を覆って基板Ｐ上に保護膜３５６を形成する。この保護膜３５６の形成にあたっては、スピンコート法、ロールコート法、リッピング法などの方法を採用することができるが、カラーフィルタ３５５と同様に、液滴吐出法により行うこともできる。

次いで、図１７（ｅ）に示すようにこの保護膜３５６の全面に、スパッタ法や真空蒸着法などによって透明導電膜３５７を形成する。その後、透明導電膜３５７をパターニングし、図１７（ｆ）に示すように画素電極３５８をフィルタエレメント３５３に対応させてパターニングする。なお、液状表示パネルの駆動にＴＦＴ（Thin Film Transistor）を用いる場合には、このパターニングは不用となる。

また、本発明に係る成膜方法は、前記カラーフィルタ３５５を形成した基板Ｐを用いる液晶素子の構成要素となる膜を形成する際にも適用可能である。すなわち、前記基板Ｐを用いて公知の液晶セルを作製し液晶素子とすることにより、液晶装置を形成することができる。

図１８は、このような液晶素子を形成するための液晶セルの構造を説明するための図であり、液晶装置は、前記カラーフィルタ（図１８には図示せず）を形成した基板である対向基板３６０を備えている。この対向基板３６０は、ＴＦＴ等を形成した回路基板（図示せず）と反対の側に配置されるものである。この対向基板３６０の内面側には、対向基板３６０側から入射する光を前記回路基板（図示せず）側に集光するためのマイクロレンズ３６１が多数設けられており、これらマイクロレンズ３６１を形成した側には、接着剤３６２によってカバーガラス３６３が貼着されている。

このカバーガラス３６３の内面側には、前記マイクロレンズ３６１間の境界と対応する位置にそれぞれ遮光膜３６４が形成されており、さらにこれを覆った状態でカバーガラス３６３のほぼ全面にＩＴＯ等の透明導電性材料からなる対向電極３６５が形成されている。そして、この対向電極３６５の内面側にポリイミド薄膜などの有機薄膜からなる配向膜３６６が形成され、さらにこのように形成された対向基板３６０と前記回路基板との間に液晶３６７が封止されることにより、液晶装置が構成される。
このような構成からなる液晶装置の製造においても、その液晶素子における構成要素となる薄膜、例えば遮光膜３６４や配向膜３６６などを形成する際の液状体組成物に予め金属不活性剤を添加しておき、この液状体組成物を用いて成膜することができる。

また、本発明に係る成膜方法は、少なくともチャネル部が有機膜で形成された有機ＴＦＴ素子（有機薄膜トランジスタ素子）の構成要素となる膜を形成する際にも適用可能である。この有機ＴＦＴ素子としては、例えば図１９に示すような構成のものがある。
図１９において、基板４５０上にはゲート電極４５１が形成されている。また、基板４５０上にはゲート電極４５１を覆った状態で高誘電率の絶縁体からなるゲート絶縁膜４５２が形成され、このゲート絶縁膜４５２上には有機半導体層４５３が形成されている。そして、この有機半導体層４５３上にソース電極４５４およびドレイン電極４５５が形成されることにより、有機ＴＦＴ素子（有機薄膜トランジスタ素子）が構成される。

このような有機ＴＦＴ素子を製造するには、まず、基板４５０上にゲート電極材料が設けられゲート電極４５１が形成される。次に、このゲート電極４５１を覆った状態にゲート絶縁膜４５２が形成される。このゲート絶縁膜４５２の形成材料としては、限定されることなく種々のものが使用可能であるが、特に高誘電率の絶縁体として、金属酸化物薄膜、好ましくはチタン酸バリウムストロンチウム、ジルコニウム酸チタン酸バリウムなどの無機材料が好適に用いられる。また、ポリクロロピレン、ポリエチレンテレフタレート等の有機材料も使用可能である。なお、特に前記の無機材料によってゲート絶縁膜４５２を形成する場合には、成膜後、さらにこれに１５０〜４００℃の範囲の適宜な温度でアニール処理を行うのが、膜品質を改善し、誘電率を増大させることができ好ましい。

次いで、このゲート絶縁膜４５２上に有機半導体層４５３が形成される。この有機半導体層４５３の形成にあたっては、液滴吐出装置ＩＪが好適に用いられる。有機半導体層４５３の形成材料としては、ゲート電圧が増加するにしたがって電界効果移動度の増大を示すポリマ半導体またはオリゴマー半導体が用いられ、具体的には、ナフタレン、アントラセン、テトラセン、ペンタセン、ヘキサセン、およびその誘導体や、ポリアセチレンのうちの１種以上が用いられる。

