SU1006402A1

SU1006402A1 - Method for producing protective coating on surface of glass products

Info

Publication number: SU1006402A1
Application number: SU813300607A
Authority: SU
Inventors: Сергей Самуилович Олевский; Михаил Самуилович Сергеев; Алла Леонидовна Толстихина; Самуил Михайлович Кац; Борис Георгиевич Грибов
Original assignee: Предприятие П/Я Г-4461
Priority date: 1981-06-02
Filing date: 1981-06-02
Publication date: 1983-03-23

Abstract

1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЗАЩИТНОГО ПОКРЫТИЯ НА ПОВЕРХНОСТИ СТЕКЛЯННЫХ ИЗДЕЛИЙ путем нанесени сло углерюда ,отл и. чающийс тем, мто, с целью повышени кйслотостойкости . слой углерода тощиЯюй 100-5000 А осамздают высокочастотным ионногплаэменным распылением графитовой мишени при ускор ющем напр жении 1-10 кВ и температуре поверхности не более . 2. Способ по п. 1, отличающий с тем, что, с целью сохранени прозрачности покрыти на стекле, осаждают углерода толщиной не более 2000 А. г1. METHOD OF OBTAINING A PROTECTIVE COATING ON THE SURFACE OF GLASS PRODUCTS by applying a layer of carbon, ex. in order to increase acid resistance. A carbon layer of 100-5000 A thickened by high-frequency ion-plasma sputtering of a graphite target at an accelerating voltage of 1-10 kV and a surface temperature of no more. 2. The method according to claim 1, characterized in that, in order to preserve the transparency of the coating on the glass, carbon is deposited with a thickness of not more than 2000 A. g

