JPS6073307A - Positioning apparatus of surface - Google Patents

Positioning apparatus of surface

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JPS6073307A
JPS6073307A JP18052283A JP18052283A JPS6073307A JP S6073307 A JPS6073307 A JP S6073307A JP 18052283 A JP18052283 A JP 18052283A JP 18052283 A JP18052283 A JP 18052283A JP S6073307 A JPS6073307 A JP S6073307A
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JP
Japan
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image
pattern
signal
positioning
bright spot
Prior art date
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JP18052283A
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Japanese (ja)
Inventor
Yasutomo Fujimori
康朝 藤森
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
    • G03F9/70Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
    • G03F9/7088Alignment mark detection, e.g. TTR, TTL, off-axis detection, array detector, video detection

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

PURPOSE:To effect improvement of positioning accuracy with reduced image distortion of display unit and effect due to visually viewed angle difference, by allowing the reference position pattern originated from a reference pattern generator to be displayed in an overlapped manner with an image signal of each reflection bright point image by the positioning symmetrical planes obtained in the image developing member. CONSTITUTION:An image signal of reflection bright point images on two points an positioning symmetrical planes developed by a camera constructed of an oscillator 73 delivering clock signal CLK, horizontal synchronizing signal HT, and vertical synchronizing VT to ITV71, ITV driving circuit 72 is supplied to an overlapping circuit 9. Further, a marker pattern signal is supplied to the circuit 9 which indicates the reference position from a pattern generator 10 and upon overlapping with the image signal, it is displayed on a TV monitor 8. Accordingly, even if at an image distortion caused by horizontal as well as vertical scanning voltage fluctuations, etc., positions of bright point image and marker pattern will not be deviated and high accuracy positioning becomes available.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、例えばレーザ加工装置において加工用レーザ
光の発振器と被加工物表面との相対位置を合わせるため
に使用する面の位置決め装置の改良に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention relates to an improvement in a surface positioning device used for adjusting the relative position of a processing laser beam oscillator and a workpiece surface in a laser processing device, for example. .

〔発明の技術的背景〕[Technical background of the invention]

レーザ光を被加工物に照射して例えば切断加工を行なう
場合、レーザ発振器と被加工物表面との距離が変化した
シ、被加工物表面が傾斜してい否と、加工条件が変化し
て加工結果にパラつきを生じ好ましくない。そこで従来
では、レーザ発振器と被加工物との距離が一定になるよ
うに、また被加工物表面に対するレーデ光の照射角度が
表面の形状に関係なく一定となるように、加工前にレー
ザ発振器あるいは被加工物の最適相対位置をNC装置に
ティーチングするようにしている。第1図および第2図
は、上記最適相対位置をめるための従来の位置決め装置
を説明するための図である。この装置は、光源1で発生
した光ビーム2aをノーーフミラー3で2分割したのち
反射ミラー4,5により反射させてそれぞれ被加工物6
の表面に照射する。このとき、上記各光ビーム2b、2
eは、光路中の1点Aで交差するように光路を設定する
。そして、上記各光ビーム2b、2cの被加工物6表面
による反射輝点像B、Cを撮像装置7で撮像し、その撮
像画像をテレビシコンモニタ8に表示する。
When cutting a workpiece by irradiating it with a laser beam, for example, if the distance between the laser oscillator and the workpiece surface changes, or if the workpiece surface is tilted, the processing conditions will change and the process will be interrupted. This is not preferable as it causes variations in the results. Conventionally, the laser oscillator or The optimal relative position of the workpiece is taught to the NC device. FIGS. 1 and 2 are diagrams for explaining a conventional positioning device for determining the above-mentioned optimal relative position. In this device, a light beam 2a generated by a light source 1 is divided into two parts by a noof mirror 3, and then reflected by reflection mirrors 4 and 5, each of which is applied to a workpiece 6.
irradiate the surface of At this time, each of the light beams 2b, 2
For e, the optical path is set so that it intersects at one point A in the optical path. Then, the reflected bright spot images B and C of the light beams 2b and 2c on the surface of the workpiece 6 are captured by the imaging device 7, and the captured images are displayed on the television monitor 8.

このトキ、テレビジョンモニタ8の画面上には、上記各
反射輝点@BeCが本来表示されるべき基準位置を示す
マーカ・ぐターンB/、C/と、上記なお、第2図では
上記各光ビームの交差点位置を二点鎖線で示している。
On the screen of the television monitor 8, there are markers B/, C/ indicating the reference positions where each of the above-mentioned reflective bright spots @BeC should originally be displayed. The intersection position of the light beams is indicated by a chain double-dashed line.

