JP4325595B2 - LIGHT EMITTING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE - Google Patents

LIGHT EMITTING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE Download PDF

Info

Publication number
JP4325595B2
JP4325595B2 JP2005218439A JP2005218439A JP4325595B2 JP 4325595 B2 JP4325595 B2 JP 4325595B2 JP 2005218439 A JP2005218439 A JP 2005218439A JP 2005218439 A JP2005218439 A JP 2005218439A JP 4325595 B2 JP4325595 B2 JP 4325595B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wiring
light
light emitting
electrode
emitting device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2005218439A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2005326885A (en
Inventor
早人 中西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2005218439A priority Critical patent/JP4325595B2/en
Publication of JP2005326885A publication Critical patent/JP2005326885A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4325595B2 publication Critical patent/JP4325595B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Description

本発明は、発光装置及び電子機器、特に有機エレクトロルミネッセンス素子等の電流駆動型の発光素子を備えた発光装置及び当該発光装置を備える電子機器に関する。   The present invention relates to a light-emitting device and an electronic device, and more particularly, to a light-emitting device including a current-driven light-emitting element such as an organic electroluminescence element and an electronic device including the light-emitting device.

画素電極と対向電極との間に設けられ、当該画素電極と当該対向電極との間に流れる電流によって発光する発光層を画素毎に備えたエレクトロルミネッセンス装置は、次世代の表示装置として期待されている(例えば、特許文献1を参照)。   An electroluminescence device provided between a pixel electrode and a counter electrode and having a light emitting layer for each pixel that emits light by a current flowing between the pixel electrode and the counter electrode is expected as a next-generation display device. (For example, refer to Patent Document 1).

国際公開番号WO98/36407号パンフレットInternational Publication Number WO98 / 36407 Pamphlet

しかしながら、上記のエレクトロルミネッセンス装置のように電流が流れることにより発光する装置では、輝度が電流レベルに依存するため、画素に電流あるいは駆動電圧を供給するための配線構造及び配線レイアウトを最適化する必要がある。
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、各画素に安定的に駆動電圧あるいは電流を供給することのできる電気光学装置及び、当該電気光学装置を備える電子機器を提供することを目的とする。
However, in a device that emits light when a current flows, such as the above-described electroluminescence device, the luminance depends on the current level, and therefore it is necessary to optimize the wiring structure and wiring layout for supplying current or driving voltage to the pixel. There is.
The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides an electro-optical device capable of stably supplying a driving voltage or current to each pixel and an electronic apparatus including the electro-optical device. Objective.

上記課題を解決するために、本発明の発光装置は、基体上に、複数の第1電極と、該複数の第1電極の各々に接続されたトランジスタと、が設けられた第1電極群領域と、前記複数の第1電極に対して共通に設けられた第2電極と、前記複数の第1電極の各々と前記第2の電極との間に設けられた発光素子と、前記第1電極領域の外側に設けられた、前記トランジスタに電気信号を供給するための駆動回路と、前記第1電極に前記トランジスタを介して電源電圧を供給するための第1の配線と、前記第2電極と全面に亘って重なるように設けられ、且つ前記第2電極と重なる領域において接して設けられた第2の配線と、を含み、前記第2電極と接して設けられた前記第2の配線は、前記基体の外周をなす複数の辺に沿って延在するとともに、前記基体の外周と駆動回路との間に設けられている、ことを特徴とする。

In order to solve the above problems, a light emitting device of the present invention includes a first electrode group region in which a plurality of first electrodes and a transistor connected to each of the plurality of first electrodes are provided on a substrate. A second electrode provided in common to the plurality of first electrodes, a light emitting element provided between each of the plurality of first electrodes and the second electrode, and the first electrode A drive circuit for supplying an electric signal to the transistor, a first wiring for supplying a power supply voltage to the first electrode via the transistor, and a second electrode , provided outside the region ; A second wiring provided so as to overlap the entire surface and in contact with a region overlapping the second electrode, and the second wiring provided in contact with the second electrode, And extending along a plurality of sides forming the outer periphery of the base body Is provided between the outer circumference and the drive circuit of the substrate, wherein the.

また、本発明の発光装置は、上記の発光装置において、前記第1の配線は、前記基体の外周をなす複数の辺に沿って延在するとともに、前記第2の配線と駆動回路との間に設けられた部分を有することを特徴とする。   In the light emitting device according to the present invention, in the above light emitting device, the first wiring extends along a plurality of sides forming the outer periphery of the base, and between the second wiring and the drive circuit. It has the part provided in this.

また、本発明の発光装置は、上記の発光装置において、前記第2の配線は、前記基体の外周をなす複数の辺のうち少なくとも3辺に沿って延在することを特徴とする。   In the light-emitting device of the present invention, in the above light-emitting device, the second wiring extends along at least three sides among a plurality of sides forming an outer periphery of the base.

また、本発明の発光装置は、上記の発光装置において、前記第2の配線の線幅が前記第1の配線の線幅よりも広く形成されていることを特徴とする。   The light-emitting device of the present invention is characterized in that, in the light-emitting device, the line width of the second wiring is wider than the line width of the first wiring.

また、本発明の発光装置は、上記の発光装置において、前記第2の配線の線幅は、配線全体に亘って、前記第1の配線の線幅よりも広く形成されていることを特徴とする。   The light-emitting device of the present invention is characterized in that, in the light-emitting device, the line width of the second wiring is formed wider than the line width of the first wiring over the entire wiring. To do.

また、本発明の発光装置は、上記の発光装置において、前記第2の配線と前記第2電極との接続部は、前記第1電極群領域と前記基体の外周をなす複数の辺との間に設けられていることを特徴とする。   In the light emitting device of the present invention, in the above light emitting device, a connection portion between the second wiring and the second electrode is between the first electrode group region and a plurality of sides forming the outer periphery of the base. It is provided in.

また、本発明の発光装置は、上記の発光装置において、前記第2の配線と前記第2電極との接続部は、前記第1電極群領域と前記基体の外周をなす複数の辺のうち少なくとも3辺との間に設けられていることを特徴とする。   In the light emitting device of the present invention, in the above light emitting device, the connecting portion between the second wiring and the second electrode is at least one of a plurality of sides forming an outer periphery of the first electrode group region and the base. It is provided between the three sides.

また、本発明の発光装置は、上記の発光装置において、前記複数の発光素子の各々は、前記複数の第1電極のうち対応する第1電極と前記第2電極との間に設けられ、当該対応する第1電極と前記第2電極との間に電圧が印加されることにより発光する発光層を有し、前記複数の発光素子は前記発光層の発光色が異なる複数の種類の発光素子を含み、前記第1の配線は、発光色毎に配線されていることを特徴とする。   Further, the light emitting device of the present invention is the above light emitting device, wherein each of the plurality of light emitting elements is provided between a corresponding first electrode and the second electrode among the plurality of first electrodes, A light-emitting layer that emits light when a voltage is applied between the corresponding first electrode and the second electrode, and the plurality of light-emitting elements include a plurality of types of light-emitting elements having different emission colors of the light-emitting layer. In addition, the first wiring is wired for each emission color.

また、本発明の発光装置は、上記の発光装置において、前記電気信号を前記トランジスタに伝送する複数の制御線を有し、前記複数の制御線は、前記第1の配線及び前記第2の配線のうち少なくともいずれか一つとは、少なくとも前記基体上において交差しないように配置されていることを特徴とする。   The light-emitting device of the present invention includes a plurality of control lines that transmit the electrical signal to the transistor in the light-emitting device, and the plurality of control lines include the first wiring and the second wiring. At least one of them is arranged so as not to intersect at least on the substrate.

また、本発明の発光装置は、上記の発光装置において、前記制御線は、前記トランジスタに走査信号を供給するための走査線と、前記トランジスタにデータ信号を供給するためのデータ線と、を含むことを特徴とする。   The light emitting device of the present invention is the above light emitting device, wherein the control line includes a scanning line for supplying a scanning signal to the transistor and a data line for supplying a data signal to the transistor. It is characterized by that.

また、本発明の発光装置は、上記の発光装置において、前記発光素子は、正孔注入/輸送層と、有機エレクトロルミネッセンス材料からなる発光層とを積層して形成したものであることを特徴とする。   The light-emitting device of the present invention is characterized in that, in the light-emitting device, the light-emitting element is formed by laminating a hole injection / transport layer and a light-emitting layer made of an organic electroluminescent material. To do.

上記課題を解決するために、本発明の電気光学装置は、基体上の有効領域に設けられた複数の第1電極と、前記複数の第1電極に対して共通に設けられた第2電極と、前記複数の第1電極と前記第2の電極との間に設けられた複数の電気光学素子と、前記第1電極に電源電圧を供給するための第1の配線と、前記第2電極と接続され、前記基体の外周をなす複数の辺のうち少なくとも1辺と前記有効領域との間に設けられた第2の配線と、を含み、前記第2の配線の、前記基体上における占有面積は、前記第1の配線のうち前記有効領域外に設けられた部分の、前記基体上における占有面積より大であること、特徴とする。   In order to solve the above-described problems, an electro-optical device according to the present invention includes a plurality of first electrodes provided in an effective region on a base, and a second electrode provided in common to the plurality of first electrodes. A plurality of electro-optic elements provided between the plurality of first electrodes and the second electrode, a first wiring for supplying a power supply voltage to the first electrode, and the second electrode And a second wiring provided between at least one side of the plurality of sides forming the outer periphery of the base body and the effective region, and an occupied area of the second wiring on the base body Is larger than the occupied area on the base of the portion of the first wiring provided outside the effective region.

上記の電気光学装置のように、前記複数の第1電極に対して共通に設けられていている前記第2電極に接続する前記第2の配線の前記基体上の占有面積を大きくすることにより、配線抵抗を低減し、前記複数の電気光学素子に供給される電流の電流レベルを安定化する。   Like the above electro-optical device, by increasing the occupation area on the base of the second wiring connected to the second electrode that is provided in common to the plurality of first electrodes, Wiring resistance is reduced and the current level of the current supplied to the plurality of electro-optic elements is stabilized.

前記有効領域外の面積を最小限とする必要がある場合等には、前記第2の配線の前記基体上における占有面積を、前記第1電極に電源電圧を供給するための第1の配線のうち前記有効領域外に設けられた部分の、前記基体上における占有面積より大とすることが好ましい。   When it is necessary to minimize the area outside the effective region, the occupied area of the second wiring on the base is determined by the first wiring for supplying a power supply voltage to the first electrode. Of these, the area provided outside the effective area is preferably larger than the area occupied on the substrate.

上記の電気光学装置において、「有効領域」とは、例えば、電気光学機能を担う領域あるいは表示を行う領域に相当する。   In the above electro-optical device, the “effective area” corresponds to, for example, an area having an electro-optical function or a display area.

また、上記の電気光学装置において、前記第2の配線の線幅が前記第1の配線の線幅よりも広く形成されている箇所を含むことことが好ましい。   In the above electro-optical device, it is preferable that the second wiring includes a portion where a line width of the second wiring is formed wider than that of the first wiring.

上記の電気光学装置において、前記第2の配線は、配線全体に亘って、その線幅が前記第1の配線の線幅よりも広く形成されていてもよい。   In the electro-optical device, the second wiring may have a line width wider than that of the first wiring over the entire wiring.

上記の電気光学装置において、前記複数の電気光学素子の各々は前記複数の第1電極のうち対応する第1電極と前記第2電極との間に設けられ、当該対応する第1電極と前記第2電極との間に電圧が印加されることにより発光する発光層を有し、前記複数の電気光学素子は前記発光層の発光色が異なる複数の種類の電気光学素子を含み、前記第1の配線は、発光色毎に配線されていてもよい。   In the electro-optical device, each of the plurality of electro-optical elements is provided between a corresponding first electrode and the second electrode among the plurality of first electrodes, and the corresponding first electrode and the first electrode A light-emitting layer that emits light when a voltage is applied between the two electrodes, and the plurality of electro-optical elements include a plurality of types of electro-optical elements having different emission colors of the light-emitting layer, The wiring may be wired for each emission color.

上記の電気光学装置において、前記第2の配線の前記有効領域外における線幅は、前記電気光学素子の種類毎に配線された前記第1の配線のうち前記有効領域外の部分の線幅が最も広く形成されているものより大であってもよい。   In the above electro-optical device, the line width of the second wiring outside the effective area is the line width of the portion outside the effective area of the first wiring wired for each type of the electro-optical element. It may be larger than the most widely formed.

上記の電気光学装置において、前記有効領域と、前記基体の外周をなす複数の辺のうち少なくとも1辺との間にダミー領域が設けられ、前記第1の配線及び前記第2の配線は、前記ダミー領域と前記基体の外周をなす複数の辺のうち少なくとも1辺との間に形成されていてもよい。   In the electro-optical device, a dummy region is provided between the effective region and at least one side of a plurality of sides forming an outer periphery of the base, and the first wiring and the second wiring are It may be formed between the dummy region and at least one of a plurality of sides forming the outer periphery of the substrate.

上記の電気光学装置において、前記第2電極は、少なくとも前記有効領域と前記ダミー領域とを覆うように形成されていてもよい。   In the above electro-optical device, the second electrode may be formed so as to cover at least the effective region and the dummy region.