Description

110 Изобретение относитс к производству трубопроводов, футеровок, элементов оптических устройств и касает с способа получени защитного покрыти , устойчивого к воздействию агрессивных сред. Потребность в стеклоиздели х, обладающих высокой химической стойкостью к действию агрессивных сред, особенно кислот, существует во многих отрасл х промышленности. Дл защиты от коррозии кислотами значитель ные преимущества дает применение стекл нных и углеграфитовых изделий или облицовок. Стекл нна футеровка примен етс дл защиты от коррозии химических реактивов, трубчатых теплообменников и др. химического оборудовани . Она обладает высокой коррозионной стойкостью в растворах концентраци ей более 50%, HNO и CHjCOOH в широком интервале концентраций и температур , до концентрации б5 И температур вплоть до температуры кипени .. Однако стекл нна футеровка подвержена значительному разрушению под действием плавиковой и фосфорной кислот при высокой температуре, в паровой фазе 20%-ного раствора HCi (при температуре выше температуры кипени ). В этих средах не стой ки и трубы из боросиликатного стекла , предназначенные дл передачи агоессивных жидкостей. Известен способ получени защитног покрыти на поверхности, стеклоизделий путем обработки их силиконовыми эмуль си ми, например 0, водной эмуль сией этилгидросилоксанового полимера, в течение 10 мин, последующей промывки дистиллированной водой.и прогрева в течение 2 ч при 200°С tVJ Однако данный способ не обеспечивает защиты стекла от плавиковой кислоты и ее соединений. Наиболее близким к изобретению вл етс способ получени защитного покрыти на стекле, в частности способ защиты стекл нных колб, примен емых в электровакуумной промышленности путем нанесени на определенный участок поверхности колбы равномерного сплошного графитового слой. В состав .графитового защитного покрыти вход т поливьшиловый спирт, глицерин и вода, а также наполнитель - тальк, краситеЛь и этиловый спирт 2j . 2 Однако такой нанесенный графитовый слой непрозрачен и легко снимаетс со стекла. Графит вообще вл етс коррозионностойким и химически инертным веществом. Однако он корродирует при действии сильных окислителей азотной кислоты, свободных галохенов , перманганатов. Таким образом, известные способы не обеспечивают химическую стойкость стеклоизделий,особенно к действию плавиковой кислоты и фтористоводородных соединений, защитные покрыти ухудшают оптические свойства стекла, имеют слабую адгезию с основой. Целью изобретени вл етс повышение кислотостойкости защитного покрыти и сохранение прозрачности покрыти на стекле. Поставленна цель достигаетс тем, что согласно способу получени защит- . ного покрыти на поверхности стекл нных изделий путем нанесени углерода , слой углерода толщиной 1005000 А осаждают высокочастотным ионно-плазменным распылением графитовой мишени при ускор ющем напр жении 1-10 кВ и температуре поверхности не более , а с целью сохранени прозрачности покрыти на стекле осаждают слой углерода толщиной не более 2000 . Сущность способа основана на экспериментально установленной чрезвычайно высокой химической стойкости аморфных алмазоподобных углеродных пленок со структурой, углеродный каркас которой аналогичен циклическим углеводородам , и котора может быть представлена как структура аморфного алмаза с апериодическим по влением двойных св зей . Энерги этих св зей (95. ккал/моль) значительно выше, чем энерги св зи С-С алмаза 88 ккал/моль. Известно, что алмаз несоизмеримо более химически инер-. тен, чем графит. Такой же особо высокой химической стойкостью o6fia|§aт и аморфные алмазоподобные углеродные пленки-покрыти , которые можно садить на той или иной подложке редложенным способом. Экспериментально также установлено , что аморфные алмазоподобные углеродные пленки обладают наиболее высокой химической стойкостью, если процесс высокочастотного напылени прово- дить п и низких ускор ющих напр жени х , а именно в интервале от 1 до 10 кВ. В частности, ускор ющее напр жение должно быть от 1,2 до 2,k кВ.. дл аргоновой плазмы и -8 кЗ. дл криптоновой плазмы. При этом температура подложки не должна превышать , при более высоких температурах на подложке образуетс графитова пленка с плохой адгезией к подложке . Номере снижени ускор юще го напр жени коэффициент преломлени , а следовательно, и структура пленок приближаютс к.параметрам алмаза. Соответственно мен етс плотность материала, пленки, например от г 1,91 г/см и менее при ускор ющем напр жении 2,Ц кВ в случае аргонной плазмы до 2,6-2,65 г/см и более при ускор ющем напр жении 1,2 кВ. Такое изменение структуры и плотности св зано с уменьшением числа двойных св зей и, соответственно уменьшением геометрических размеров наиболее .