そして、上記マーカパターンB/、 CIの位置に上記
撮像部#i、7によシ掃鍬された各反射輝点像B、Cを
一致させるべく、例えば被加工物6の位置を調整するこ
とによりレーザ発振器と被加工物6表面との距離および
レーザ光の照射角度を一定にするようにしている。
Then, the position of the workpiece 6 is adjusted, for example, in order to match the reflected bright spot images B and C swept by the imaging units #i and 7 with the positions of the marker patterns B/ and CI. Thus, the distance between the laser oscillator and the surface of the workpiece 6 and the irradiation angle of the laser beam are kept constant.

〔背景技術の問題点〕[Problems with background technology]

ところが、このような従来の位置決め装置は、基準位置
を示すマーカ・母ターンB/、c/をテレビシコンモニ
タ8の画面に記載し、これと表示画像とを比較するよう
にしているので、テレビジョンモニタ8の水平あるいは
垂直走査電圧等の変動によシ画像歪や表示位置ずれを生
じると、表示画像と基準位置マーカパターンとの間の対
画面に対する目視角匿によっても表示画像とマーカパタ
ーンとの位置が変化するため、位置決め精度が安定しな
い欠点があった。
However, in such a conventional positioning device, the markers/mother turns B/, c/ indicating the reference position are written on the screen of the television control monitor 8, and this is compared with the displayed image. If image distortion or display position shift occurs due to fluctuations in the horizontal or vertical scanning voltage of the John monitor 8, the display image and marker pattern may be distorted due to the viewing angle between the display image and the reference position marker pattern relative to the screen. Since the position of the position changes, the positioning accuracy is unstable.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明は、表示部の画像歪や目視角度の違いによる影響
を低減して位ぬ′決め精度の向上をはかった面の位置決
め装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a surface positioning device that improves positioning accuracy by reducing the effects of image distortion on a display unit and differences in viewing angles.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

本発明は、上記目的を達成するために、基準位置パター
ンを発生する基準パターン発生部を設け、これにより発
生された基準位置ノ母ターンを、撮像部で得られた位置
決め対象面による各反射輝点像の画像信号に重畳して表
示部に表示するようにしたものである。
In order to achieve the above object, the present invention provides a reference pattern generating section that generates a reference position pattern, and generates a standard turn of the reference position generated by the reference pattern generating section for each reflected brightness by the positioning target surface obtained by the imaging section. This is superimposed on the point image image signal and displayed on the display unit.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

第3図は、本発明の一実施例における位置決め装置4の
構成を示す図である。なお同図において前記第1図と同
一部分には同一符号を付して詳しい説明は省略する。
FIG. 3 is a diagram showing the configuration of the positioning device 4 in one embodiment of the present invention. In this figure, the same parts as those in FIG. 1 are given the same reference numerals and detailed explanations will be omitted.

撮1g!装M7は、工業用テレビジョン(ITV )カ
メラ71と、このITVカメラ71を駆動するITV駆
動回路72と、とのITV駆動回路72の動作に必要な
りロック信号CLK 、水平同期信号HTおよび垂直同
期41号VTを発生する発振器73とから構成されてい
る。そして、ITVカメラ71で撮像された各反射輝点
像B p C参Φ与奏葉典澁滲博の画像信号を重畳回路
9に供給している。
1g shot! The device M7 is necessary for the operation of an industrial television (ITV) camera 71 and an ITV drive circuit 72 that drives this ITV camera 71, and is required to operate a lock signal CLK, a horizontal synchronization signal HT, and a vertical synchronization signal. The oscillator 73 generates a No. 41 VT. Then, the image signal of each reflected bright spot image B p C reference Φ Yosoha Noriyoshihiro captured by the ITV camera 71 is supplied to the superimposition circuit 9 .