上記の電気光学装置において、前記第2の配線と前記第2電極との接続部は、前記有効領域と前記基体の外周をなす複数の辺のうち少なくとも3辺との間に設けられていることが好ましい。   In the electro-optical device, the connection portion between the second wiring and the second electrode is provided between the effective region and at least three sides among a plurality of sides forming the outer periphery of the base. Is preferred.

このように前記第2電極と前記第2の配線との接続部の面積を大とすることにより電流ムラ等の問題が軽減される。   Thus, problems such as current unevenness are reduced by increasing the area of the connection portion between the second electrode and the second wiring.

上記の電気光学装置において、前記複数の第1電極の各々は、前記有効領域に設けられた、対応する画素回路に含まれ、前記画素回路を制御する信号を伝送する複数の制御線を有し、前記複数の制御線は、前記第1の配線及び前記第2の配線のうち少なくともいずれか一つとは、少なくとも前記基体上において交差しないように配置されていることが好ましい。   In the above electro-optical device, each of the plurality of first electrodes includes a plurality of control lines that are included in the corresponding pixel circuit provided in the effective region and transmit a signal that controls the pixel circuit. The plurality of control lines are preferably arranged so as not to intersect at least one of the first wiring and the second wiring on at least the base.

前記制御線と前記第1の配線あるいは前記第2の配線とが交差することにより前記第1の配線あるいは前記第2の配線と前記制御線との間に寄生容量が生じ、前記制御線に伝送される信号の遅延や鈍り等の現象が生起することがあるが、上述のように前記制御線と前記第1の配線あるいは前記第2の配線とを交差しないように配置することにより、前記制御線に伝送される信号の遅延や鈍り等の問題が低減する。   When the control line intersects the first wiring or the second wiring, a parasitic capacitance is generated between the first wiring or the second wiring and the control line, and is transmitted to the control line. However, the control line and the first wiring or the second wiring are arranged so as not to intersect with each other as described above. Problems such as delay and dullness of the signal transmitted on the line are reduced.

上記の電気光学装置において、前記制御線は、前記画素回路に走査信号を供給するための走査線と、前記画素回路にデータ信号を供給するためのデータ線と、を含んでいてもよい。   In the electro-optical device, the control line may include a scanning line for supplying a scanning signal to the pixel circuit and a data line for supplying a data signal to the pixel circuit.

上記の電気光学装置において、前記電気光学素子は、正孔注入/輸送層と、有機エレクトロルミネッセンス材料からなる発光層とを積層して形成したものであってもよい。   In the above electro-optical device, the electro-optical element may be formed by laminating a hole injection / transport layer and a light emitting layer made of an organic electroluminescent material.

本発明の電子機器は、上記の電気光学装置を備えることを特徴とする。   According to another aspect of the invention, there is provided an electronic apparatus including the above electro-optical device.

本発明の配線基板は、複数の第1電極の各々と前記複数の第1電極に対して共通に設けられた第2電極との間に設けられた電気光学素子を備えた電気光学装置のための配線基板であって、基体上に設けられた複数の第1電極と、前記第1の電極に電源電圧を供給するための第1の配線と、前記第2の電極と接続するための第2の配線と、を含み、前記第2の配線は、前記複数の第1電極が設けられた有効領域の外に配置され、前記第2の配線の前記基体上における占有面積は、前記第1の配線の部分のうち前記有効領域外に設けられた部分の、前記基体上における占有面積より大であること、を特徴とする。   The wiring board of the present invention is for an electro-optical device including an electro-optical element provided between each of a plurality of first electrodes and a second electrode provided in common to the plurality of first electrodes. A plurality of first electrodes provided on a substrate, a first wiring for supplying a power supply voltage to the first electrode, and a first electrode for connection to the second electrode The second wiring is disposed outside an effective region in which the plurality of first electrodes are provided, and an occupied area of the second wiring on the base is the first wiring Of the portion of the wiring, the portion provided outside the effective region is larger than the occupied area on the substrate.

以下、図面を参照して本発明の一実施形態による電気光学装置及び電子機器について詳細に説明する。尚、以下の説明で参照する各図は、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならせてある。図1は、本発明の一実施形態による電気光学装置の配線構造を模式的に示す図である。   Hereinafter, an electro-optical device and an electronic apparatus according to an embodiment of the invention will be described in detail with reference to the drawings. Each drawing referred to in the following description has a different scale for each layer and each member so that each layer and each member can be recognized on the drawing. FIG. 1 is a diagram schematically showing a wiring structure of an electro-optical device according to an embodiment of the present invention.

図1に示した電気光学装置1は、スイッチング素子として薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor)を用いたアクティブマトリクス方式の有機EL装置である。図1に示す本実施形態の電気光学装置1は、複数の走査線101と、走査線101に対して交差する方向に延びる複数の信号線102と、信号線102に並行して延びる複数の発光用電源配線103とがそれぞれ配線されており、走査線101及び信号線102の各交点付近に、画素領域Aが設けられている。尚、上記走査線101及び信号線102は、本発明にいう制御線の一部に相当する。   The electro-optical device 1 shown in FIG. 1 is an active matrix organic EL device using a thin film transistor as a switching element. The electro-optical device 1 according to the present embodiment illustrated in FIG. 1 includes a plurality of scanning lines 101, a plurality of signal lines 102 extending in a direction intersecting the scanning lines 101, and a plurality of light emitting elements extending in parallel with the signal lines 102. A power supply wiring 103 is wired, and a pixel region A is provided near each intersection of the scanning line 101 and the signal line 102. The scanning line 101 and the signal line 102 correspond to part of the control line in the present invention.

各信号線102には、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン、及びアナログスイッチを備えるデータ側駆動回路104が接続されている。また、各信号線102には、薄膜トランジスタを備える検査回路106が接続されている。更に、各走査線101には、シフトレジスタ及びレベルシフタを備える走査側駆動回路105が接続されている。   Each signal line 102 is connected to a data side driving circuit 104 including a shift register, a level shifter, a video line, and an analog switch. Each signal line 102 is connected to an inspection circuit 106 including a thin film transistor. Further, each scanning line 101 is connected to a scanning side driving circuit 105 including a shift register and a level shifter.

また、画素領域Aの各々には、スイッチング薄膜トランジスタ112、保持容量Cap、カレント薄膜トランジスタ123、画素電極(第1電極)111、発光層110、及び陰極(第2電極)12とにより構成される画素回路が設けられている。スイッチング薄膜トランジスタ112は、そのゲート電極に走査線101が接続されており、走査線101から供給される走査信号に応じて駆動されてオン状態又はオフ状態となる。保持容量Capは、スイッチング薄膜トランジスタ112を介して信号線102から供給される画像信号を保持する。   Each pixel area A includes a switching thin film transistor 112, a storage capacitor Cap, a current thin film transistor 123, a pixel electrode (first electrode) 111, a light emitting layer 110, and a cathode (second electrode) 12. Is provided. The switching thin film transistor 112 has a gate electrode connected to the scanning line 101 and is driven according to a scanning signal supplied from the scanning line 101 to be turned on or off. The holding capacitor Cap holds an image signal supplied from the signal line 102 via the switching thin film transistor 112.

カレント薄膜トランジスタ123は、そのゲート電極がスイッチング薄膜トランジスタ112及び保持容量Capに接続されており、保持容量Capによって保持された画像信号がゲート電極に供給される。画素電極111は、カレント薄膜トランジスタ123に接続されており、カレント薄膜トランジスタ123を介して発光用電源配線103に電気的に接続したときに発光用電源配線103から駆動電流が流れ込む。発光層110は画素電極111と陰極12との間に挟み込まれている。   The gate electrode of the current thin film transistor 123 is connected to the switching thin film transistor 112 and the storage capacitor Cap, and an image signal held by the storage capacitor Cap is supplied to the gate electrode. The pixel electrode 111 is connected to the current thin film transistor 123. When the pixel electrode 111 is electrically connected to the light emission power supply wiring 103 via the current thin film transistor 123, a drive current flows from the light emission power supply wiring 103. The light emitting layer 110 is sandwiched between the pixel electrode 111 and the cathode 12.

上記の発光層110には、赤色に発光する発光層110R、緑色に発光する発光層110G、及び青色に発光する発光層110Bの3種の発光層が含まれ、各発光層110R,110G,110Bがストライプ配置されている。そして、カレント薄膜トランジスタ123を介して各発光層110R,110G,110Bに接続される発光用電源配線103R,103G,103Bがそれぞれ、発光用電源回路132に接続されている。各色毎に発光用電源配線103R,103G,103Bが配線されているのは、発光層110R,110G,110Bの駆動電位が各色毎に異なるためである。   The light emitting layer 110 includes three types of light emitting layers: a light emitting layer 110R that emits red light, a light emitting layer 110G that emits green light, and a light emitting layer 110B that emits blue light, and each of the light emitting layers 110R, 110G, and 110B. Are arranged in stripes. Light emitting power supply wirings 103R, 103G, and 103B connected to the light emitting layers 110R, 110G, and 110B through the current thin film transistor 123 are connected to the light emitting power supply circuit 132, respectively. The reason why the light-emitting power supply wirings 103R, 103G, and 103B are wired for each color is that the driving potentials of the light-emitting layers 110R, 110G, and 110B are different for each color.

また、本実施形態の電気光学装置においては、陰極12と発光用電源配線103R,103G,103Bとの間に第1の静電容量C1が形成されている。電気光学装置1が駆動するとこの第1の静電容量C1に電荷が蓄積される。電気光学装置1の駆動中に各発光用電源配線103を流れる駆動電流の電位が変動した場合には、蓄積された電荷が各発光用電源配線103に放電されて駆動電流の電位変動を抑制する。これにより、電気光学装置1の画像表示を正常に保つことができる。 In the electro-optical device according to the present embodiment, the first capacitance C 1 is formed between the cathode 12 and the light-emitting power supply wirings 103R, 103G, and 103B. When the electro-optical device 1 is driven, charges are accumulated in the first capacitance C 1 . When the potential of the driving current flowing through each light emitting power supply wiring 103 changes during driving of the electro-optical device 1, the accumulated charge is discharged to each light emitting power supply wiring 103 to suppress the potential fluctuation of the driving current. . Thereby, the image display of the electro-optical device 1 can be kept normal.

尚、この電気光学装置1においては、走査線101から走査信号が供給されてスイッチング薄膜トランジスタ112がオン状態になると、そのときの信号線102の電位が保持容量Capに保持され、保持容量Capに保持された電位に応じてカレント薄膜トランジスタ123のオン・オフ状態が決まる。そして、カレント薄膜トランジスタ123のチャネルを介して、発光用電源配線103R,103G,103Bから画素電極111に駆動電流が流れ、更に発光層110R,110G,110Bを介して陰極12に電流が流れる。このとき、発光層110を流れた電流量に応じた量の発光が発光層110から得られる。   In the electro-optical device 1, when the scanning signal is supplied from the scanning line 101 and the switching thin film transistor 112 is turned on, the potential of the signal line 102 at that time is held in the holding capacitor Cap and held in the holding capacitor Cap. The on / off state of the current thin film transistor 123 is determined in accordance with the applied potential. Then, a driving current flows from the light emitting power supply wirings 103R, 103G, and 103B to the pixel electrode 111 through the channel of the current thin film transistor 123, and further a current flows to the cathode 12 through the light emitting layers 110R, 110G, and 110B. At this time, light emission corresponding to the amount of current flowing through the light emitting layer 110 is obtained from the light emitting layer 110.

次に、本実施形態の電気光学装置1の具体的な構成について、図2〜図4を参照して説明する。図2は、本実施形態の電気光学装置の平面模式図であり、図3は、図2のA−A′線に沿う断面図であり、図4は、図2のB−B′線に沿う断面図である。図2に示すように、本実施形態の電気光学装置1は、基板2、不図示の画素電極群領域、発光用電源配線103(103R,103G,103B)、及び表示画素部3(図中一点鎖線の枠内)とから概略構成される。   Next, a specific configuration of the electro-optical device 1 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 2 is a schematic plan view of the electro-optical device according to the present embodiment, FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ in FIG. 2, and FIG. 4 is taken along the line BB ′ in FIG. It is sectional drawing which follows. As shown in FIG. 2, the electro-optical device 1 according to this embodiment includes a substrate 2, a pixel electrode group region (not shown), a light-emitting power supply wiring 103 (103R, 103G, 103B), and a display pixel unit 3 (one point in the figure). It is roughly composed of a chain line).

基板2は、例えばガラス等からなる透明な基板である。画素電極群領域は、図1に示したカレント薄膜トランジスタ123に接続された画素電極(図示省略)を基板2上にマトリックス状に配置した領域である。発光用電源配線103(103R,103G,103B)は、図2に示したように、画素電極群領域の周囲に配置され、各画素電極に接続されている。表示画素部3は、少なくとも画素電極群領域上に位置し、平面視略矩形形状である。この表示画素部3は、中央部分の実表示領域4(図中二点鎖線の枠内)と、実表示領域4(尚、有効表示領域ともいう)の周囲に配置されたダミー領域5(一点鎖線及び二点鎖線の間の領域)とに区画されている。   The substrate 2 is a transparent substrate made of, for example, glass. The pixel electrode group region is a region in which pixel electrodes (not shown) connected to the current thin film transistor 123 shown in FIG. As shown in FIG. 2, the light emission power supply wiring 103 (103R, 103G, 103B) is arranged around the pixel electrode group region and connected to each pixel electrode. The display pixel unit 3 is located at least on the pixel electrode group region and has a substantially rectangular shape in plan view. The display pixel unit 3 includes an actual display area 4 (within a two-dot chain line in the figure) at the center and a dummy area 5 (one point) arranged around the actual display area 4 (also referred to as an effective display area). And a region between a chain line and a two-dot chain line).