веро тного углеродного цикла , характерного дл структуры пленки , и следовательно, с приближением структуры к тетраэдрической алмазной . Нар ду с очень высокой химической стойкостью, обеспечивающей стойкость покрытого пленкой стекла, в струе сильных травителей, в том числ таких как HF - HNO, HF - HCl, получаемые предложенным способом алмазоподобные пленки имеют высокую микротвердость , теплопроводность и при оп ределенной толщине оптически прозрачны . Методом ВЧ - ионно-плазменного распылени графитовых мишеней на стекле может быть осаждена углеродна пленка с устойчивой алмазоподобной структурой толщиной от 100 до 5000 Л. Пленка с указанным верхним пределом толщины имеет устойчивую алмазоподобную структуру, обеспечивающую надежную стойкость стеклоизделий к действию кислот. При необходимости сохранени прозрачности, и других оптических свойств стекла V толщина покрыти должна быть не боле 2000 Д. Нижний предел толщины пленки зависит от состо ни поверхности стекла,: 100-200 Д при 1 классе обра ботки поверхности (специальна полировка ), 00 Д при обычной полировке 1000 Д обычное, неполированное стекПленки , осажденные предложенным способом, аморфные, однородные по своей структуре, хорошо воспроизвод т рельеф поверхности стекл нной подложки, обладают хорошей адгезией к ней. Высока химическа стойкость стекла с нанесенной углеродной пленкой подтверждена пр мыми опытами, при которых образцы покрытых стекол не разрушаютс при воздействии травител состава xHF: уНШ, где х:у 0:1. Таким образом, отличие предложенного способа повышени химической стойкости стеклоизделий от известного состоит в том, что наносима предложенным способом на кремний .содержащее стекло углеродна пленка обладает высокой химической стой- костью благодар своей алмазоподобной структура, высокой прозрачностью благодар малой толщине аморфной алмазоподобной структуры, высокой адгезией к стеклу благодар наличию переходной области между сло ми S%0 и Сл П р и м е р 1. Нанос т углеродное по.крытие толщиной 1000 Л на дво ко-. выпуклую линзу из оптического кварцевого стекла диаметром 40 мм и толщиной 12 мм, используемую -в оптическом устройстве дл визуального конт рол процесса травлени интегральных микросхем. Покрытие нанос т методом ВЧ-ионно-плазменного распылени графитовых мишеней в аргоне при остаточном давлении 10 мм рт.ст. и ускор ющем напр жении 1,2 кВ (м гкий режим напылени ), обеспечивающем рост углеродной пленки с алмазоподобной структурой, при рассто нии от графитовой мишени до подложки 100 мм. Структура, строение и химический состав полученной системы покрытие стекло исследованы методом Оже-спектроскопии , электронной микроскопии и электронно-графического анализа аморфных структур (построением функций радиального распределени ). Исследовани на Оже-спектрометре фирмы Бальцерс показывают, что полученна пленка имеет три характерные области: приповерхностный слой толщиной 100-150 Д, слой углеродной пленки с алмазоподобной структурой толщиной (заданной временем осаждени ) 1000 Д и переходную область81«.0 - -л --Ну ТОЛЩИНОЙ .А. Дл проверки химической стойкости из покрытой детали вырезают, несколь-ко образцов ,5 мм, которые подвергают травлению (со стороны кварца в струе травител состава HF:HNOj 1:1, падающей с высоты 150 мм. 8 результате, в образце со стороны кварцевого стекла образуетс кратер травлени , на дне которого вскрываетс поверхность углеродной пленки в виде круга (1 мм. После такого травлени высокие оптические свойства пленки не измен ютс (желтоватый цвет и высока прозрачность плен ки сохран ютс ). Толщина пленки, как показывают измерени на профилографе не измен етс после воздействи стру указанного травител в течение 30 мин что эквивалентно нахождению пленки в спокойном растворе в течение многих часов. П р и м е р 2 . Углеродное покрытие толщиной 500 нанос т на плоско параллельную кварцевую пластину мето дом распылени графитовой мишени в криптоне при ускор ющем напр жении k кВ. Дл испытани химической стойкости покрыти пластину J oмeщaюr в герметичный фторпластовый держател который полностью закрывает все по-верхности пластины, кроме поверхности с нанесенной углеродной пленкой. Пластину погружают в травитель состава HF:HNO. : 1 и выдерживают в нем 8ч. Оптические свойства ее сохран ютс полностью. П р и м е р 3 . Углеродное покрытие толщиной 50 Д нанос т на оптическую линзу аналогично примеру 1 в аргоне при том же ускор ющем напр жении (1,2 кВ), но за короткое врем 10 с. Полученна пленка не обладает сплошностью, носит островковый характер (по данным электронной микроскопии ) и не может служить защитным покрытием . Например, в HF стекло корродирует сразу при контакте. Пример . Углеродное покрытие толщиной 100 А нанос т на специально полированную линзу, доведенную по заводскому эталону до И класса чистоты поверхности, аналогично примеру 1, но за врем 25 с. Полученное покрытие абсолютно прозрачно, коррозионна стойкость высока , образцы стекла с покрытием.выдерживают 2 ч погружение в травитель HF: :HNOi 1:1. При нанесении такого же покрыти толщиной 100 А на техническое неполированное стекло коррозионна стойкость покрыти недостаточна и стекло корродирует в среде чистого HF после контакта 3-5 мин. П р и м е р 5 ..