また、特にｐ−チャネル用とされる場合には、２〜５個の炭素原子を介して結合された、オリゴ重合度が４以上８以下のチオフェンのオリゴマー；２〜５個の炭素原子を介して結合された、３〜６個のチオフェン環と末端基としてチオフェンを有するビニレンと、チエニレンとの交互共役オリゴマー；ベンゾ［１，２−ｂ：４，５’］ジチオフェンの線状ダイマー及びトリマー；末端のチオフェンの４個又は５個の炭素原子上に置換基（例えば、炭素原子を１〜２０個有するアルキル置換基）を有する前記オリゴマー；ポリマーマトリックス中のｐ、ｐ’−ジアミノビフェニル複合体なども使用可能であり、特にα−ヘキサチエニレン（α−６Ｔ）が好適に用いられる。さらに、ｐ−チャネル用とされる場合には、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボキシルジアンヒドライド（ＮＴＣＤＡ：naphthalene tetracarboxylic dianhydride ）、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボキシルジイミド（ＮＴＣＤＩ：naphthalene tetracarboxylic diimide）、１１，１１，１２，１２−テトラシアノナフト−２，６−キノジメタン（ＴＣＮＮＱＤ：tetracyanonaphtho-2,6-quinodimethane）なども使用可能である。

このような有機半導体材料を前記の液滴吐出装置ＩＪによって成膜する場合、まず、有機半導体材料を溶媒に溶解するるとともに上述した金属不活性剤を添加することにより液状体組成物が生成される。そして、この液状体組成物が基板４５０のゲート絶縁膜４５２上に吐出され塗布される。そして、加熱あるいは減圧等による乾燥を適宜に行うことにより、溶媒を除去して有機半導体層４５３が形成される。その後、この有機半導体層４５３上にソース電極４５４およびドレイン電極４５５が形成され、有機ＴＦＴ素子が得られる。

なお、本発明の液滴吐出装置やこれを備えた成膜装置、さらには本発明の液状体組成物は、上述した各実施形態に限定されることなく、種々の用途に使用可能である。例えば、塗料用有機材料溶液などを金属不活性剤とともに液状体組成物とし、これを塗布対象物に塗布し、さらに加熱乾燥することにより、塗布対象物に対して金属成分による劣化等の少ない塗膜を形成することが可能となる。

（電子機器）
本発明の有機ＥＬ装置及び液晶装置を含む電気光学装置、あるいは本発明の有機ＴＦＴ素子を備えたデバイスは、表示部を備えた様々な電子機器に適用される。以下、本発明の電気光学装置を備えた電子機器の適用例について説明する。

図２０は、本発明の電気光学装置を携帯電話に適用した例を示す斜視図であり、携帯電話１３００は、本発明の電気光学装置を小サイズの表示部１３０１として備える。携帯電話１３００は、複数の操作ボタン１３０２、受話口１３０３、及び送話口１３０４を備えて構成されている。

なお、上述した例に加えて、他の例として、腕時計、モバイル型コンピュータ、液晶テレビ、ビューファインダ型やモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器等が挙げられる。本発明の電気光学装置は、こうした電子機器の表示部としても適用できる。

本発明の膜の製造装置の一実施形態を示す概略構成図。液滴吐出ヘッドを示す図。液滴吐出ヘッドを示す図電気光学装置の一実施形態たる有機ＥＬパネルの平面図。図４の有機ＥＬパネルの製造工程に用いた基板の構造を示す断面図。有機ＥＬ素子の製造方法の一工程を示す断面図。有機ＥＬ素子の製造方法の一工程を示す断面図。有機ＥＬ素子の製造方法の一工程を示す断面図。有機ＥＬ素子の製造方法の一工程を示す断面図。有機ＥＬ素子の製造方法の一工程を示す断面図。有機ＥＬ素子の製造方法について異なる例を示す断面図。本発明に係る有機ＥＬ装置と従来の有機ＥＬ装置との特性試験結果を示す図。本発明に係る有機ＥＬ装置と従来の有機ＥＬ装置との特性試験結果を示す図。本発明に係る有機ＥＬ装置と従来の有機ＥＬ装置との特性試験結果を示す図。本発明に係る有機ＥＬ装置と従来の有機ＥＬ装置との特性試験結果を示す図である。カラーフィルタの構成例を示す図。カラーフィルタの製造工程の一例を示す図。液晶装置の構成例を示す図。有機ＴＦＴ素子の構成例を示す図。本発明の電気光学装置が搭載された電子機器を示す図。

符号の説明

ＩＪ…液滴吐出装置（成膜装置、液状体吐出装置）、２０…インクジェットヘッド、１１５…正孔注入／輸送層形成材料（液状組成物）、１１７…発光層形成材料（液状組成物）

Claims

有機エレクトロルミネッセンス材料からなる発光層を含む有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法において、
有機エレクトロルミネッセンス材料と溶媒とを含有する溶液に金属不活性剤と酸化防止剤を添加して液状組成物を調整し、前記液状組成物を含む液状体を液状体吐出装置で吐出することにより発光層を形成する発光層形成工程を含み、
前記金属不活性剤は、透明あるいは半透明の無色の材料からなり、前記有機エレクトロルミネッセンス材料への溶解パラメータが７．５〜１０．５を満たすものであり、当該金属不活性剤の前記液状組成物への添加量を前記有機エレクトロルミネッセンス材料に対して０．１ｗｔ％〜１０ｗｔ％とすることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
前記酸化防止剤としてラジカル連鎖禁止剤を含むことを特徴とする請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
前記酸化防止剤として過酸化物分解剤を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。