また、実表示領域4の図中両側には、前述の走査線駆動回路105が配置されている。この走査線駆動回路105はダミー領域5の下側(基板2側)に位置して設けられている。更に、ダミー領域5の下側には、走査線駆動回路105に接続される走査線駆動回路用制御信号配線105aと走査線駆動回路用電源配線105bとが設けられている。また更に、実表示領域4の図中上側には、前述の検査回路106が配置されている。この検査回路106はダミー領域5の下側(基板側2)に位置して設けられており、この検査回路106により、製造途中や出荷時の電気光学装置の品質、欠陥の検査を行うことができる。   Further, the scanning line driving circuit 105 described above is arranged on both sides of the actual display area 4 in the drawing. The scanning line driving circuit 105 is provided below the dummy area 5 (on the substrate 2 side). Further, a scanning line driving circuit control signal wiring 105 a and a scanning line driving circuit power supply wiring 105 b connected to the scanning line driving circuit 105 are provided below the dummy region 5. Furthermore, the above-described inspection circuit 106 is arranged on the upper side of the actual display area 4 in the drawing. The inspection circuit 106 is provided on the lower side (substrate side 2) of the dummy area 5, and the inspection circuit 106 can inspect the quality and defects of the electro-optical device during production or at the time of shipment. it can.

図2に示すように、発光用電源配線103R,103G,103Bは、ダミー領域5の周囲に配設されている。各発光用電源配線103R,103G,103Bは、基板2の図2中下側から走査線駆動回路用制御信号配線105bに沿って図2中上方に延在し、走査線駆動回路用電源配線105bが途切れた位置から折曲してダミー領域5の外側に沿って延在し、実表示領域4内にある図示略の画素電極に接続されている。また、基板2には、陰極12に接続される陰極用配線12aが形成されている。この陰極用配線12aは、発光用電源配線103R,103G,103Bを囲むように平面視略コ字状に形成されている。   As shown in FIG. 2, the light-emitting power supply wirings 103 </ b> R, 103 </ b> G, and 103 </ b> B are disposed around the dummy region 5. Each light-emitting power supply wiring 103R, 103G, 103B extends from the lower side of the substrate 2 in FIG. 2 along the scanning line drive circuit control signal wiring 105b in FIG. 2, and the scanning line drive circuit power supply wiring 105b. Is bent from the position where it is interrupted, extends along the outside of the dummy area 5, and is connected to a pixel electrode (not shown) in the actual display area 4. Further, a cathode wiring 12 a connected to the cathode 12 is formed on the substrate 2. The cathode wiring 12a is formed in a substantially U shape in plan view so as to surround the light emitting power wirings 103R, 103G, and 103B.

このように、陰極用配線12a及び発光用電源配線103R,103G,103Bにより、実表示領域4及びダミー領域5が、いわば囲まれるように形成されており、上述した実表示領域4内には、図1に示した走査線101が複数配列され、走査線101と交差する方向に延びるように信号線102が、配列されている。つまり、走査線101及び信号線102は、基板2上において陰極用配線12a及び発光用電源配線103R,103G,103Bにより3方向が取り込まれるように配線されている。   Thus, the real display area 4 and the dummy area 5 are formed so as to be surrounded by the cathode wiring 12a and the light-emitting power supply wirings 103R, 103G, and 103B. A plurality of scanning lines 101 shown in FIG. 1 are arranged, and signal lines 102 are arranged so as to extend in a direction intersecting with the scanning lines 101. That is, the scanning line 101 and the signal line 102 are wired on the substrate 2 so that the three directions are taken in by the cathode wiring 12a and the light-emitting power supply wirings 103R, 103G, and 103B.

ここで、本発明の特徴的な構成に相当する発光用電源配線103R,103G,103B及び陰極用配線12aについて説明する。図1に示すように、発光用電源配線103R,103G,103Bから発光層110に供給された電流は、陰極12(陰極用配線12a)に流れ込む。このため、特に配線幅が制限される陰極用配線12aの配線抵抗があると電圧降下が大となり、陰極用配線12aの位置に応じて電位が変化し、コントラスト低下等の画像表示の異常を引き起こす。   Here, the light-emitting power supply wirings 103R, 103G, and 103B and the cathode wiring 12a corresponding to the characteristic configuration of the present invention will be described. As shown in FIG. 1, the current supplied from the light-emitting power supply wirings 103R, 103G, and 103B to the light-emitting layer 110 flows into the cathode 12 (cathode wiring 12a). For this reason, in particular, if there is wiring resistance of the cathode wiring 12a whose wiring width is limited, the voltage drop becomes large, the potential changes depending on the position of the cathode wiring 12a, and image display abnormalities such as contrast reduction are caused. .

かかる不具合を防止すべく、本実施形態では、陰極用配線12aの総面積が発光用電源配線103R,103G,103B各々の面積よりも大となるように形成されている。配線抵抗を極力低減するためには、陰極用配線12aが大面積であることが好ましい。しかしながら、図2に示すように、基板2上には種々の配線が配されるため、陰極用配線12aの面積はある程度制限される。   In order to prevent such a problem, in the present embodiment, the total area of the cathode wiring 12a is formed to be larger than the areas of the light-emitting power supply wirings 103R, 103G, and 103B. In order to reduce the wiring resistance as much as possible, the cathode wiring 12a preferably has a large area. However, as shown in FIG. 2, since various wirings are arranged on the substrate 2, the area of the cathode wiring 12a is limited to some extent.

そこで、発光用電源配線103R,103G,103B及び陰極用配線12aの長さ方向における単位長さ当たりの抵抗率が等しいと仮定して、陰極用配線12aの少なくとも一部において、線幅を発光用電源配線103R,103G,103Bの線幅よりも広くすることにより、陰極用配線12aの総面積が発光用電源配線103R,103G,103B各々の面積よりも大となるように設計している。図2に示した例では、陰極用配線12aの全体に亘って、その線幅を発光用電源配線103R,103G,103B各々の線幅よりも広くしている。   Therefore, assuming that the resistivity per unit length in the length direction of the light-emitting power supply wirings 103R, 103G, 103B and the cathode wiring 12a is equal, the line width is set to at least a part of the cathode wiring 12a. By making it wider than the line widths of the power supply lines 103R, 103G, and 103B, the total area of the cathode line 12a is designed to be larger than the areas of the light-emitting power supply lines 103R, 103G, and 103B. In the example shown in FIG. 2, the line width of the cathode wiring 12a is made wider than that of each of the light-emitting power supply wirings 103R, 103G, and 103B.

ここで、仮に発光用電源配線103R,103G,103Bに印加される電圧値が同一であり、発光用電源配線103R,103G,103Bの線幅も同一であって各々に同一の電流が流れ、しかも発光層110全ての電気的特性が同一であると仮定する。このときに、陰極用配線12aには発光用電源配線103R,103G,103B、ひいては発光層110に流れる電流を加算した電流が流れる。従って、陰極用配線12aにおける電圧降下を発光用電源配線103R,103G,103Bでの電圧降下と同程度にするためには、陰極用配線12aの線幅を発光用電源配線103R,103G,103B各々の線幅を加算した線幅よりも広くすることが好ましい。   Here, it is assumed that the voltage values applied to the light-emitting power supply wirings 103R, 103G, and 103B are the same, the light-emitting power supply wirings 103R, 103G, and 103B have the same line width, and the same current flows through each of them. It is assumed that all the light emitting layers 110 have the same electrical characteristics. At this time, a current obtained by adding the currents flowing through the light-emitting power supply wirings 103R, 103G, and 103B and the light-emitting layer 110 flows through the cathode wiring 12a. Therefore, in order to make the voltage drop in the cathode wiring 12a the same as the voltage drop in the light emitting power supply wirings 103R, 103G, 103B, the line width of the cathode wiring 12a is set to each of the light emitting power supply wirings 103R, 103G, 103B. It is preferable to make the line width wider than the sum of the line widths.

しかしながら、本実施形態の電気光学装置では、発光層110各々の特性が各色毎に異なり、しかも発光用電源配線103R,103G,103Bに印加する電圧値も各色毎に異なり、流れる電流もそれぞれ異なってくる。このため、本実施形態では、陰極用配線12aの線幅を、最も高い電圧が印加され、最も多くの電流が流れる(換言すると、電圧降下が最も大きい)発光用電源配線の線幅よりも太くすれば良い。この発光用電源配線以外の配線は、より低い電圧が印加され、流れる電流も少なくなるため、線幅はより細く形成される。   However, in the electro-optical device of the present embodiment, the characteristics of each light emitting layer 110 are different for each color, the voltage values applied to the light emitting power supply lines 103R, 103G, and 103B are also different for each color, and the flowing currents are also different. come. Therefore, in the present embodiment, the line width of the cathode wiring 12a is wider than the line width of the light-emitting power supply wiring where the highest voltage is applied and the most current flows (in other words, the voltage drop is the largest). Just do it. Wiring other than the light-emitting power supply wiring is applied with a lower voltage and less current flows, so that the line width is formed narrower.

この結果、本実施形態では、陰極用配線12aの線幅が、発光用電源配線103R,103G,103B各々の線幅よりも広く形成される。このように発光用電源配線103R,103G,103Bと陰極用配線12aが設定される。尚、図2に示した例では、陰極用配線12aの全体に亘って、その線幅を発光用電源配線103R,103G,103Bよりも広く形成しているが、配線の配置に応じて少なくとも一部が発光用電源配線103R,103G,103Bよりも広くされていれば良い。   As a result, in this embodiment, the line width of the cathode wiring 12a is formed wider than the line width of each of the light emitting power supply wirings 103R, 103G, and 103B. In this way, the light-emitting power supply wirings 103R, 103G, and 103B and the cathode wiring 12a are set. In the example shown in FIG. 2, the line width of the cathode wiring 12a is formed wider than that of the light-emitting power supply wirings 103R, 103G, and 103B. It is only necessary that the portion is wider than the light-emitting power supply wirings 103R, 103G, and 103B.

また、図2に示したように、基板2の一端には、ポリイミドテープ130が貼り付けられ、このポリイミドテープ130上に制御用IC131が実装されている。この制御用IC131には、図1に示したデータ側駆動回路104、陰極用電源回路131、及び発光用電源回路132が内蔵されている。   As shown in FIG. 2, a polyimide tape 130 is attached to one end of the substrate 2, and a control IC 131 is mounted on the polyimide tape 130. The control IC 131 incorporates the data side drive circuit 104, the cathode power supply circuit 131, and the light emission power supply circuit 132 shown in FIG.

次に、図3及び図4に示すように、基板2上には回路部11が形成され、この回路部11上に表示画素部3が形成されている。また、基板2には、表示画素部3を取り囲む封止材13が形成されており、更に表示画素部3上に封止基板14が備えられている。封止基板14は、封止材13を介して基板2に接合されており、ガラス、金属、又は樹脂等からなるものである。この封止基板14の裏側には、吸着剤15が貼付され、表示画素部3と封止基板14との間の空間に混入した水又は酸素を吸収できるようになっている。尚、吸着剤15に代えてゲッター剤を用いても良い。また、封止材13は、例えば熱硬化樹脂又は紫外線硬化樹脂からなるものであり、特に熱硬化樹脂の一種であるエポキシ樹脂よりなることが好ましい。   Next, as shown in FIGS. 3 and 4, the circuit unit 11 is formed on the substrate 2, and the display pixel unit 3 is formed on the circuit unit 11. In addition, a sealing material 13 surrounding the display pixel unit 3 is formed on the substrate 2, and a sealing substrate 14 is further provided on the display pixel unit 3. The sealing substrate 14 is bonded to the substrate 2 via the sealing material 13 and is made of glass, metal, resin, or the like. An adsorbent 15 is attached to the back side of the sealing substrate 14 so that water or oxygen mixed in the space between the display pixel unit 3 and the sealing substrate 14 can be absorbed. A getter agent may be used instead of the adsorbent 15. Further, the sealing material 13 is made of, for example, a thermosetting resin or an ultraviolet curable resin, and is particularly preferably made of an epoxy resin which is a kind of thermosetting resin.