Углеродное покрытие толщиной 5000 А нанос т на диски из обычного неполированного стекла диаметром lO мм и толщиной 6 мм методом распылени графитовой мишени в аргоне или криптоне при различных ускор ющих напр жени х плазмы, времени осаждени и температуре подложки. Услови нанесени и свойства покрыти толщиной 5000 А приведены в табл. 1. Т а б л и ц а 1110 The invention relates to the production of pipelines, linings, elements of optical devices and concerns a method for producing a protective coating resistant to aggressive media. The need for glass products with high chemical resistance to aggressive media, especially acids, exists in many industries. The use of glass and carbon graphite products or linings provides significant advantages in protecting against corrosion by acids. Glass lining is used to protect chemicals from corrosion, tubular heat exchangers, and other chemical equipment. It has a high corrosion resistance in solutions with a concentration of more than 50%, HNO and CHjCOOH in a wide range of concentrations and temperatures, up to a concentration of b5 and temperatures up to the boiling point. However, the glass lining is subject to significant destruction under the action of hydrofluoric and phosphoric acids at high temperatures , in the vapor phase of a 20% HCi solution (at a temperature above the boiling point). In these media, borosilicate glass tubes are not resistant to transfer ingressive fluids. A known method of obtaining a protective coating on the surface, glass products by treating them with silicone emulsions, for example, 0, an aqueous emulsion of an ethylhydrosiloxane polymer, for 10 minutes, followed by washing with distilled water. And heating for 2 hours at 200 ° C tVJ However, this method does not protect the glass from hydrofluoric acid and its compounds. Closest to the invention is a method of obtaining a protective coating on glass, in particular, a method of protecting glass flasks used in the electrovacuum industry by applying a uniform solid graphite layer to a certain surface area of the flask. The graphite protective coating includes polyvinyl alcohol, glycerin and water, as well as talc, dye and ethyl alcohol 2j. 2 However, such a deposited graphite layer is opaque and can be easily removed from the glass. Graphite is generally a corrosion resistant and chemically inert substance. However, it corrodes under the action of strong oxidizing agents of nitric acid, free halochenes, and permanganates. Thus, the known methods do not provide chemical resistance of glassware, especially to the action of hydrofluoric acid and hydrofluoric compounds, protective coatings degrade the optical properties of the glass, have poor adhesion with the substrate. The aim of the invention is to increase the acid resistance of the protective coating and preserve the transparency of the coating on the glass. The goal is achieved by the fact that according to the method of obtaining protection -. on the surface of glass products by applying carbon, a layer of carbon with a thickness of 1005000 A is precipitated by high-frequency ion-plasma sputtering of a graphite target at an accelerating voltage of 1-10 kV and the surface temperature is no more, and to preserve the transparency of the coating, a layer of carbon is deposited on the glass no more than 2000 thick. The essence of the method is based on the experimentally established extremely high chemical resistance of amorphous diamond-like carbon films with a structure whose carbon cage is similar to cyclic hydrocarbons, and which can be represented as a structure of amorphous diamond with an aperiodic appearance of double bonds. The energy of these bonds (95. kcal / mol) is significantly higher than the bond energy of C – C diamond 88 kcal / mol. It is known that diamond is disproportionately more chemically inertial. ten than graphite. The same extremely high chemical resistance of o6fia | §a and amorphous diamond-like carbon film coatings that can be planted on one or another substrate in the following way. It was also experimentally established that amorphous diamond-like carbon films have the highest chemical resistance if high-frequency spraying is carried out at n and low accelerating voltages, namely in the range from 1 to 10 kV. In particular, the accelerating voltage should be between 1.2 and 2 k kV. For argon plasma and –8 kS. for krypton plasma. In this case, the substrate temperature should not exceed, at higher temperatures, a graphite film is formed on the substrate with poor adhesion to the substrate. The reduction number of the accelerating voltage, the refractive index, and, consequently, the structure of the films, are close to the parameters of diamond. The density of the material, the film, varies accordingly, for example, from 1.91 g / cm or less at accelerating voltage 2, cV in the case of argon plasma to 2.6-2.65 g / cm or more at accelerating voltage 1.2 kV. Such a change in the structure and density is associated with a decrease in the number of double bonds and, consequently, a decrease in the geometric dimensions of the most reliable carbon cycle characteristic of the film structure, and consequently, with the structure approaching the tetrahedral diamond. Along with very high chemical resistance, which ensures the resistance of glass coated with a film, in a stream of strong etchants, including HF - HNO, HF - HCl, diamond-like films obtained by the proposed method have high microhardness, thermal conductivity and are optically transparent at a certain thickness. Using the HF - ion-plasma method of sputtering graphite targets, a carbon film with a stable