Claims (5)
1.Устройство дл подачи и позиционировани полупроводниковых пластин при1. Device for feeding and positioning semiconductor wafers with
контроле их свойств с помощью измерител , ось которого вертикальна, содержащее корпус, две горизонтальные параллельные направл ющие с внутренними рабочими сторонами, установленные на корпусе, держатель пластин, включающий ограничитель горизонтального перемещени и поддерживающие опоры пластин, участок позиционировани и привод, установленный на корпусе, отличающеес тем,controlling their properties with a gauge whose axis is vertical, comprising a housing, two horizontal parallel guides with inner working sides mounted on the housing, a plate holder including a horizontal movement limiter and supporting plates supports, a positioning section and an actuator mounted on the housing differing by that
что, с целью упрощени конструкции, устройство дополнительно содержит пару приводных роликов, име.ющих вертикальные оси вращени и касающихс внутренних сторон направл ющих, и два упругих элемента , св занных первыми концами с ос ми приводных роликов, причем привод выполнен в виде линейного шагового двигател , плунжер которого установлен с возможностью перемещени параллельно направл ющим и соединен с вторыми концами упругих элементов, ограничитель горизонтального перемещени пластин образован внутренними сторонами направл ющих и приводными роликами, оси которых наход тс в плоскости, проход щей через центр держател .that, in order to simplify the construction, the device further comprises a pair of drive rollers having vertical rotation axes and touching the inner sides of the guides, and two elastic elements connected by first ends with the drive roller axes, the drive being designed as a linear stepper motor , the plunger of which is mounted for movement in parallel with the guides and connected to the second ends of the elastic elements, the horizontal movement limiter of the plates is formed by the inner sides of the guides and driven rollers, whose axes are in the plane passing through the center of the holder.
2.Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е е- с тем, что участок позиционировани содержит прижим, закрепленный на направл ющих со стороны, противоположной расположению измерител , а направл ющие установлены на корпусе с возможностью вертикального перемещени с2. The device according to claim 1, so that the positioning site contains a clamp fixed on the guides on the side opposite to the location of the meter, and the guides are mounted on the case with the possibility of vertical movement from
помощью электромагнита.using an electromagnet.
3.Устройство поп.1,отличающее- с тем, что поддерживающие опоры вл ютс горизонтальной полкой направл ющих , имеющих L-образный профиль.3. Pop-1 device, characterized in that the supporting supports are a horizontal shelf of guides having an L-shaped profile.
4. Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е е- с тем, что поддерживающие опоры выполнены в виде по крайней мере одной пары дополнительных роликов с ребордами в нижней части, причем оси дополнительных4. The device according to claim 1, about tl and h and ya e with the fact that the supporting supports are made in the form of at least one pair of additional rollers with flanges in the lower part, and the axis additional
роликов вертикальны и попарно лежат в плоскости, проход щей через центр держател .The rollers are vertical and lie in pairs in a plane passing through the center of the holder.
5. Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е е- с тем, что поддерживающие опоры выполнены в виде упоров, закрепленных на нижних концах осей приводных роликов.5. The device according to claim 1, about tl and h and ya e- so that the supporting supports are made in the form of stops mounted on the lower ends of the axes of the drive rollers.
Яиг.2 7Yig.2 7
РигЛRygl