回路部11の中央部分には、画素電極群領域11aが設けられている。この画素電極群領域11aには、カレント薄膜トランジスタ123と、カレント薄膜トランジスタ123に接続された画素電極111が備えられている。カレント薄膜トランジスタ123は、基板2上に積層された下地保護層281、第2層間絶縁層283、及び第1層間絶縁層284に埋め込まれて形成され、画素電極111は、第1層間絶縁層284上に形成されている。カレント薄膜トランジスタ123に接続され、第2層間絶縁層283上に形成された電極の一方(ソース電極)には、発光用電源配線103(103R,103G,103B)が接続されている。尚、回路部11には、前述した保持容量Cap及びスイッチング薄膜トランジスタ112も形成されているが、図3及び図4ではこれらの図示を省略している。更に、図3及び図4においては、信号線102の図示を省略している。更に、図4においては、スイッチング薄膜トランジスタ112及びカレント薄膜トランジスタ123の図示を省略している。   A pixel electrode group region 11 a is provided in the central portion of the circuit portion 11. The pixel electrode group region 11 a includes a current thin film transistor 123 and a pixel electrode 111 connected to the current thin film transistor 123. The current thin film transistor 123 is formed to be embedded in the base protective layer 281, the second interlayer insulating layer 283, and the first interlayer insulating layer 284 stacked on the substrate 2, and the pixel electrode 111 is formed on the first interlayer insulating layer 284. Is formed. One of the electrodes (source electrode) connected to the current thin film transistor 123 and formed on the second interlayer insulating layer 283 is connected to the light-emitting power supply wiring 103 (103R, 103G, 103B). The circuit unit 11 is also formed with the storage capacitor Cap and the switching thin film transistor 112 described above, but these are not shown in FIGS. 3 and 4. Further, in FIG. 3 and FIG. 4, illustration of the signal line 102 is omitted. Further, in FIG. 4, the switching thin film transistor 112 and the current thin film transistor 123 are not shown.

次に、図3において、画素電極群領域11aの図中両側には、前述の走査線駆動回路105が設けられている。また、図4において、画素電極群領域11aの図中左側には、前述の検査回路106が設けられている。走査線駆動回路105には、シフトレジスタに含まれるインバータを構成するNチャネル型又はPチャネル型の薄膜トランジスタ105cが備えられ、この薄膜トランジスタ105cは、画素電極111に接続されていない点を除いて上記のカレント薄膜トランジスタ123と同様の構造とされている。また、検査回路106にも同様に、薄膜トランジスタ106aが備えられ、この薄膜トランジスタ106aも、画素電極111に接続されていない点を除いてカレント薄膜トランジスタ123と同様の構造とされている。   Next, in FIG. 3, the above-described scanning line driving circuit 105 is provided on both sides of the pixel electrode group region 11a in the drawing. In FIG. 4, the above-described inspection circuit 106 is provided on the left side of the pixel electrode group region 11a in the drawing. The scanning line driver circuit 105 is provided with an N-channel or P-channel thin film transistor 105c that constitutes an inverter included in the shift register, and the thin film transistor 105c is not connected to the pixel electrode 111 except for the above. The structure is the same as that of the current thin film transistor 123. Similarly, the inspection circuit 106 includes a thin film transistor 106 a, and this thin film transistor 106 a has the same structure as the current thin film transistor 123 except that it is not connected to the pixel electrode 111.

また、図3に示すように、走査線駆動回路105の図中外側の下地保護層281上には、走査線回路用制御信号配線105aが形成されている。更に、走査線回路用制御信号配線105aの外側の第2層間絶縁層283上には、走査線回路用電源配線105bが形成されている。更に、図4に示すように、検査回路路106の図中左側の下地保護層281上には、検査回路用制御信号配線106bが形成されている。また更に、検査回路用制御信号配線106bの左側の第2層間絶縁層283上には、検査回路用電源配線106cが形成されている。また、走査線回路用電源配線105bの外側には、発光用電源配線103が形成されている。この発光用電源配線103は、2つの配線からなる二重配線構造を採用しており、前述したように表示画素部3の外側に配置されている。二重配線構造を採用することで配線抵抗を軽減できる。   Further, as shown in FIG. 3, a scanning line circuit control signal wiring 105a is formed on the base protective layer 281 outside the scanning line driving circuit 105 in the drawing. Further, a scanning line circuit power supply wiring 105b is formed on the second interlayer insulating layer 283 outside the scanning line circuit control signal wiring 105a. Further, as shown in FIG. 4, a test circuit control signal wiring 106 b is formed on the base protective layer 281 on the left side of the test circuit path 106 in the drawing. Further, a test circuit power supply wiring 106c is formed on the second interlayer insulating layer 283 on the left side of the test circuit control signal wiring 106b. A light-emitting power supply wiring 103 is formed outside the scanning line circuit power supply wiring 105b. The light-emitting power supply wiring 103 employs a double wiring structure including two wirings, and is disposed outside the display pixel unit 3 as described above. Wiring resistance can be reduced by adopting a double wiring structure.

例えば、図3中左側にある赤色用の発光用電源配線103Rは、下地保護層281上に形成された第1配線103R1と、第2層間絶縁層283を介して第1配線103R1上に形成された第2配線103R2とから構成されている。第1配線103R1及び第2配線103R2は、図2に示すように第2層間絶縁層283を貫通するコンタクトホール103R3により接続されている。このように、第1配線103R1は、陰極用配線12aと同じ階層位置に形成されており、第1配線103R1と陰極用配線12aとの間は第2層間絶縁層283が配置されている。また、図3及び図4に示す通り、陰極用配線12aはコンタクトホールを介して第2層間絶縁層283上に形成された陰極用配線12bと電気的に接続されおり、いわば陰極用配線12aも二重配線構造になっている。よって、第2配線103R2は、陰極用配線12bと同じ階層位置に形成されており、第1配線103R2と陰極用配線12bとの間は第1層間絶縁層284が配置されている。このような構造をとることで、第1配線103R1と陰極用配線12aとの間、及び、第2配線103R2と陰極用配線12bとの間に第2の静電容量C2が形成されている。 For example, the red light-emitting power supply wiring 103R on the left side in FIG. 3 is formed on the first wiring 103R 1 via the first wiring 103R 1 formed on the base protective layer 281 and the second interlayer insulating layer 283. The second wiring 103R 2 is formed. The first wiring 103R 1 and the second wiring 103R 2 are connected by a contact hole 103R 3 penetrating the second interlayer insulating layer 283 as shown in FIG. Thus, the first wiring 103R 1 is formed at the same hierarchical position as the cathode wiring 12a, and the second interlayer insulating layer 283 is disposed between the first wiring 103R 1 and the cathode wiring 12a. . As shown in FIGS. 3 and 4, the cathode wiring 12a is electrically connected to the cathode wiring 12b formed on the second interlayer insulating layer 283 through the contact hole. It has a double wiring structure. Therefore, the second wiring 103R 2 is formed at the same level as the cathode wiring 12b, and the first interlayer insulating layer 284 is disposed between the first wiring 103R 2 and the cathode wiring 12b. By adopting such a structure, the second electrostatic capacitance C 2 is formed between the first wiring 103R 1 and the cathode wiring 12a and between the second wiring 103R 2 and the cathode wiring 12b. ing.

同様に、図3の右側にある青色及び緑色用の発光用電源配線103G,103Bも二重配線構造を採用しており、それぞれ下地保護層281上に形成された第1配線103G1,103B1と、第2層間絶縁層283上に形成された第2配線103G2,103B2とから構成され、第1配線103G1,103B1及び第2配線103G2,103B2は、図2及び図3に示すように第2層間絶縁層283を貫通するコンタクトホール103G3,103B3により接続されている。そして、青色の第1配線103B1と陰極用配線12aの間、及び、青色の第2配線103B2と陰極用配線12bとの間に第2の静電容量C2が形成されている。 Similarly, the blue and green light-emitting power supply wirings 103G and 103B on the right side of FIG. 3 also adopt a double wiring structure, and the first wirings 103G 1 and 103B 1 formed on the base protection layer 281 respectively. And second wirings 103G 2 and 103B 2 formed on the second interlayer insulating layer 283, and the first wirings 103G 1 and 103B 1 and the second wirings 103G 2 and 103B 2 are shown in FIGS. As shown in FIG. 5, the contact holes 103G 3 and 103B 3 that penetrate through the second interlayer insulating layer 283 are connected. A second capacitance C 2 is formed between the blue first wiring 103B 1 and the cathode wiring 12a and between the blue second wiring 103B 2 and the cathode wiring 12b.

第1配線103R1と第2配線103R2との間隔は、例えば、0.6〜1.0μmの範囲が好ましい。間隔が0.6μm未満であると、信号線102及び走査線101のような異なる電位を有するソースメタルとゲートメタルとの間の寄生容量が増えるため好ましくない。例えば、実表時領域4内においては、ソースメタルとゲートメタルとが交差する箇所が多く存在し、かかる箇所の寄生容量が多いと画像信号の時間遅延を引き起こす虞がある。その結果として、定められた期間内に画像信号を画素電極111に書き込む事ができないため、コントラストの低下を引き起こす。第1配線103R1及び第2配線103R2に挟まれる第2層間絶縁層283の材質は、例えばSiO2等が好ましいが、1.0μm以上形成するとSiO2の応力により基板2が割れる恐れが生じる。 The distance between the first wiring 103R 1 and the second wiring 103R 2 is preferably in the range of 0.6 to 1.0 μm, for example. If the distance is less than 0.6 μm, parasitic capacitance between the source metal and the gate metal having different potentials such as the signal line 102 and the scanning line 101 is not preferable. For example, there are many locations where the source metal and the gate metal intersect in the real table time region 4, and if there is a large parasitic capacitance at such locations, there is a risk of causing a time delay of the image signal. As a result, an image signal cannot be written into the pixel electrode 111 within a predetermined period, which causes a decrease in contrast. The material of the second interlayer insulating layer 283 sandwiched between the first wiring 103R 1 and the second wiring 103R 2 is preferably, for example, SiO 2, but if formed to be 1.0 μm or more, the substrate 2 may break due to the stress of SiO 2. .

尚、図4に示したように、発光用電源配線103は二重配線構造とされているが、本発明にいう発光用電源配線103の面積とは、二重配線構造の一方の各々(例えば、電源用配線103R2,電源用配線103G2,電源用配線103B2)の面積をいう。 As shown in FIG. 4, the light-emitting power supply wiring 103 has a double wiring structure, but the area of the light-emitting power supply wiring 103 in the present invention refers to one of the double wiring structures (for example, , The area of the power supply wiring 103R 2 , the power supply wiring 103G 2 , and the power supply wiring 103B 2 ).

また、各発光用電源配線103Rの上側には、表示画素部3から延出した陰極12が形成されている。これにより、各発光用電源配線103Rの第2配線103R2が、第1層間絶縁層284を挟んで陰極12と対向配置され、これにより第2配線103R2と陰極12との間に前述の第1の静電容量C1が形成される。 A cathode 12 extending from the display pixel unit 3 is formed on the upper side of each light-emitting power supply wiring 103R. As a result, the second wiring 103R 2 of each light-emitting power supply wiring 103R is disposed opposite to the cathode 12 with the first interlayer insulating layer 284 interposed therebetween, whereby the above-described second wiring 103R 2 and the cathode 12 are interposed between the second wiring 103R 2 and the cathode 12. 1 capacitance C 1 is formed.

ここで、第2配線103R2と陰極12との間隔は、例えば、0.6〜1.0μmの範囲が好ましい。間隔が0.6μm未満だと、画素電極及びソースメタルのような異なる電位を有する画素電極とソースメタルとの間の寄生容量が増える為、ソースメタルを用いている信号線の配線遅延が生じる。その結果、定められた期間内に画像信号を書き込む事ができない為、コントラストの低下を引き起こす。第2配線103R2と陰極12に挟まれる第1層間絶縁層284の材質は、例えばSiO2やアクリル樹脂等が好ましい。しかしながら、SiO2を1.0μm以上形成すると応力により基板2が割れる恐れが生じる。また、アクリル樹脂の場合は、2.0μm程度まで形成することができるが、水を含むと膨張する性質があるため、その上に形成する画素電極を割る恐れがある。 Here, the distance between the second wiring 103R 2 and the cathode 12 is preferably in the range of 0.6 to 1.0 μm, for example. When the distance is less than 0.6 μm, parasitic capacitance between the pixel electrode and the source metal having different potentials such as the pixel electrode and the source metal increases, and therefore a wiring delay of the signal line using the source metal occurs. As a result, the image signal cannot be written within a predetermined period, which causes a decrease in contrast. The material of the first interlayer insulating layer 284 sandwiched between the second wiring 103R 2 and the cathode 12 is preferably, for example, SiO 2 or acrylic resin. However, if SiO 2 is formed to have a thickness of 1.0 μm or more, the substrate 2 may be broken by stress. In the case of an acrylic resin, it can be formed up to about 2.0 μm. However, since it has a property of expanding when it contains water, the pixel electrode formed thereon may be broken.

このように、本実施形態の電気光学装置1は、発光用電源配線103と陰極12との間に第1の静電容量C1が設けられるので、発光用電源配線103を流れる駆動電流の電位が変動した場合に第1の静電容量C1に蓄積された電荷が発光用電源配線103に供給され、駆動電流の電位不足分がこの電荷により補われて電位変動を抑制することができ、電気光学装置1の画像表示を正常に保つことができる。特に、発光用電源配線103と陰極12とが表示画素部3の外側で対向しているので、発光用電源配線103と陰極12との間隔を小さくして第1の静電容量C1に蓄積される電荷量を増大させることができ、駆動電流の電位変動をより小さくして画像表示を安定に行うことができる。更に、発光用電源配線103が第1配線及び第2配線からなる二重配線構造を有し、第1配線と陰極用配線との間に第2の静電容量C2が設けられているので、第2の静電容量C2に蓄積された電荷も発光用電源配線103に供給されるため、電位変動をより抑制することができ、電気光学装置1の画像表示をより正常に保つことができる。 As described above, in the electro-optical device 1 according to the present embodiment, the first electrostatic capacitance C 1 is provided between the light-emitting power supply wiring 103 and the cathode 12, so When the voltage fluctuates, the charge accumulated in the first capacitance C 1 is supplied to the light-emitting power supply wiring 103, and the potential deficiency of the drive current is compensated by this charge, thereby suppressing the potential fluctuation. The image display of the electro-optical device 1 can be kept normal. In particular, since the light-emitting power supply wiring 103 and the cathode 12 face each other outside the display pixel unit 3, the distance between the light-emitting power supply wiring 103 and the cathode 12 is reduced and stored in the first capacitance C1. The amount of charge that is generated can be increased, and the potential fluctuation of the drive current can be further reduced to stably display an image. Further, the light-emitting power supply wiring 103 has a double wiring structure composed of the first wiring and the second wiring, and the second capacitance C 2 is provided between the first wiring and the cathode wiring. Since the electric charge accumulated in the second capacitance C 2 is also supplied to the light-emitting power supply wiring 103, the potential fluctuation can be further suppressed, and the image display of the electro-optical device 1 can be maintained more normally. it can.