diamond-like structure with a thickness from 100 to 5000 L can be deposited on the glass. The film with the specified upper limit of thickness has a stable diamond-like structure, which ensures reliable resistance of glassware to the action of acids. If it is necessary to maintain transparency and other optical properties of glass V, the coating thickness should not exceed 2000 D. The lower limit of the film thickness depends on the state of the glass surface: 100-200 D at class 1 of surface treatment (special polishing), 00 D conventional polishing 1000 D ordinary, unpolished glass films deposited by the proposed method, amorphous, homogeneous in structure, well reproduce the relief of the surface of the glass substrate, have good adhesion to it. The high chemical resistance of the glass with the deposited carbon film is confirmed by direct experiments in which samples of coated glasses are not destroyed when exposed to the etchant of composition xHF: yNSh, where x: y is 0: 1. Thus, the difference of the proposed method of improving the chemical resistance of glassware from the known one is that the carbon film containing the carbon glass by the proposed method has a high chemical resistance due to its diamond-like structure, high transparency due to the small thickness of the amorphous diamond-like structure, high adhesion to glass due to the presence of the transition region between the layers S% 0 and SL. Example 1. A carbon cover with a thickness of 1000 L for two sets is applied. a convex lens of optical quartz glass with a diameter of 40 mm and a thickness of 12 mm, used in an optical device for visual control of the etching process of integrated circuits. The coating was applied by the method of HF-ion-plasma sputtering of graphite targets in argon at a residual pressure of 10 mm Hg. and an accelerating voltage of 1.2 kV (soft spraying mode), providing for the growth of a carbon film with a diamond-like structure, with a distance from a graphite target to a substrate of 100 mm. The structure, structure, and chemical composition of the obtained coating glass system were studied by Auger spectroscopy, electron microscopy, and electron-graphic analysis of amorphous structures (by constructing the radial distribution functions). Studies on the Balzers Auger spectrometer show that the resulting film has three characteristic areas: a surface layer 100-150 D thick, a carbon film layer with a diamond-like structure with a thickness (given deposition time) 1000 D and a transition region 81 ".0 -l- Well THICK .A. To check the chemical resistance of the coated part, a few 5 mm samples are etched, which are etched (from the quartz side in the etchant of HF: HNOj composition 1: 1, falling from a height of 150 mm. 8 result in a sample from the quartz glass side an etching crater is formed, at the bottom of which the surface of the carbon film is opened in the form of a circle (1 mm. After such etching, the high optical properties of the film do not change (yellowish color and high transparency of the film remain). Film thickness, as shown by measurements on the profile This does not change after the spray of the indicated etchant for 30 min, which is equivalent to finding the film in a quiet solution for many hours. Example 2 A carbon coating 500 thick is applied on a flat parallel quartz plate by spraying a graphite target krypton at an accelerating voltage of k kV. To test the chemical resistance of the coating, the plate J is placed in a sealed fluoroplastic holder that completely covers all the surfaces of the plate, except the surface with the applied carbon film. The plate is immersed in an etchant of HF: HNO composition. : 1 and keep it 8h. Its optical properties are preserved completely. PRI me R 3. A 50 D thick carbon coating is applied to the optical lens as in Example 1 in argon at the same accelerating voltage (1.2 kV), but for a short time of 10 s. The resulting film does not have a continuity, is island in nature (according to electron microscopy) and cannot serve as a protective coating. For example, in HF glass corrodes immediately upon contact. An example. A carbon coating with a thickness of 100 A is applied to a specially polished lens, brought up to the class of surface cleanliness according to the factory standard, as in Example 1, but for 25 seconds. The coating obtained is absolutely transparent, the corrosion resistance is high, the glass samples are coated. They withstand 2 hours immersion in the etchant HF:: HNOi 1: 1. When applying the same coating with a thickness of 100 A to technical unpolished glass, the corrosion resistance of the coating is insufficient and the glass corrodes in pure HF after contact for 3-5 minutes. EXAMPLE 5. A carbon coating with a thickness of 5000 A was applied to discs made of ordinary unpolished glass with a diameter of l O mm and a thickness of 6 mm by spraying a graphite target in argon or krypton at different plasma accelerating voltages, deposition time and temperature. substrate. The conditions of application and the properties of the coating thickness of 5000 A are given in Table. 1. T and l and c and 1