一方この重畳回路9には、パターン発生装置10からの
基準位置を示すマーカパターン信号が供給されるように
なっている。この/’Pターン発生装置10は、第4図
に示す如く上記マーカパターンを記憶したパターンメモ
リ1ノと、前記撮像装置7の発振器73から発生される
クロック信号CLK 、水平同期信号HTおよび垂直同
期信号VTに同期してアドレス情報を発生し、このアド
レス情報によシ上記パターンメモリ11をアクセスして
マーカッやターン係号を出力させるアドレス生成回路1
2とから4・〆j成されている。このアドレス生成回路
12は、例えば垂直同期信号が供給される毎にクロック
信号CLKの計数を開始して垂直方向のアドレス情報を
発生する第1のカウンタと、水平同期信号が入力される
毎にクロック信号CLKの引数を開始して水平方向のア
ドレス情報を発生する第2のカウンタとからなっている
On the other hand, this superimposition circuit 9 is supplied with a marker pattern signal indicating a reference position from a pattern generator 10. As shown in FIG. 4, this /'P turn generation device 10 includes a pattern memory 1 storing the marker pattern, a clock signal CLK generated from an oscillator 73 of the imaging device 7, a horizontal synchronization signal HT, and a vertical synchronization signal. An address generation circuit 1 that generates address information in synchronization with the signal VT, accesses the pattern memory 11 based on this address information, and outputs a marker or a turn code.
It is made up of 2 and 4. This address generation circuit 12 includes, for example, a first counter that starts counting a clock signal CLK to generate vertical address information every time a vertical synchronization signal is supplied, and a first counter that starts counting a clock signal CLK to generate vertical address information every time a horizontal synchronization signal is input. and a second counter that starts the argument of the signal CLK and generates horizontal address information.

前記重畳回路9は、前記撮像装置7からの画像信号と前
記ノ9ターン発生装置10からのマーカツヤターン信号
とを相互に重畳するもので、そのM畳量力信号をテレビ
−)=1ンモニタ(TVモニタ)8に供給し表示するよ
うにしている。
The superimposing circuit 9 mutually superimposes the image signal from the image pickup device 7 and the marker gloss turn signal from the nine turn generator 10, and converts the M amount signal to the TV-)=1-n monitor ( (TV monitor) 8 for display.

このよう々(構成であるから、撮像装置7の発振器73
からクロック信号CLK 、水平および垂直各同期信号
HT、VTを発生させて、■TVカメラ71を駆動する
とともに、光源(例えばレーザ発振器)1から光ビーム
を発生させると、各光ビーム2a、2bの被加工物6表
面による反射輝点像B、CがITVカメラ71で撮像さ
れ、その撮像画像信号が重畳回路9に導入される。
Since the configuration is like this, the oscillator 73 of the imaging device 7
A clock signal CLK and horizontal and vertical synchronization signals HT and VT are generated from 1 to drive the TV camera 71, and a light beam is generated from the light source (for example, a laser oscillator) 1, each of the light beams 2a and 2b is Bright spot images B and C reflected by the surface of the workpiece 6 are captured by an ITV camera 71, and the captured image signal is introduced into the superimposition circuit 9.

一方、上記発振器73から各信号CLK t HT+V
Tが発生されると、ノやターン発生装置fi、10のア
ドレス生成回路12からアドレス情報が発生されてツク
ターンメモリ11がアクセスされ、これによりノぐター
ンメモリ11からマーカパターン信号が出力されて重畳
回路9に導入される。
On the other hand, each signal CLK t HT+V from the oscillator 73
When T is generated, address information is generated from the address generation circuit 12 of the turn generation device fi and 10, and the turn memory 11 is accessed, whereby a marker pattern signal is output from the turn turn memory 11. It is introduced into the superimposition circuit 9.

この結果、重畳回路9では、前記各反射輝点像と上記マ
ーカ・やターンとが相互にN脣され、その出力信号がT
Vモニタ8に表示される。すなわち、TVモニタ8には
、各反射輝点像とマーカパターンとが同一の条件のもと
にそれぞれ画像表示されることになる。したがって、仮
にTVモニタ8の水平および手直の各走査電圧の変動等
によシ画像歪が発生したとしても、この歪は各輝点像に
もまたマーカッ臂ターンにも等しく加わることになるだ
め、上記歪による各輝点像とマーカッ!ターンとの間の
位置ずれは略零となる・第5図は、本実施例における各
輝点像およびマーカパターンの表示状態の一例を示すも
ので、B、Cが各反射輝点像を、またA’ # B’ 
tC′がマーカパターンをそれぞれ示している。なお、
二点鎖線Aは、各党ビームの交差点Aの位置を示すため
に説明の便宜上水したもので1実際には表示されない。
As a result, in the superimposing circuit 9, each reflected bright spot image and the marker/turn are mutually N ranged, and the output signal is T.
displayed on the V monitor 8. That is, each reflected bright spot image and the marker pattern are displayed on the TV monitor 8 under the same conditions. Therefore, even if image distortion were to occur due to fluctuations in the horizontal and vertical scanning voltages of the TV monitor 8, this distortion would be equally applied to each bright spot image and the marker's arm turn. , each bright spot image and marker due to the above distortion! The positional deviation between the turn and the turn is approximately zero. ・Figure 5 shows an example of the display state of each bright spot image and marker pattern in this embodiment, and B and C represent each reflected bright spot image, Also A' # B'
tC' indicates each marker pattern. In addition,
The two-dot chain line A is drawn for convenience of explanation to indicate the position of the intersection A of each party beam, and is not actually displayed.