ここで、カレント薄膜トランジスタ123を含む回路部11の構造を詳細に説明する。図5は、画素電極群領域11aの要部を示す断面図である。図5に示すように、基板2の表面には、SiO2を主体とする下地保護層281が積層され、この下地保護層281上には島状のシリコン層241が形成されている。また、シリコン層241及び下地保護層281は、SiO2及び/又はSiNを主体とするゲート絶縁層282により被覆されている。そして、シリコン層241上には、ゲート絶縁層282を介してゲート電極242が形成されている。 Here, the structure of the circuit unit 11 including the current thin film transistor 123 will be described in detail. FIG. 5 is a cross-sectional view showing the main part of the pixel electrode group region 11a. As shown in FIG. 5, a base protective layer 281 mainly composed of SiO 2 is laminated on the surface of the substrate 2, and an island-like silicon layer 241 is formed on the base protective layer 281. The silicon layer 241 and the base protective layer 281 are covered with a gate insulating layer 282 mainly composed of SiO 2 and / or SiN. A gate electrode 242 is formed on the silicon layer 241 with a gate insulating layer 282 interposed therebetween.

尚、図5においては、カレント薄膜トランジスタ123の断面構造を示しているが、スイッチング薄膜トランジスタ112も同様の構造である。また、ゲート電極242及びゲート絶縁層282は、SiO2を主体とする第2層間絶縁層283によって被覆されている。尚、本明細書において、「主体」とする成分とは最も含有率の高い成分のことをいうものとする。 5 shows the cross-sectional structure of the current thin film transistor 123, the switching thin film transistor 112 has the same structure. The gate electrode 242 and the gate insulating layer 282 are covered with a second interlayer insulating layer 283 mainly composed of SiO 2 . In the present specification, the “main component” means a component having the highest content.

次に、シリコン層241のうち、ゲート絶縁層282を介してゲート電極242と対向する領域がチャネル領域241aとされている。また、シリコン層241のうち、チャネル領域241aの図中左側には低濃度ソース領域241b及び高濃度ソース領域241Sが設けられる。チャネル領域241aの図中右側には低濃度ドレイン領域241c及び高濃度ドレイン領域241Dが設けられており、いわゆるLDD(Light Doped Drain)構造が形成されている。カレント薄膜トランジスタ123は、このシリコン層241を主体として構成されている。   Next, in the silicon layer 241, a region facing the gate electrode 242 with the gate insulating layer 282 interposed therebetween is a channel region 241a. Further, in the silicon layer 241, a low concentration source region 241b and a high concentration source region 241S are provided on the left side of the channel region 241a in the drawing. A low-concentration drain region 241c and a high-concentration drain region 241D are provided on the right side of the channel region 241a in the drawing, and a so-called LDD (Light Doped Drain) structure is formed. The current thin film transistor 123 is mainly composed of this silicon layer 241.

高濃度ソース領域241Sは、ゲート絶縁層282と第2層間絶縁層283とに亙って開孔するコンタクトホール244を介して、第2層間絶縁層283上に形成されたソース電極243に接続されている。このソース電極243は、上述した信号線102の一部として構成される。一方、高濃度ドレイン領域241Dは、ゲート絶縁層282と第2層間絶縁層283とに亙って開孔するコンタクトホール245を介して、ソース電極243と同一層に形成されたドレイン電極244に接続されている。   The high-concentration source region 241S is connected to a source electrode 243 formed on the second interlayer insulating layer 283 through a contact hole 244 opened through the gate insulating layer 282 and the second interlayer insulating layer 283. ing. The source electrode 243 is configured as a part of the signal line 102 described above. On the other hand, the high-concentration drain region 241D is connected to the drain electrode 244 formed in the same layer as the source electrode 243 through a contact hole 245 opened through the gate insulating layer 282 and the second interlayer insulating layer 283. Has been.

ソース電極243及びドレイン電極244が形成された第2層間絶縁層283上に第1層間絶縁層284が形成されている。そして、ITO等からなる透明な画素電極111が、この第1層間絶縁層284上に形成されるとともに、第1層間絶縁層284に設けられたコンタクトホール111aを介してドレイン電極244に接続されている。即ち、画素電極111は、ドレイン電極244を介して、シリコン層241の高濃度ドレイン電極241Dに接続されている。尚、図3に示すように、画素電極111は実表示領域4に対応する位置に形成されているが、実表示領域4の周囲に形成されたダミー領域5には、画素電極111と同じ形態のダミー画素電極111′が設けられる。このダミー画素電極111′は、高濃度ドレイン電極241Dに接続されない点を除き、画素電極111と同一の形態である。   A first interlayer insulating layer 284 is formed on the second interlayer insulating layer 283 on which the source electrode 243 and the drain electrode 244 are formed. A transparent pixel electrode 111 made of ITO or the like is formed on the first interlayer insulating layer 284 and connected to the drain electrode 244 via a contact hole 111a provided in the first interlayer insulating layer 284. Yes. That is, the pixel electrode 111 is connected to the high concentration drain electrode 241D of the silicon layer 241 through the drain electrode 244. As shown in FIG. 3, the pixel electrode 111 is formed at a position corresponding to the actual display region 4, but the dummy electrode 5 formed around the actual display region 4 has the same configuration as the pixel electrode 111. Dummy pixel electrode 111 'is provided. The dummy pixel electrode 111 ′ has the same form as the pixel electrode 111 except that it is not connected to the high concentration drain electrode 241D.

次に、表示画素部3の実画素領域4には、発光層110及びバンク部(バンク)122が形成されている。発光層110は図3〜図5に示すように、画素電極111上の各々に積層されている。また、バンク部122は、各画素電極111及び各発光層110の間に備えられており、各発光層110を区画している。バンク部122は、基板2側に位置する無機物バンク層122aと基板2から離れて位置する有機物バンク層122bとが積層されて構成されている。尚、無機物バンク層122aと有機物バンク層122bとの間に遮光層を配置してもよい。   Next, a light emitting layer 110 and a bank unit (bank) 122 are formed in the actual pixel region 4 of the display pixel unit 3. As shown in FIGS. 3 to 5, the light emitting layer 110 is stacked on each of the pixel electrodes 111. The bank unit 122 is provided between each pixel electrode 111 and each light emitting layer 110, and partitions each light emitting layer 110. The bank unit 122 is configured by laminating an inorganic bank layer 122 a located on the substrate 2 side and an organic bank layer 122 b located away from the substrate 2. A light shielding layer may be disposed between the inorganic bank layer 122a and the organic bank layer 122b.

無機物、有機物バンク層122a,122bは、画素電極111の周縁部上に乗上げるまで延出形成されており、また無機物バンク層122aは、有機物バンク層122bよりも画素電極111の中央側に延出形成されている。また、無機物バンク層122aは、例えば、SiO2、TiO2、SiN等の無機材料からなることが好ましい。また無機物バンク層122aの膜厚は、50〜200nmの範囲が好ましく、特に150nmがよい。膜厚が50nm未満では、無機物バンク層122aが後述する正孔注入/輸送層より薄くなり、正孔注入/輸送層の平坦性を確保できなくなるので好ましくない。また膜厚が200nmを越えると、無機物バンク層122aによる段差が大きくなって、正孔注入/輸送層上に積層する後述の発光層の平坦性を確保できなくなるので好ましくない。 The inorganic and organic bank layers 122a and 122b are formed to extend on the peripheral edge of the pixel electrode 111, and the inorganic bank layer 122a extends to the center side of the pixel electrode 111 from the organic bank layer 122b. Is formed. Also, the inorganic bank layer 122a is, for example, preferably made of an inorganic material of SiO 2, TiO 2, SiN or the like. The film thickness of the inorganic bank layer 122a is preferably in the range of 50 to 200 nm, particularly 150 nm. If the film thickness is less than 50 nm, the inorganic bank layer 122a is thinner than the hole injection / transport layer described later, and the flatness of the hole injection / transport layer cannot be ensured. On the other hand, if the film thickness exceeds 200 nm, the step due to the inorganic bank layer 122a becomes large, and the flatness of the light emitting layer to be described later stacked on the hole injection / transport layer cannot be secured, which is not preferable.

更に、有機物バンク層122bは、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の通常のレジストから形成されている。この有機物バンク層122bの厚さは、0.1〜3.5μmの範囲が好ましく、特に2μm程度がよい。厚さが0.1μm未満では、後述する正孔注入/輸送層及び発光層の合計厚より有機物バンク層122bが薄くなり、発光層が上部開口部から溢れるおそれがあるので好ましくない。また、厚さが3.5μmを越えると、上部開口部による段差が大きくなり、有機物バンク層122b上に形成する陰極12のステップカバレッジを確保できなくなるので好ましくない。また、有機物バンク層122bの厚さを2μm以上にすれば、陰極12と画素電極111との絶縁を高めることができる点でより好ましい。このようにして、発光層110は、バンク部122より薄く形成されている。   Furthermore, the organic bank layer 122b is formed of a normal resist such as an acrylic resin or a polyimide resin. The thickness of the organic bank layer 122b is preferably in the range of 0.1 to 3.5 μm, and particularly preferably about 2 μm. If the thickness is less than 0.1 μm, the organic bank layer 122b becomes thinner than the total thickness of the hole injection / transport layer and the light emitting layer, which will be described later, and the light emitting layer may overflow from the upper opening, which is not preferable. On the other hand, if the thickness exceeds 3.5 μm, the step due to the upper opening becomes large, and step coverage of the cathode 12 formed on the organic bank layer 122b cannot be secured, which is not preferable. Further, if the thickness of the organic bank layer 122b is 2 μm or more, it is more preferable in that the insulation between the cathode 12 and the pixel electrode 111 can be enhanced. In this way, the light emitting layer 110 is formed thinner than the bank portion 122.

また、バンク部122の周辺には、親液性を示す領域と、撥液性を示す領域が形成されている。親液性を示す領域は、無機物バンク層122a及び画素電極111であり、これらの領域には、酸素を反応ガスとするプラズマ処理によって水酸基等の親液基が導入されている。また、撥液性を示す領域は、有機物バンク層122bであり、4フッ化メタンを反応ガスとするプラズマ処理によってフッ素等の撥液基が導入されている。   Further, an area showing lyophilicity and an area showing liquid repellency are formed around the bank portion 122. The lyophilic regions are the inorganic bank layer 122a and the pixel electrode 111, and lyophilic groups such as hydroxyl groups are introduced into these regions by plasma treatment using oxygen as a reactive gas. Further, the region showing liquid repellency is the organic bank layer 122b, and a liquid repellent group such as fluorine is introduced by plasma treatment using tetrafluoromethane as a reaction gas.

次に、図5に示すように、発光層110は、画素電極111上に積層された正孔注入/輸送層110a上に積層されている。尚、本明細書では、発光層110及び正孔注入/輸送層110aを含む構成を機能層といい、画素電極111、機能層、及び陰極12含む構成を発光素子という。正孔注入/輸送層110aは、正孔を発光層110に注入する機能を有するとともに、正孔を正孔注入/輸送層110a内部において輸送する機能を有する。このような正孔注入/輸送層110aを画素電極111と発光層110の間に設けることにより、発光層110の発光効率、寿命等の素子特性が向上する。また、発光層110では、正孔注入/輸送層110aから注入された正孔と、陰極12からの電子とが結合して蛍光を発生させる。発光層11bは、赤色(R)に発光する赤色発光層、緑色(G)に発光する緑色発光層、及び青色(B)に発光する青色発光層の3種類を有し、図1及び図2に示すように、各発光層がストライプ配置されている。   Next, as shown in FIG. 5, the light emitting layer 110 is stacked on the hole injection / transport layer 110 a stacked on the pixel electrode 111. In the present specification, a configuration including the light emitting layer 110 and the hole injection / transport layer 110a is referred to as a functional layer, and a configuration including the pixel electrode 111, the functional layer, and the cathode 12 is referred to as a light emitting element. The hole injection / transport layer 110a has a function of injecting holes into the light emitting layer 110 and a function of transporting holes inside the hole injection / transport layer 110a. By providing such a hole injecting / transporting layer 110a between the pixel electrode 111 and the light emitting layer 110, device characteristics such as light emission efficiency and life of the light emitting layer 110 are improved. Further, in the light emitting layer 110, the holes injected from the hole injection / transport layer 110a and the electrons from the cathode 12 are combined to generate fluorescence. The light emitting layer 11b has three types, a red light emitting layer that emits red (R), a green light emitting layer that emits green (G), and a blue light emitting layer that emits blue (B). As shown in FIG. 2, the light emitting layers are arranged in stripes.