Не.происходит напылени Not sprayed

Аргон ( не зажигаетс плазма)Argon (no ignition of plasma)

8080

Аргон ЗбООArgon ZbOO

Криптон 1200Krypton 1200

9090

То же 800 Same 800

95 95 30095 95 300

800800

10ten

150150

Равномерное , без дефектов То жеUniform, free of defects. Same

Шероховатое , с наростами и неровност ми поверхности СажистоеRough, with growths and roughness of the surface

Изменение ускор ющего напр жени плазмы позвол ет получить покрытие толщиной 5000 Л за разное врем - от 300 до ЗбОО е, при этом измен етс качество покрыти и его оптические свойства. Из таблицы видно, что при ускор ющем напр жении 0,3 кВ напылени вообще не происходит , а при 14 кВ и температуре подложки 150°С качество покрыти неудовлетворительное .A change in the plasma accelerating voltage allows a coating with a thickness of 5000 L to be obtained at different times, from 300 to 3%, and the quality of the coating and its optical properties change. From the table it can be seen that at an accelerating voltage of 0.3 kV, spraying does not occur at all, and at 14 kV and a substrate temperature of 150 ° C, the quality of the coating is unsatisfactory.

П р и м е р-6 . Углеродное покрытие толщиной 8000 нанос т на линзу из оптического кварцевого стекла . аналогично примеру 1, но за врем 8000 с. Полученное покрытие непрогPRI me R-6. An 8000 carbon coating is applied to an optical silica lens. analogous to example 1, but for the time 8000 s. The resulting coating is non-free

Значени лри толщине покрыти , А Values of coating thickness, A

Показатели -Гli-l-- --рК-.р-а.... .....Indicators -Gli-l-- - рК-.р-a .... .....

50 700 1000 2000 I 3500 500050 700 1000 2000 I 3500 5000

0,10 О,I 0,15 0,18 0,32 О,0.10 O, I 0.15 0.18 0.32 O,

2,0 , 2,1. 2,2 . ,5 2,6 2,82.0, 2.1. 2.2 5 2,6 2,8

0,9 0,75 0,6 0,k2 0,15 0,12 Адгези пленки находитс на достаточно высоком уровне и не измен етс в интервале 20-100С при ее оценке методом царапани , прин том в микро- 40 электронике..0.9 0.75 0.6 0, k2 0.15 0.12 The adhesion of the film is at a sufficiently high level and does not change in the range of 20-100 ° C when evaluated by the scratching method adopted in micro- 40 electronics.

драчно, заметно неравномерное, имеет сетку трещин и поэтому не обеспечивает химическую стойкость стекла к плавиковой.кислоте.globally, markedly uneven, has a network of cracks and therefore does not provide chemical resistance of glass to hydrofluoric acid.

П р и м е р 7 . Углеродное покрытие толщиной 2000 с высокой прозрачностью нанесено на линзу t4u оптического кварцевого стекла аналогично примеру 1, но за врем . 1200. с полученное покрытие имеет коэффициент, преломлени ,5 (при /. 1000 нм) и коэффициент пропускани TatZ.PRI me R 7. A 2000 high-transparency carbon coating was applied to the t4u lens of optical silica glass as in Example 1, but in time. 1200. with the resulting coating has a coefficient, refraction, 5 (at /. 1000 nm) and a transmittance TatZ.

Зависимость коэффициента поглощв ни (Jy 1 мкм) и показател прелои .лени пленок приведена в табл. 2. Т а б л и ц а 2The dependence of the coefficient of absorption (Jy 1 μm) and the index of the shallowness of the film's enrichment is given in Table. 2. T a b e c i a 2

Т а бT a b

лица 3 Результаты повышени стойкости стеклоиздели к действию кислот, особенно плавиковой, и фтористоводородных соединений приведены в табл. 3.persons 3 The results of increasing the resistance of glassware to the action of acids, especially hydrofluoric, and hydrofluoric compounds are given in Table. 3

91006402109100640210

Предложенный способ, позвол ющий чени , и особенно дл покрыти дета получат покрыти обладающие высоки- лей оптических систем с целью обесми защитными свойствами, может быть печени воэможТюсти использовани успешно применен дл химической защи- элементов оптики в средах, содержаты стеклоизделий разнообразного назна-s щих плавиковую кислоту.The proposed method, which allows parts, and especially for coating parts, will obtain coatings with high optical systems for the purpose of providing protective properties. Liver may be used successfully for chemical protection optics elements in media, glass products of various kinds of hydrofluoric acid. acid.

Claims

, / 1. METHOD FOR OBTAINING PROTECTIVE COATING ON STACK SURFACE

FLAX PRODUCTS by applying a layer of carbon, ex. which, in order to increase acid resistance ™. a carbon layer with a thickness of 100-5000 A is precipitated by high-frequency ion-flame spraying of a graphite target at an accelerating voltage of 1-10 kV and a surface temperature of not more than 100 ° C.

2. The method of pop. 1, I distinguish it by the fact that, in order to maintain the transparency of the coating on glass, a layer of carbon is deposited with a thickness of not more than 2000 A.