そうして、各輝点像およびマーカッ!ターンの表示がな
されると、各輝点像B、Cの表示をマーカパターンB’
、C’の位置と一致させるべく被加工物6の位置を移動
させる。例えば、第6図(、)のように各反射輝点像B
、Cの位置がマーカパターンB/、C/の位置よルも外
側にある場合には、被加工物6の位置を撮像装置に向か
って図中二点鎖紳■の位置へ移動させることにより、位
置決めを行なう。また、第6図(b)のように反射)′
4点像B、Cの位置と交差輝点像Aの位置との間隔dl
、d2が異なる場合には、被加工物6表面の角度を同図
二点鎮総!@に示す如く修正することにより位置決めを
行なう。そして、最終の位1直決め位置の情報を図示し
ないNC装置に入力し、仮のレーザ切削加工における被
加工物支持テーブル(図示せず)の位置制御情報とする
Then, each bright spot image and marker! When a turn is displayed, each bright spot image B and C is displayed as a marker pattern B'
, C' is moved to match the position of the workpiece 6. For example, as shown in Fig. 6(,), each reflected bright spot image B
, C is also outside the marker patterns B/ and C/, by moving the position of the workpiece 6 toward the imaging device to the position indicated by the double-dot chain in the figure. , performs positioning. Also, as shown in Figure 6(b), the reflection)'
Distance dl between the positions of the four-point images B and C and the position of the cross-bright spot image A
, d2 are different, the angle of the surface of the workpiece 6 is fixed at two points in the same figure! Positioning is performed by making corrections as shown at @. Then, information on the final position is inputted to an NC device (not shown), and is used as position control information for a workpiece support table (not shown) in temporary laser cutting.

このように、本実施例の装置であれば、位置(丸め時の
基準と々るマーカパターンを各輝点像の画像信号に重畳
して同一の条件でTVモニタ8に表示するようにしたの
で、画像歪による各輝点像とマーカパターンとの間の表
示位置ずれをなくすことができ、またTVモニタ8の画
面に対する目視角度の違いによる位置ずれをなくすこと
ができるから、従来に比べて高精度の位置決めを行なう
ことができる。
In this way, with the device of this embodiment, the position (reference mark pattern for rounding) is superimposed on the image signal of each bright spot image and displayed on the TV monitor 8 under the same conditions. , it is possible to eliminate display positional deviations between each bright spot image and the marker pattern due to image distortion, and it is also possible to eliminate positional deviations due to differences in viewing angle with respect to the screen of the TV monitor 8. Accurate positioning can be performed.

なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではない
。例えば、前記実施例では2本の光 ″□ビーム2a 
、2bを用いて被加工物6の1方向の傾きのみを修正可
能としたが、必要に応じて4本の光ビームを互いに90
°の間隔を有して被加工物60表面に照射し、被加工物
6の2方向の傾きを修正可能としてもよい。その他、マ
ーカパターンの種類や撮像部の構成(例えば固体撮像装
置を用いたもの)、基準位置パターン発生部の構成、光
ビームの種類、位置決め対象となる面の種類等について
も、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々袈形して実施
できる。
Note that the present invention is not limited to the above embodiments. For example, in the above embodiment, two beams ``□ beam 2a
, 2b can be used to correct the inclination of the workpiece 6 in only one direction, but if necessary, the four light beams can be adjusted at 90 degrees
It may be possible to irradiate the surface of the workpiece 60 with an interval of 100° to correct the inclination of the workpiece 6 in two directions. In addition, the gist of the present invention also includes the types of marker patterns, the configuration of the imaging unit (for example, those using a solid-state imaging device), the configuration of the reference position pattern generation unit, the types of light beams, the types of surfaces to be positioned, etc. It can be implemented in various ways without departing from the above.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上詳述したように本発明は、基準位置を示すパターン
を各反射輝点像の画像信号に重畳して表示部に画像表示
するようにしたので、表示部の画像歪や目視角度の違い
による影響を低減して位置決め精度の向上をはかり得る
面の位置決め装置を提供することができる。
As described in detail above, the present invention displays the image on the display unit by superimposing the pattern indicating the reference position on the image signal of each reflected bright spot image. It is possible to provide a surface positioning device that can reduce the influence and improve positioning accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図および第2図は従来における位置決め装置を説明
するだめのもので、第1図は同装置の概略イlI成図、
第2図はテレビジョンモニタの表示状態を示す模式図、
第3図〜第6図(a) t (b)は本発明の一実施例
における位置決め装置を説明するためのもので、第3図
は同装置の概略構成図、第4図は第3図の要部であるパ
ターン発生装置の構成を示すブロック図、第5図は第3
図に示した装置の表示状態の一例を示す模式図、第6図
(a) t (b)は位置決め操作を説明するだめの模
式図である。 1・・・lIL 2a、2b・・・光ビーム、3・・・
ハーフミラ−14,5・・・反射ミラー、6・・・被加
工物、7・・・撮隊装置、8・・・テレビジョンモニタ
、9・・・重畳回路、10・・・パターン発生装置、1
1・・・パターンメモリ、12・・・アドレス生成回路
、71・・・ITVカメラ、72・・・ITV駆動回路
、73・・・発振器、B、C・・・反射輝点像、A/ 
、 B/ 、 C/・・・マーカパターン。
Figures 1 and 2 are for explaining a conventional positioning device, and Figure 1 is a schematic diagram of the device;
Figure 2 is a schematic diagram showing the display state of a television monitor;
3 to 6 (a) and 6 (b) are for explaining a positioning device in one embodiment of the present invention, FIG. 3 is a schematic configuration diagram of the device, and FIG. 4 is a diagram similar to that in FIG. A block diagram showing the configuration of the pattern generator, which is the main part of the
A schematic diagram showing an example of the display state of the device shown in the figure, and FIGS. 6(a) and 6(b) are schematic diagrams for explaining the positioning operation. 1...lIL 2a, 2b...light beam, 3...
Half mirror 14, 5...Reflection mirror, 6...Workpiece, 7...Photography device, 8...Television monitor, 9...Superimposition circuit, 10...Pattern generator, 1
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Pattern memory, 12... Address generation circuit, 71... ITV camera, 72... ITV drive circuit, 73... Oscillator, B, C... Reflected bright spot image, A/
, B/, C/... marker pattern.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 位置決め対象面に対し複数の光ビームを光路中の一点で
相互に交差させて照射する投光部と、前記各党ビームの
位置決め対象面による反射輝点像を撮像する撮像部と、
前記各反射輝点像および前記各党ビームの交差点位置に
対応する基準位置パターンを発生する基準パターン発生
部と、この基準iRターン発生部で発生された基準位置
・ぐターンを前記撮像部によシ撮像された各反射輝点像
の画像信号に重畳して画像表示する表示tτ11とを具
備し、この表示部に表示された各反射輝点像の表示位置
乏基準位置ノ4ターンの表示部1直と一致させるべく前
記位置決め対象面の位置あるいは投光部および撮像部の
位置を相対的に移動させて位置決め対象面の位置決めを
行なうようにしたことを特徴とする面の位1道決め装j
iL。
a light projection unit that irradiates the positioning target surface with a plurality of light beams that intersect with each other at one point in the optical path; and an imaging unit that captures a reflected bright spot image of each beam on the positioning target surface;
a reference pattern generating section that generates a reference position pattern corresponding to the intersection position of each of the reflected bright spot images and each of the party beams; and a reference pattern generating section that generates a reference position pattern generated by the reference iR turn generating section, to the imaging section. A display section 1 of the fourth turn of the display position of each reflected bright spot image displayed on this display section includes a display tτ11 that displays an image superimposed on the image signal of each captured reflected bright spot image. A device for determining the position of a surface, characterized in that the surface to be positioned is positioned by relatively moving the position of the surface to be positioned or the positions of the light projecting unit and the imaging unit so as to match the surface directly.
iL.
JP18052283A 1983-09-30 1983-09-30 Positioning apparatus of surface Pending JPS6073307A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020012746A (en) * 2018-07-19 2020-01-23 日立Geニュークリア・エナジー株式会社 Ultrasonic inspection device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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