次に、図3及び図4に示したように、表示画素部3のダミー領域5には、ダミー発光層210及びダミーバンク部212が形成されている。ダミーバンク部212は、基板2側に位置するダミー無機物バンク層212aと基板2から離れて位置するダミー有機物バンク層212bとが積層されて構成されている。ダミー無機物バンク層212aは、ダミー画素電極111′の全面に形成されている。またダミー有機物バンク層212bは、有機物バンク層122bと同様に画素電極111の間に形成されている。そして、ダミー発光層210は、ダミー無機物バンク212aを介してダミー画素電極111′上に形成されている。   Next, as shown in FIGS. 3 and 4, a dummy light emitting layer 210 and a dummy bank unit 212 are formed in the dummy region 5 of the display pixel unit 3. The dummy bank unit 212 is configured by laminating a dummy inorganic bank layer 212 a located on the substrate 2 side and a dummy organic bank layer 212 b located away from the substrate 2. The dummy inorganic bank layer 212a is formed on the entire surface of the dummy pixel electrode 111 ′. The dummy organic bank layer 212b is formed between the pixel electrodes 111 in the same manner as the organic bank layer 122b. The dummy light emitting layer 210 is formed on the dummy pixel electrode 111 ′ via the dummy inorganic bank 212a.

ダミー無機物バンク層212a及びダミー有機物バンク層211bは、先に説明した無機物、有機物バンク層122a,122bと同様の材質、同様の膜厚を有するものである。また、ダミー発光層210は、図示略のダミー正孔注入/輸送層上に積層されており、ダミー正孔注入/輸送層及びダミー発光層の材質や膜厚は、前述の正孔注入/輸送層110a及び発光層110と同様である。従って、上記の発光層110と同様に、ダミー発光層210はダミーバンク部212より薄く形成されている。   The dummy inorganic bank layer 212a and the dummy organic bank layer 211b have the same material and the same film thickness as the inorganic and organic bank layers 122a and 122b described above. The dummy light-emitting layer 210 is laminated on a dummy hole injection / transport layer (not shown), and the material and film thickness of the dummy hole injection / transport layer and the dummy light-emitting layer are the above-described hole injection / transport. It is the same as the layer 110a and the light emitting layer 110. Therefore, similar to the light emitting layer 110 described above, the dummy light emitting layer 210 is formed thinner than the dummy bank portion 212.

ダミー領域5を実表示領域4の周囲に配置することにより、実表示領域4の発光層110の厚さを均一にすることができ、表示ムラを抑制することができる。即ち、ダミー領域5を配置することで、表示素子をインクジェット法によって形成する場合における吐出した組成物インクの乾燥条件を実表示領域4内で一定にすることができ、実表示領域4の周縁部で発光層110の厚さに偏りが生じる虞がない。   By disposing the dummy region 5 around the actual display region 4, the thickness of the light emitting layer 110 in the actual display region 4 can be made uniform, and display unevenness can be suppressed. That is, by disposing the dummy region 5, the drying condition of the discharged composition ink when the display element is formed by the ink jet method can be made constant in the actual display region 4. Therefore, there is no possibility that the thickness of the light emitting layer 110 is uneven.

次に、陰極12は、実表示領域4とダミー領域5の全面に形成されるとともにダミー領域5の外側にある基板2上まで延出され、ダミー領域5の外側、即ち表示画素部3の外側で発光用電源配線103と対向配置されている。また陰極12の端部が、回路部11に形成された陰極用配線12aの全面に亘って接続されている。陰極12は、画素電極111の対向電極として発光層110に電流を流す役割を果たす。この陰極12は、例えば、フッ化リチウムとカルシウムの積層体からなる陰極層12bと、反射層12cとが積層されて構成されている。陰極12のうち、反射層12cのみが表示画素部3の外側まで延出されている。反射層12cは、発光層110から発した光を基板2側に反射させるもので、例えば、Al、Ag、Mg/Ag積層体等からなることが好ましい。更に、反射層12b上にSiO2、SiN等からなる酸化防止用の保護層を設けても良い。 Next, the cathode 12 is formed on the entire surface of the actual display region 4 and the dummy region 5 and extends to the substrate 2 outside the dummy region 5, and outside the dummy region 5, that is, outside the display pixel unit 3. The light-emitting power supply wiring 103 is opposed to the light-emitting power supply line 103. The end of the cathode 12 is connected over the entire surface of the cathode wiring 12 a formed in the circuit section 11. The cathode 12 serves as a counter electrode of the pixel electrode 111 and plays a role of passing a current through the light emitting layer 110. The cathode 12 is configured, for example, by laminating a cathode layer 12b made of a laminate of lithium fluoride and calcium and a reflective layer 12c. Of the cathode 12, only the reflective layer 12 c extends to the outside of the display pixel unit 3. The reflective layer 12c reflects light emitted from the light emitting layer 110 to the substrate 2 side, and is preferably made of, for example, Al, Ag, Mg / Ag laminate, or the like. Furthermore, an antioxidant protective layer made of SiO 2 , SiN or the like may be provided on the reflective layer 12b.

次に、本実施形態の電気光学装置1の製造方法について説明する。図6〜図9は、本発明の一実施形態による電気光学装置の製造方法を説明する工程図である。まず、図6〜図8を参照して、基板2上に回路部11を形成する方法について説明する。尚、図6〜図8に示す各断面図は、図2中のA−A′線に沿う断面に対応している。また、以下の説明において、不純物濃度は、いずれも活性化アニール後の不純物として表される。   Next, a method for manufacturing the electro-optical device 1 according to this embodiment will be described. 6 to 9 are process diagrams illustrating a method for manufacturing an electro-optical device according to an embodiment of the invention. First, a method for forming the circuit portion 11 on the substrate 2 will be described with reference to FIGS. Each of the cross-sectional views shown in FIGS. 6 to 8 corresponds to a cross section taken along the line AA ′ in FIG. In the following description, the impurity concentration is expressed as an impurity after activation annealing.

まず、図6(a)に示すように、基板2上に、シリコン酸化膜などからなる下地保護層281を形成する。次に、ICVD法、プラズマCVD法などを用いてアモルファスシリコン層を形成した後、レーザアニール法又は急速加熱法により結晶粒を成長させてポリシリコン層501とする。その後、ポリシリコン層501をフォトリソグラフィ法によりパターニングし、図6(b)に示すように島状のシリコン層241,251,261を形成し、更にシリコン酸化膜からなるゲート絶縁層282を形成する。   First, as shown in FIG. 6A, a base protective layer 281 made of a silicon oxide film or the like is formed on the substrate 2. Next, after an amorphous silicon layer is formed using an ICVD method, a plasma CVD method, or the like, crystal grains are grown by a laser annealing method or a rapid heating method to form a polysilicon layer 501. Thereafter, the polysilicon layer 501 is patterned by photolithography to form island-like silicon layers 241, 251, 261 as shown in FIG. 6B, and further, a gate insulating layer 282 made of a silicon oxide film is formed. .

シリコン層241は、実表示領域4に対応する位置に形成されて画素電極111に接続されるカレント薄膜トランジスタ123(以下、「画素用TFT」と表記する場合がある)を構成するものであり、シリコン層251,261は、走査線駆動回路105内のPチャネル型及びNチャネル型の薄膜トランジスタ(以下、「駆動回路用TFT」と表記する場合がある)をそれぞれ構成するものである。   The silicon layer 241 forms a current thin film transistor 123 (hereinafter sometimes referred to as “pixel TFT”) that is formed at a position corresponding to the actual display region 4 and connected to the pixel electrode 111. The layers 251 and 261 respectively constitute P-channel and N-channel thin film transistors (hereinafter sometimes referred to as “driving circuit TFTs”) in the scanning line driving circuit 105.

ゲート絶縁層282の形成は、プラズマCVD法、熱酸化法等により、各シリコン層241,251,261及び下地保護層281を覆う厚さ約30nm〜200nmのシリコン酸化膜を形成することにより行う。ここで、熱酸化法を利用してゲート絶縁層282を形成する際には、シリコン層241,251,261の結晶化も行い、これらのシリコン層をポリシリコン層とすることができる。チャネルドープを行う場合には、例えば、このタイミングで約1×1012cm-2のドーズ量でボロンイオンを打ち込む。その結果、シリコン層241,251,261は、不純物濃度が約1×10-17cm-3の低濃度P型のシリコン層となる。 The gate insulating layer 282 is formed by forming a silicon oxide film having a thickness of about 30 nm to 200 nm covering the silicon layers 241, 251, 261 and the base protective layer 281 by plasma CVD, thermal oxidation, or the like. Here, when the gate insulating layer 282 is formed by using the thermal oxidation method, the silicon layers 241, 251, 261 are also crystallized, and these silicon layers can be formed into polysilicon layers. When channel doping is performed, for example, boron ions are implanted at a dose of about 1 × 10 12 cm −2 at this timing. As a result, the silicon layers 241, 251, 261 are low-concentration P-type silicon layers having an impurity concentration of about 1 × 10 −17 cm −3 .

次に、図6(c)に示すように、シリコン層241,261の一部にイオン注入選択マスクM1を形成し、この状態でリンイオンを約1×1015cm-2のドーズ量でイオン注入する。その結果、イオン注入選択マスクM1に対してセルフアライン的に高濃度不純物が導入され、シリコン層241,261中に高濃度ソース領域241S,261S及び高濃度ドレイン領域241D,261Dが形成される。 Next, as shown in FIG. 6C, an ion implantation selection mask M 1 is formed in part of the silicon layers 241 and 261, and in this state, phosphorus ions are ionized at a dose of about 1 × 10 15 cm −2. inject. As a result, the introduction of a self-alignment manner high-concentration impurity to the ion implantation selection mask M 1, the high concentration source region 241S, 261 s and a high concentration drain region 241 D, 261D are formed in the silicon layer 241,261.

その後、図6(d)に示すように、イオン注入選択マスクM1を除去した後に、ゲート絶縁層282上にドープドシリコン、シリサイド膜、或いはアルミニウム膜やクロム膜、タンタル膜といった厚さ約200nm程度の金属膜を形成し、更にこの金属膜をパターニングすることにより、Pチャネル型の駆動回路用TFTのゲート電極252、画素用TFTのゲート電極242、Nチャネル型の駆動回路用TFTのゲート電極262を形成する。また、上記パターニングにより、走査線駆動回路用信号配線105a、発光用電源配線の第1配線103R1,103G1,103B1、陰極用配線12aの一部を同時に形成する。 Thereafter, as shown in FIG. 6D, after removing the ion implantation selection mask M 1 , a thickness of about 200 nm such as doped silicon, silicide film, aluminum film, chromium film, or tantalum film is formed on the gate insulating layer 282. By forming a metal film of a certain degree and patterning this metal film, a gate electrode 252 of a P-channel type driving circuit TFT, a gate electrode 242 of a pixel TFT, and a gate electrode of an N-channel type driving circuit TFT 262 is formed. Further, by the patterning, a part of the scanning line driving circuit signal wiring 105a, the light emitting power supply wirings 103R 1 , 103G 1 , 103B 1 and the cathode wiring 12a are simultaneously formed.

更に、ゲート電極242,252,262をマスクとし、シリコン層241,251,261に対してリンイオンを約4×1013cm-2のドープ量でイオン注入する。その結果、ゲート電極242,252,262に対してセルフアライン的に低濃度不純物が導入され、図6(d)に示すように、シリコン層241,261中に低濃度ソース領域241b,261b、及び低濃度ドレイン領域241c,261cが形成される。また、シリコン層251中に低濃度不純物領域251S,251Dが形成される。 Further, using the gate electrodes 242, 252, and 262 as masks, phosphorus ions are implanted into the silicon layers 241, 251, and 261 at a doping amount of about 4 × 10 13 cm −2 . As a result, low-concentration impurities are introduced in a self-aligned manner with respect to the gate electrodes 242, 252 and 262, and as shown in FIG. 6D, the low-concentration source regions 241b and 261b and the silicon layers 241 and 261, and Low concentration drain regions 241c and 261c are formed. In addition, low concentration impurity regions 251S and 251D are formed in the silicon layer 251.

次に、図7(a)に示すように、ゲート電極252の周辺を除く全面にイオン注入選択マスクM2を形成する。このイオン注入選択マスクM2を用いて、シリコン層251に対してボロンイオンを約1.5×1015cm-2のドープ量でイオン注入する。結果として、ゲート電極252もマスクとして機能し、シリコン層252中にセルフアライン的に高濃度不純物がドープされる。これにより251S及び251Dがカウンタードープされ、P型チャネル型の駆動回路用TFTのソース領域及びドレイン領域となる。 Next, as shown in FIG. 7A, an ion implantation selection mask M 2 is formed on the entire surface excluding the periphery of the gate electrode 252. Using this ion implantation selection mask M 2 , boron ions are implanted into the silicon layer 251 with a doping amount of about 1.5 × 10 15 cm −2 . As a result, the gate electrode 252 also functions as a mask, and the silicon layer 252 is doped with high-concentration impurities in a self-aligning manner. As a result, 251S and 251D are counter-doped and become a source region and a drain region of a TFT for a P-type channel type driver circuit.

そして、図7(b)に示すように、イオン注入選択マスクM2を除去した後に、基板2の全面に第2層間絶縁層283を形成し、更にフォトリソグラフィ法により第2層間絶縁層283をパターニングして、各TFTのソース電極及びドレイン電極並びに陰極用配線12aに対応する位置にコンタクトホール形成用の孔H1を設ける。次に、図7(c)に示すように、第2層間絶縁層283を覆うように、アルミニウム、クロム、タンタル等の金属からなる厚さ約200nmないし800nm程度の導電層504を形成することにより、先に形成した孔H1にこれらの金属を埋め込んでコンタクトホールを形成する。更に導電層504上にパターニング用マスクM3を形成する。 Then, as shown in FIG. 7B, after removing the ion implantation selection mask M 2 , a second interlayer insulating layer 283 is formed on the entire surface of the substrate 2, and the second interlayer insulating layer 283 is further formed by photolithography. By patterning, a hole H 1 for forming a contact hole is provided at a position corresponding to the source electrode and drain electrode of each TFT and the cathode wiring 12a. Next, as shown in FIG. 7C, a conductive layer 504 having a thickness of about 200 nm to 800 nm made of a metal such as aluminum, chromium, or tantalum is formed so as to cover the second interlayer insulating layer 283. Then, these holes are embedded in the previously formed hole H 1 to form a contact hole. Further, a patterning mask M 3 is formed on the conductive layer 504.

次に、図8(a)に示すように、導電層504をパターニング用マスクM3によってパターニングし、各TFTのソース電極243,253,263、ドレイン電極244,254、各発光用電源配線の第2配線103R2,103G2,103B2、走査線回路用電源配線105b、及び陰極用配線12aを形成する。上記のように、第1配線103R1及び103B1を陰極用配線12aと同じ階層に離間して形成することで、第2の静電容量C2が形成される。 Next, as shown in FIG. 8A, the conductive layer 504 is patterned with the patterning mask M 3 , and the source electrodes 243, 253, 263, the drain electrodes 244, 254, and the light-emitting power supply wirings of the respective TFTs are patterned. Two wirings 103R 2 , 103G 2 , 103B 2 , a scanning line power supply wiring 105b, and a cathode wiring 12a are formed. As described above, the second capacitance C 2 is formed by forming the first wirings 103R 1 and 103B 1 apart from each other in the same layer as the cathode wiring 12a.

以上の工程が終了すると、図8(b)に示すように、第2層間絶縁層283を覆う第1層間絶縁層284を、例えばアクリル系などの樹脂材料によって形成する。この第1層間絶縁層284は、約1〜2μm程度の厚さに形成されることが望ましい。次に、図8(c)に示すように、第1層間絶縁層284のうち、画素用TFTのドレイン電極244に対応する部分をエッチングによって除去してコンタクトホール形成用の孔H2を形成する。このとき、同時に陰極用配線12a上の第1層間絶縁層284も除去する。このようにして、基板2上に回路部11が形成される。 When the above steps are completed, as shown in FIG. 8B, a first interlayer insulating layer 284 that covers the second interlayer insulating layer 283 is formed of a resin material such as acrylic. The first interlayer insulating layer 284 is preferably formed to a thickness of about 1 to 2 μm. Next, as shown in FIG. 8C, a portion corresponding to the drain electrode 244 of the pixel TFT in the first interlayer insulating layer 284 is removed by etching to form a contact hole forming hole H 2 . . At the same time, the first interlayer insulating layer 284 on the cathode wiring 12a is also removed. In this way, the circuit unit 11 is formed on the substrate 2.

次に、図9を参照して、回路部11上に表示画素部3を形成することにより電気光学装置1を得る手順について説明する。図9に示す断面図は、図2中のA−A′線に沿う断面に対応している。まず、図9(a)に示すように、基板2の全面を覆うようにITO等の透明電極材料からなる薄膜を形成し、この薄膜をパターニングすることにより、第1層間絶縁層284に設けた孔H2を埋めてコンタクトホール111aを形成するとともに、画素電極111及びダミー画素電極111′を形成する。画素電極111は、カレント薄膜トランジスタ123の形成部分のみに形成され、コンタクトホール111aを介してカレント薄膜トランジスタ123(スイッチング素子)に接続される。尚、ダミー電極111′は島状に配置される。 Next, a procedure for obtaining the electro-optical device 1 by forming the display pixel unit 3 on the circuit unit 11 will be described with reference to FIG. The cross-sectional view shown in FIG. 9 corresponds to a cross section taken along the line AA ′ in FIG. First, as shown in FIG. 9A, a thin film made of a transparent electrode material such as ITO is formed so as to cover the entire surface of the substrate 2, and this thin film is patterned to provide the first interlayer insulating layer 284. to form a contact hole 111a to fill the holes H 2, to form a pixel electrode 111 and the dummy pixel electrode 111 '. The pixel electrode 111 is formed only in a portion where the current thin film transistor 123 is formed, and is connected to the current thin film transistor 123 (switching element) through the contact hole 111a. The dummy electrode 111 ′ is arranged in an island shape.

次に、図9(b)に示すように、第1層間絶縁層284、画素電極111、及びダミー画素電極111′上に無機物バンク層122a及びダミー無機物バンク層212aを形成する。無機物バンク層122aは、画素電極111の一部が開口する態様にて形成し、ダミー無機物バンク層212aはダミー画素電極111′を完全に覆うように形成する。無機物バンク層122a及びダミー無機物バンク層212aは、例えばCVD法、TEOS法、スパッタ法、蒸着法等によって第1層間絶縁層284及び画素電極111の全面にSiO2、TiO2、SiN等の無機物膜を形成した後に、当該無機物膜をパターニングすることにより形成する。 Next, as shown in FIG. 9B, the inorganic bank layer 122a and the dummy inorganic bank layer 212a are formed on the first interlayer insulating layer 284, the pixel electrode 111, and the dummy pixel electrode 111 ′. The inorganic bank layer 122a is formed so that a part of the pixel electrode 111 is opened, and the dummy inorganic bank layer 212a is formed so as to completely cover the dummy pixel electrode 111 ′. The inorganic bank layer 122a and the dummy inorganic bank layer 212a are formed of an inorganic film such as SiO 2 , TiO 2 , or SiN on the entire surface of the first interlayer insulating layer 284 and the pixel electrode 111 by, for example, CVD, TEOS, sputtering, or vapor deposition. After forming, the inorganic film is formed by patterning.

更に、図9(b)に示すように、無機物バンク層122a及びダミー無機物バンク層212a上に、有機物バンク層122b及びダミー有機物バンク層212bを形成する。有機物バンク層122bは、無機物バンク層122aを介して画素電極111の一部が開口する態様にて形成し、ダミー有機物バンク層212bはダミー無機物バンク層212aの一部が開口する態様にて形成する。このようにして、第1層間絶縁層284上にバンク部122を形成する。   Further, as shown in FIG. 9B, the organic bank layer 122b and the dummy organic bank layer 212b are formed on the inorganic bank layer 122a and the dummy inorganic bank layer 212a. The organic bank layer 122b is formed in a mode in which a part of the pixel electrode 111 is opened through the inorganic bank layer 122a, and the dummy organic bank layer 212b is formed in a mode in which a part of the dummy inorganic bank layer 212a is opened. . In this way, the bank part 122 is formed on the first interlayer insulating layer 284.

続いて、バンク部122の表面に、親液性を示す領域と、撥液性を示す領域を形成する。本実施形態においてはプラズマ処理工程により、各領域を形成するものとしている。具体的に、このプラズマ処理工程は、画素電極111、無機物バンク層122a、及びダミー無機物バンク層212aを親液性にする親液化工程と、有機物バンク層122b及びダミー有機物バンク層212bを撥液性にする撥液化工程とを少なくとも有している。   Subsequently, a region showing lyophilicity and a region showing liquid repellency are formed on the surface of the bank part 122. In the present embodiment, each region is formed by a plasma treatment process. Specifically, in this plasma processing step, the pixel electrode 111, the inorganic bank layer 122a, and the dummy inorganic bank layer 212a are made lyophilic, and the organic bank layer 122b and the dummy organic bank layer 212b are made lyophobic. At least a liquid repellency step.

即ち、バンク部122を所定温度(例えば70〜80℃程度)に加熱し、次いで親液化工程として大気雰囲気中で酸素を反応ガスとするプラズマ処理(O2プラズマ処理)を行う。続いて、撥液化工程として大気雰囲気中で4フッ化メタンを反応ガスとするプラズマ処理(CF4プラズマ処理)を行い、プラズマ処理のために加熱されたバンク部122を室温まで冷却することで、親液性及び撥液性が所定箇所に付与されることとなる。 That is, the bank unit 122 is heated to a predetermined temperature (for example, about 70 to 80 ° C.), and then plasma processing using oxygen as a reactive gas (O 2 plasma processing) is performed in an air atmosphere as a lyophilic process. Subsequently, as a lyophobic process, plasma treatment using CF 4 as a reactive gas (CF 4 plasma treatment) is performed in an air atmosphere, and the bank 122 heated for the plasma treatment is cooled to room temperature. The lyophilic property and the liquid repellency are imparted to a predetermined location.

更に、画素電極111上及びダミー無機物バンク層212a上にそれぞれ、発光層110及びダミー発光層210をインクジェット法により形成する。発光層110並びにダミー発光層210は、正孔注入/輸送層材料を含む組成物インクを吐出・乾燥した後に、発光層材料を含む組成物インクを吐出・乾燥することにより形成される。尚、この発光層110及びダミー発光層210の形成工程以降は、正孔注入/輸送層及び発光層の酸化を防止すべく、窒素雰囲気、アルゴン雰囲気等の不活性ガス雰囲気で行うことが好ましい。   Further, a light emitting layer 110 and a dummy light emitting layer 210 are formed on the pixel electrode 111 and the dummy inorganic bank layer 212a, respectively, by an inkjet method. The light emitting layer 110 and the dummy light emitting layer 210 are formed by ejecting and drying a composition ink containing a hole injection / transport layer material and then ejecting and drying a composition ink containing a light emitting layer material. In addition, it is preferable to perform after the formation process of this light emitting layer 110 and the dummy light emitting layer 210 in inert gas atmospheres, such as nitrogen atmosphere and argon atmosphere, in order to prevent the oxidation of a positive hole injection / transport layer and a light emitting layer.

次に、図9(c)に示すように、バンク部122、発光層110、及びダミー発光層210を覆う陰極12を形成する。陰極12は、バンク部122、発光層110、及びダミー発光層210上に陰極層12bを形成した後に、陰極層12bを覆って基板2上の陰極用配線12aに接続される反射層12cを形成することにより得られる。このように、反射層12cを陰極用配線12aに接続させるべく反射層12cを表示画素部3から基板2上に延出させることにより、反射層12cが第1層間絶縁層284を介して発光用電源配線103に対向配置され、反射層12c(陰極)と発光用電源配線103との間に第1の静電容量C1が形成される。最後に、基板2にエポキシ樹脂等の封止材13を塗布し、この封止材13を介して基板2に封止基板14を接合する。このようにして、図1〜図4に示すような電気光学装置1が得られる。 Next, as shown in FIG. 9C, the cathode 12 covering the bank part 122, the light emitting layer 110, and the dummy light emitting layer 210 is formed. In the cathode 12, the cathode layer 12 b is formed on the bank portion 122, the light emitting layer 110, and the dummy light emitting layer 210, and then the reflective layer 12 c that covers the cathode layer 12 b and is connected to the cathode wiring 12 a on the substrate 2 is formed. Can be obtained. In this manner, the reflective layer 12c is extended from the display pixel portion 3 onto the substrate 2 so as to connect the reflective layer 12c to the cathode wiring 12a, whereby the reflective layer 12c emits light through the first interlayer insulating layer 284. A first capacitance C 1 is formed between the reflective layer 12 c (cathode) and the light-emitting power supply wiring 103 so as to face the power supply wiring 103. Finally, a sealing material 13 such as an epoxy resin is applied to the substrate 2, and the sealing substrate 14 is bonded to the substrate 2 through the sealing material 13. In this way, the electro-optical device 1 as shown in FIGS. 1 to 4 is obtained.

このようにして製造された電気光学装置、CPU(中央処理装置)等を備えたマザーボード、キーボード、ハードディスク等の電子部品を筐体内に組み込むことで、例えば図10に示すノート型のパーソナルコンピュータ600(電子機器)が製造される。図10は、本発明の一実施形態による電気光学装置を備える電子機器の一例を示す図である。尚、図10において601は筐体であり、602は液晶表示装置であり、603はキーボードである。図11は、他の電子機器としての携帯電話機を示す斜視図である。図11に示した携帯電話機700は、アンテナ701、受話器702、送話器703、液晶表示装置704、及び操作釦部705等を備えて構成されている。   By incorporating electronic components such as an electro-optical device, a motherboard including a CPU (central processing unit), a keyboard, and a hard disk manufactured in this manner into a housing, for example, a notebook personal computer 600 (see FIG. 10) ( Electronic device) is manufactured. FIG. 10 is a diagram illustrating an example of an electronic apparatus including the electro-optical device according to the embodiment of the invention. In FIG. 10, reference numeral 601 denotes a housing, 602 denotes a liquid crystal display device, and 603 denotes a keyboard. FIG. 11 is a perspective view showing a mobile phone as another electronic apparatus. A cellular phone 700 illustrated in FIG. 11 includes an antenna 701, a receiver 702, a transmitter 703, a liquid crystal display device 704, an operation button unit 705, and the like.

また、上記実施形態では、電子機器としてノート型コンピュータ及び携帯電話機を例に挙げて説明したが、これらに限らず、液晶プロジェクタ、マルチメディア対応のパーソナルコンピュータ(PC)及びエンジニアリング・ワークステーション(EWS)、ページャ、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子手帳、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、POS端末、タッチパネルを備えた装置等の電子機器に適用することが可能である。
〔発明の効果〕
In the above-described embodiment, a notebook computer and a mobile phone have been described as examples of electronic devices. However, the present invention is not limited to these, and a liquid crystal projector, a multimedia-compatible personal computer (PC), and an engineering workstation (EWS). It can be applied to electronic devices such as pagers, word processors, televisions, viewfinder type or monitor direct-view type video tape recorders, electronic notebooks, electronic desk calculators, car navigation devices, POS terminals, and devices equipped with touch panels. .
〔The invention's effect〕

以上説明したように、本発明によれば、陰極用配線が基体の外周をなす複数の辺に沿って延在するとともに、基体の外周と駆動回路との間に設けられているため、電源配線から第1電極を介して発光素子に供給された電流が陰極用配線に流れるときに生ずる電圧降下を小さく抑えることができるという効果がある。この結果として、画像信号の供給が安定化してコントラスト低下等の画像表示の異常を抑えることができるという効果がある。
As described above, according to the present invention, the cathode wiring extends along a plurality of sides forming the outer periphery of the substrate and is provided between the outer periphery of the substrate and the drive circuit. Thus, there is an effect that a voltage drop generated when the current supplied to the light emitting element through the first electrode flows through the cathode wiring can be suppressed to a small value. As a result, there is an effect that the supply of image signals is stabilized and image display abnormalities such as contrast reduction can be suppressed.

本発明の一実施形態による電気光学装置の配線構造を模式的に示す図である。1 is a diagram schematically showing a wiring structure of an electro-optical device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態による電気光学装置の平面模式図である。1 is a schematic plan view of an electro-optical device according to an embodiment of the present invention. 図2のA−A′線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the AA 'line of FIG. 図2のB−B′線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the BB 'line of FIG. 画素電極群領域11aの要部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the principal part of the pixel electrode group area | region 11a. 本発明の一実施形態による電気光学装置の製造方法を説明する工程図である。FIG. 6 is a process diagram illustrating a method for manufacturing an electro-optical device according to an embodiment of the invention. 本発明の一実施形態による電気光学装置の製造方法を説明する工程図である。FIG. 6 is a process diagram illustrating a method for manufacturing an electro-optical device according to an embodiment of the invention. 本発明の一実施形態による電気光学装置の製造方法を説明する工程図である。FIG. 6 is a process diagram illustrating a method for manufacturing an electro-optical device according to an embodiment of the invention. 本発明の一実施形態による電気光学装置の製造方法を説明する工程図である。FIG. 6 is a process diagram illustrating a method for manufacturing an electro-optical device according to an embodiment of the invention. 本発明の一実施形態による電気光学装置を備える電子機器の一例を示す図である。1 is a diagram illustrating an example of an electronic apparatus including an electro-optical device according to an embodiment of the invention. 他の電子機器としての携帯電話機を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the mobile telephone as another electronic device.

符号の説明Explanation of symbols

4……実表示領域(有効表示領域)
5……ダミー領域
12……陰極(第2電極)
12a……陰極用配線
101……走査線(制御線)
102……信号線(制御線)
103,103R,103G,103B……発光用電源配線
110,110R,110G,110B……発光素子
110a……正孔注入/輸送層
110……発光層
111……画素電極(第1電極)
112……スイッチング薄膜トランジスタ(スイッチング素子)
123……カレント薄膜トランジスタ(スイッチング素子)


4. Actual display area (effective display area)
5 ... Dummy area 12 ... Cathode (second electrode)
12a …… Wiring for cathode 101 …… Scanning line (control line)
102 …… Signal line (control line)
103, 103R, 103G, 103B... Light emitting power supply wiring 110, 110R, 110G, 110B... Light emitting element 110a... Hole injection / transport layer 110 .. Light emitting layer 111.
112 …… Switching thin film transistor (switching element)
123 …… Current thin film transistor (switching element)


Claims (12)

基体上に、複数の第1電極と、該複数の第1電極の各々に接続されたトランジスタと、が設けられた第1電極群領域と、
前記複数の第1電極に対して共通に設けられた第2電極と、
前記複数の第1電極の各々と前記第2の電極との間に設けられた発光素子と、
前記第1電極領域の外側に設けられた、前記トランジスタに電気信号を供給するための駆動回路と、
前記第1電極に前記トランジスタを介して電源電圧を供給するための第1の配線と、
前記第2電極と全面に亘って重なるように設けられ、且つ前記第2電極と重なる領域において接して設けられた第2の配線と、を含み、
前記第2電極と接して設けられた前記第2の配線は、前記基体の外周をなす複数の辺に沿って延在するとともに、前記基体の外周と駆動回路との間に設けられている、
ことを特徴とする発光装置。
A first electrode group region in which a plurality of first electrodes and a transistor connected to each of the plurality of first electrodes are provided on a base;
A second electrode provided in common to the plurality of first electrodes;
A light emitting device provided between each of the plurality of first electrodes and the second electrode;
A drive circuit for supplying an electric signal to the transistor, provided outside the first electrode region;
A first wiring for supplying a power supply voltage to the first electrode via the transistor;
A second wiring provided so as to overlap the second electrode over the entire surface , and provided in contact with a region overlapping the second electrode,
The second wiring provided in contact with the second electrode extends along a plurality of sides forming the outer periphery of the base and is provided between the outer periphery of the base and a drive circuit.
A light emitting device characterized by that.
請求項1に記載の発光装置であって、
前記第1の配線は、前記基体の外周をなす複数の辺に沿って延在するとともに、前記第2の配線と駆動回路との間に設けられた部分を有することを特徴とする発光装置。
The light-emitting device according to claim 1,
The light emitting device according to claim 1, wherein the first wiring extends along a plurality of sides forming an outer periphery of the base body and includes a portion provided between the second wiring and the drive circuit.
請求項1に記載の発光装置であって、
前記第2の配線は、前記基体の外周をなす複数の辺のうち少なくとも3辺に沿って延在することを特徴とする発光装置。
The light-emitting device according to claim 1,
The light emitting device according to claim 2, wherein the second wiring extends along at least three sides of a plurality of sides forming an outer periphery of the base.
請求項1乃至3のいずれか1項に記載の発光装置であって、
前記第2の配線の線幅が前記第1の配線の線幅よりも広く形成されていることを特徴とする発光装置。
The light-emitting device according to any one of claims 1 to 3,
The light emitting device, wherein a line width of the second wiring is formed wider than a line width of the first wiring.
請求項4に記載の発光装置であって、
前記第2の配線の線幅は、配線全体に亘って、前記第1の配線の線幅よりも広く形成されていることを特徴とする発光装置。
The light-emitting device according to claim 4,
The light emitting device according to claim 1, wherein a line width of the second wiring is formed wider than a line width of the first wiring over the entire wiring.
請求項1乃至5のいずれか1項に記載の発光装置であって、
前記第2の配線と前記第2電極との接続部は、前記第1電極群領域と前記基体の外周をなす複数の辺との間に設けられていることを特徴とする発光装置。
The light-emitting device according to any one of claims 1 to 5,
The connection portion between the second wiring and the second electrode is provided between the first electrode group region and a plurality of sides forming the outer periphery of the base.
請求項6に記載の発光装置であって、
前記第2の配線と前記第2電極との接続部は、前記第1電極群領域と前記基体の外周をなす複数の辺のうち少なくとも3辺との間に設けられていることを特徴とする発光装置。
The light-emitting device according to claim 6,
The connecting portion between the second wiring and the second electrode is provided between the first electrode group region and at least three sides among a plurality of sides forming the outer periphery of the base. Light emitting device.
請求項1乃至7のいずれか1項に記載の発光装置であって、
前記複数の発光素子の各々は、前記複数の第1電極のうち対応する第1電極と前記第2電極との間に設けられ、当該対応する第1電極と前記第2電極との間に電圧が印加されることにより発光する発光層を有し、
前記複数の発光素子は前記発光層の発光色が異なる複数の種類の発光素子を含み、
前記第1の配線は、発光色毎に配線されていることを特徴とする発光装置。
The light-emitting device according to any one of claims 1 to 7,
Each of the plurality of light emitting elements is provided between a corresponding first electrode and the second electrode among the plurality of first electrodes, and a voltage is generated between the corresponding first electrode and the second electrode. Has a light emitting layer that emits light by being applied,
The plurality of light emitting elements include a plurality of types of light emitting elements having different emission colors of the light emitting layer,
The light-emitting device, wherein the first wiring is wired for each emission color.
請求項1乃至8のいずれか1項に記載の発光装置であって、
前記電気信号を前記トランジスタに伝送する複数の制御線を有し、
前記複数の制御線は、前記第1の配線及び前記第2の配線のうち少なくともいずれか一つとは、少なくとも前記基体上において交差しないように配置されていることを特徴とする発光装置。
The light-emitting device according to any one of claims 1 to 8,
A plurality of control lines for transmitting the electrical signal to the transistor;
The light emitting device, wherein the plurality of control lines are arranged so as not to intersect at least one of the first wiring and the second wiring on at least the base.
請求項1乃至9のいずれか1項に記載の発光装置であって、
前記制御線は、前記トランジスタに走査信号を供給するための走査線と、前記トランジスタにデータ信号を供給するためのデータ線と、を含むことを特徴とする発光装置。
The light emitting device according to any one of claims 1 to 9,
The light-emitting device, wherein the control line includes a scanning line for supplying a scanning signal to the transistor and a data line for supplying a data signal to the transistor.
請求項1乃至10のいずれか1項に記載の発光装置であって、
前記発光素子は、正孔注入/輸送層と、有機エレクトロルミネッセンス材料からなる発光層とを積層して形成したものであることを特徴とする発光装置。
The light-emitting device according to any one of claims 1 to 10,
The light emitting device is formed by laminating a hole injection / transport layer and a light emitting layer made of an organic electroluminescent material.
請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。 An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 1.
JP2005218439A 2002-07-18 2005-07-28 LIGHT EMITTING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE Expired - Lifetime JP4325595B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005218439A JP4325595B2 (en) 2002-07-18 2005-07-28 LIGHT EMITTING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002209880 2002-07-18
JP2005218439A JP4325595B2 (en) 2002-07-18 2005-07-28 LIGHT EMITTING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003193671A Division JP4001066B2 (en) 2002-07-18 2003-07-08 Electro-optical device, wiring board, and electronic equipment

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009104811A Division JP2009163272A (en) 2002-07-18 2009-04-23 LIGHT EMITTING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005326885A JP2005326885A (en) 2005-11-24
JP4325595B2 true JP4325595B2 (en) 2009-09-02

Family

ID=35473220

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005218439A Expired - Lifetime JP4325595B2 (en) 2002-07-18 2005-07-28 LIGHT EMITTING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4325595B2 (en)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4980679B2 (en) 2005-11-11 2012-07-18 東ソー株式会社 Titanium complexes, methods for producing them, titanium-containing thin films, and methods for forming them
WO2007066573A1 (en) * 2005-12-05 2007-06-14 Sharp Kabushiki Kaisha Organic electroluminescent panel and organic electroluminescent display
US8896587B2 (en) * 2008-03-31 2014-11-25 Sharp Kabushiki Kaisha Surface-emitting display device
KR102205402B1 (en) 2014-02-05 2021-01-21 삼성디스플레이 주식회사 Organic light-emitting display apparatus
KR102118676B1 (en) 2014-02-05 2020-06-04 삼성디스플레이 주식회사 Organic light-emitting display apparatus
CN114141752A (en) * 2021-11-25 2022-03-04 Oppo广东移动通信有限公司 Packaged chips, circuit board assemblies and electronic equipment

Also Published As

Publication number Publication date
JP2005326885A (en) 2005-11-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4001066B2 (en) Electro-optical device, wiring board, and electronic equipment
JP3818261B2 (en) LIGHT EMITTING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE
JP5169754B2 (en) Display device and electronic device
JP2009163272A (en) LIGHT EMITTING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE
JP3726803B2 (en) Organic EL display device and electronic device
JP5999218B2 (en) Electro-optical device and electronic apparatus
JP4325595B2 (en) LIGHT EMITTING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE
JP2004102246A (en) Electro-optical device, wiring board and electronic equipment
JP2003288987A (en) Light emitting device and electronic equipment
JP4265210B2 (en) Organic EL device and electronic device
JP2004062164A (en) Electro-optical devices and electronic equipment
CN100418221C (en) Electro-optical devices and electronic instruments

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050728

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080730

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080808

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081003

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20081125

C60 Trial request (containing other claim documents, opposition documents)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60

Effective date: 20081222

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090120

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20090129

C21 Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21

Effective date: 20090203

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090224

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090424

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090519

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090601

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120619

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4325595

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130619

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140619

Year of fee payment: 5

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term